部件制造用膜及部件的制造方法

    公开(公告)号:CN108966672A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201780019314.8

    申请日:2017-03-14

    Inventor: 林下英司

    CPC classification number: H01L21/683 C09J7/20 C09J201/00

    Abstract: 本发明的课题是提供即使在伴有温度变化的环境中使用的情况下,也可以在吸附停止后易于从平台面取下,使与平台面的密合状态稳定的半导体部件制造用膜和电子部件制造用膜。进一步提供使用了这样的半导体部件制造用膜的半导体部件的制造方法,以及使用了这样的电子部件制造用膜的电子部件的制造方法。作为解决本发明课题的方法,本部件制造用膜1是半导体部件或电子部件的制造方法所使用的膜,具备基层11以及设置于其一面11a侧的粘着材层12,基层的未设置粘着材层的一面的表面的Ra(μm)为0.1~2.0,Rz(μm)为1.0~15。本方法使用部件制造用膜1,具备单片化工序和拾取工序,在拾取工序前具备评价工序。

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