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    Test system for optical disks
    71.
    发明授权
    Test system for optical disks 失效
    光盘测试系统

    公开(公告)号：US4832487A

    公开(公告)日：1989-05-23

    申请号：US100190

    申请日：1987-09-23

    Applicant: Kenta Mikuriya ,  Masuo Hanawaka ,  Akira Ohya ,  Hideo Hirukawa ,  Shoji Uehara ,  Kenichi Yamakawa

    Inventor： Kenta Mikuriya ,  Masuo Hanawaka ,  Akira Ohya ,  Hideo Hirukawa ,  Shoji Uehara ,  Kenichi Yamakawa

    IPC: G01M11/00 ,  G01N21/88 ,  G01N21/93 ,  G01N21/95 ,  G11B7/0037 ,  G11B7/26 ,  G11B27/36 ,  G11B33/10

    CPC classification number: G11B33/10 ,  G01M11/00 ,  G01N21/88 ,  G01N21/9506 ,  G11B27/36 ,  G11B7/00375 ,  G01N2021/8874 ,  G01N2021/8896 ,  G01N2201/1045

    Abstract: A test system for optical disks, comprising a spindle motor for bearing and rotating an optical disk at a constant speed; a measuring head, comprising focus servor and tracking servo mechanisms for causing the focal point of a laser beam irradiating the optical disk to follow the guide groove of the disk, for generating an output signal proportional to the intensity of the reflected beam coming from the optical disk; a feed mechanism for moving the measuring head in a radial direction of the optical disk; a control circuit for controlling the operations of the spindle motor, the focus servo and tracking servo mechanism of the measuring head, and the feed mechanism; a measurer for performing desired measurements in response to the output signal from the measuring head; and a computer for commanding the control circuit and the measurer and for processing the measured data of the measurer, whereby all the measurements are accomplished with the guide groove of the disk being under the focus and tracking servos.

    Abstract translation: 一种用于光盘的测试系统，包括用于以恒定速度轴承和旋转光盘的主轴电机; 测量头，包括聚焦伺服器和跟踪伺服机构，用于使照射光盘的激光束的焦点跟随盘的引导槽，以产生与来自光学器件的反射光束的强度成比例的输出信号 磁盘 用于沿着光盘的径向方向移动测量头的进给机构; 用于控制主轴电动机的操作的控制电路，测量头的聚焦伺服和跟踪伺服机构以及进给机构; 用于响应于来自测量头的输出信号执行所需测量的测量器; 以及用于命令控制电路和测量器并且用于处理测量器的测量数据的计算机，由此所有测量都是通过盘的引导槽处于聚焦和跟踪伺服下进行的。

    METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, DEVICE FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, AND OPTICAL DISC APPARATUS
    72.
    发明公开
    METHOD FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, DEVICE FOR DETECTING FOREIGN MATTER ON OBJECT, AND OPTICAL DISC APPARATUS 审中-公开
    方法和设备识别外来物质上的主题和光盘设备

    公开(公告)号：EP1522846A4

    公开(公告)日：2008-01-02

    申请号：EP03730704

    申请日：2003-05-30

    Applicant: MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD

    Inventor： GOTOH YASUHIRO ,  NISHIWAKI SEIJI ,  KOMMA YOSHIAKI

    IPC: G01N21/90 ,  G01N21/94 ,  G01N21/95 ,  G11B7/0037 ,  G11B19/04 ,  G11B7/004 ,  G11B7/26

    CPC classification number: G11B7/00375 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9506 ,  G01N2201/1045 ,  G11B19/04

    Abstract: A foreign matter detector comprises light signal detecting means (1), foreign matter detecting means (2a to 2h), and foreign matter judging means (3). The light signal detecting means (1) applies a light spot on the surface of an object to be inspected while scanning the light spot in a predetermined direction, receives light reflected from the surface of the object, and generates a light detection signal (HF) corresponding to the amount of light reflected. The foreign matter detecting means (2a to 2h) generates, from the light detection signal (HF), foreign matter detection signals (C) corresponding to the first and last portions, in the scanning direction, of the foreign matter adhering to the object. The foreign matter signal is determined as a signal representing the difference between the light detection signal (HF) and a delay signal (HF1) produced by delaying the light detection signal (HF) by a predetermined time. The foreign matter judging means generates from the foreign matter detection signal (C) a foreign matter judgment signal (H) representing the area where a foreign matter is present.

