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    극단 자외광 발생 장치
    71.
    发明授权
    극단 자외광 발생 장치 有权
    极致超紫外线发生装置

    公开(公告)号：KR100893817B1

    公开(公告)日：2009-04-20

    申请号：KR1020060056449

    申请日：2006-06-22

    Applicant: 우시오덴키 가부시키가이샤

    Inventor： 야부타히로노부 ,  스미토모다쿠

    IPC: H01L21/027

    CPC classification number: H05G2/003 ,  B82Y10/00 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/064 ,  H05G2/005

    Abstract: 고체 주석이 배기 장치의 진공 펌프의 회전 부분이나 접동(摺