    Einrichtung für Oberflächeninspektionen
    74.
    发明公开
    Einrichtung für Oberflächeninspektionen 失效
    设备表面检查。

    公开(公告)号：EP0525286A1

    公开(公告)日：1993-02-03

    申请号：EP92103251.2

    申请日：1992-02-26

    Applicant: TENCOR INSTRUMENTS

    Inventor： Malin, Cosmas, Dipl. El. Ing./ETH ,  Steigmeier, Edgar F., Dr. Ing./ETH ,  Nesensohn, Thomas ,  Sawatzki, Harry L. ,  Auderset, Heinrich ,  Schmid, Gert

    IPC: G01N21/88 ,  G01N21/47

    CPC classification number: G01M11/0278 ,  G01N21/93 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8867 ,  G01N2021/8907 ,  G01N2201/1045

    Abstract: Mit dieser Einrichtung lassen sich Oberflächen zerstörungsfrei und ganzflächig auf Defekte und Kontaminationen untersuchen, wobei sowohl mikroskopisch kleine punkt- oder linienförmige Defekte als auch feinste makroskopische Inhomogenitäten erfasst werden. Zu diesem Zweck ist im Strahlengang zwischen Lichtquelle (2) und Objektiv (9) ein in verschiedene Stellungen steuerbares Linsensystem (5) angeordnet, das verschiedene Zwischenbilder (31) erzeugt. Bei einer ersten Abtastung der gesamten Oberfläche (10) mit relativ grossem Vorschub, wird ein erstes, zigarrenförmiges Zwischenbild, und bei einer zweiten, ausschnittsweisen Abtastung mit kleinem Vorschub ein zweites, punktförmiges Zwischenbild angewendet.
    Eine im Strahlengang zwischen Linsensystem (5) und Objektiv (9) angeordnete Dunkelfeldstop-Baugruppe (18) mit einer einstellbaren Dunkelfeldumlenkung (8), richtet den Beleuchtungsstrahl (1) nach der Umlenkung exakt zentrisch im rechten Winkel durch das Objektiv (9) auf die Oberfläche (10). Das von der Oberfläche (10) abgestrahlte, im Objektiv (9) gesammelte Licht ist auf einen Photodetektor (19) gerichtet. Eine Auswerteelektronik (21) zerlegt die verstärkten Ausgangssignale des Photodetektors (19) in Messwerte, die von punktförmigen, linienförmigen und flächenförmigen Defekten herrühren. Die Auswerteelektronik (21) ist über eine Recheneinheit (22) mit Peripheriegeräten (23, 24, 25) verbunden, mittels welchen die Gesamtheit aller Messwerte einer Messung dargestellt werden kann.

    Abstract translation: 利用这种布置，表面可以是非破坏性的，检查缺陷和污染的整个区域，并且两者都检测到微观的点或线的缺陷以及最好的宏观的不均匀性。 为了这个目的，可控制到各种位置的透镜系统（5），不同的中间图像（31）被布置在所述光源（2）和（9），产生了透镜之间的光路。 在整个表面（10）的具有相对大的进料速率，第一，雪茄形中间图像，并施加到第二扫描与第二进料，点状的中间图像的小细节的第一扫描。 甲在透镜系统（5）和透镜之间的光路（9），其设置具有可调暗场偏转（8）的照明光束（1）的偏转后以直角穿过透镜（9）到所述引导恰好集中暗场止动组件（18） 表面（10）。 从表面（10）辐射，（9）中收集的光被引导到光检测器（19）的透镜。 发射机（21）把在从点状的，直链的和平面的缺陷产生的测量值光检测器（19）的放大的输出信号。 发射机（21）通过计算单元（22）与外围设备（23，24，25），借助该测量的所有测量值的总和可表示连接。

    Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse
    76.
    发明公开
    Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse 失效
    用于检查透明材料组分对表面缺陷和包含物的设备

    公开(公告)号：EP0249799A3

    公开(公告)日：1989-12-27

    申请号：EP87107992.7

    申请日：1987-06-03

    Applicant: Battelle-Institut e.V.

    Inventor： Schmalfuss, Harald, Dr. ,  Sinsel, Friedel ,  Bolz, Reinhold

    IPC: G01N21/88 ,  G01M11/02

    CPC classification number: G01M11/0278 ,  G01N21/88 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/4719 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/065 ,  G01N2201/1045

    Abstract: Bei einer Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aus trans­parentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse wird das Bauteil (1) mittels eines bewegten Lichtstrahles (7) so abgetastet, daß ein Lichtschnitt des Bauteiles entsteht. Dieser Lichtschnitt wird mittels einer Einrichtung (8) beobachtet, welche geneigt zur Auftreffrichtung des Beleuchtungsstrahles angeordnet ist. Diese Einrichtung enthält ein abbildendes optisches System (9), in dessen Bildebene (10) eine auswechselbare Maske (11) zur Aussonderung des Bildes einer Ebene des Prüflings (1) angeordnet ist. Die Lichtstrahlen, welche diese Maske passieren beaufschlagen einen Empfänger (17), dem eine Anordnung (18) zur Auswertung der Empfängersignale nachgeschaltet ist. Mittels einer solchen Vorrichtung lassen sich Oberflä­chenfehler des zu prüfenden Bauteiles feststellen und zwar getrennt nach Vorder- und Rückseite dieses Bau­teiles. Um auch anisotropisch streuende Oberflächenfehler, bei­spielsweise Wischer nachweisen zu können ist ein drittes Empfangssystem vorgesehen, welches als Integraloptik ausgebildet ist. Dieses besteht aus mehreren Empfängern die in einer Halbschale angeordnet sind, welche das zu prüfende Bauteil uberspannt.

    Method of and apparatus for real-time crystallographic axis orientation determination
    77.
    发明公开
    Method of and apparatus for real-time crystallographic axis orientation determination 失效
    对于结晶轴的方位的实时确定的方法和装置。

    公开(公告)号：EP0263621A2

    公开(公告)日：1988-04-13

    申请号：EP87308443.8

    申请日：1987-09-24

    Applicant: Weiser, Sidney

    Inventor： Weiser, Sidney

    IPC: G01N21/55

    CPC classification number: G01N21/55 ,  G01N2201/1045 ,  G01N2201/1087

    Abstract: A specific small area of a crystal sample (11) is scanned by a laser beam in a spiral pattern (2a, 2b). The laser beam is reflected different amounts for different beam positions to produce a reflectance pattern indicative of crystallographic orientation. The reflected beam radiation may be determined with a photodetector (12) and the reflectance pattern may be interpreted with circuitry (13) which also controls steering of the beam.

    Abstract translation: 晶体样品（11）的具体小区域由激光束在螺旋形图案扫描（2A，2B）。 激光束被反射不同数量的不同的波束位置，产生指示晶体取向的反射率图案。 的反射光束的辐射可以是确定与一个光电检测器（12）和反射率图案开采可与电路（13），因此控制电子束的转向来解释。

    Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse
    78.
    发明公开
    Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse 失效
    一种用于测试部件AUD对于表面缺陷和夹杂物的透明材料。

    公开(公告)号：EP0249799A2

    公开(公告)日：1987-12-23

    申请号：EP87107992.7

    申请日：1987-06-03

    Applicant: Battelle-Institut e.V.

    Inventor： Schmalfuss, Harald, Dr. ,  Sinsel, Friedel ,  Bolz, Reinhold

    IPC: G01N21/88 ,  G01M11/02

    CPC classification number: G01M11/0278 ,  G01N21/88 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/4719 ,  G01N2021/9511 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/065 ,  G01N2201/1045

    Abstract: Bei einer Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aus trans­parentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse wird das Bauteil (1) mittels eines bewegten Lichtstrahles (7) so abgetastet, daß ein Lichtschnitt des Bauteiles entsteht. Dieser Lichtschnitt wird mittels einer Einrichtung (8) beobachtet, welche geneigt zur Auftreffrichtung des Beleuchtungsstrahles angeordnet ist. Diese Einrichtung enthält ein abbildendes optisches System (9), in dessen Bildebene (10) eine auswechselbare Maske (11) zur Aussonderung des Bildes einer Ebene des Prüflings (1) angeordnet ist. Die Lichtstrahlen, welche diese Maske passieren beaufschlagen einen Empfänger (17), dem eine Anordnung (18) zur Auswertung der Empfängersignale nachgeschaltet ist.
    Mittels einer solchen Vorrichtung lassen sich Oberflä­chenfehler des zu prüfenden Bauteiles feststellen und zwar getrennt nach Vorder- und Rückseite dieses Bau­teiles.
    Um auch anisotropisch streuende Oberflächenfehler, bei­spielsweise Wischer nachweisen zu können ist ein drittes Empfangssystem vorgesehen, welches als Integraloptik ausgebildet ist. Dieses besteht aus mehreren Empfängern die in einer Halbschale angeordnet sind, welche das zu prüfende Bauteil uberspannt.

    Abstract translation: 在用于检查表面缺陷和夹杂物，（1）通过移动光束的装置的部件由透明材料制成的部件的装置（7）被扫描，从而所产生的成分的光截面。 该光部是由相对于照明光束的入射方向倾斜的装置（8）的装置观察到。 此装置包括用于测试样品（1）被布置的平面的图像分离的成像光学系统（9），其在图像平面（10）的可移除掩模（11）。 穿过该掩模的光束照射一个接收器（17），所述装置（18）被连接在接收器信号的评估的下游。 通过这样的装置的方法可以观察到该部件的表面缺陷进行检查和分离成前部和该组件的后侧。 为了能够也各向异性散射检测表面缺陷，例如，提供了第三刮水接收系统，其形成为一体的光学器件。 这包括多个接收器被布置在一个半壳，其中所跨越的部件进行测试的。

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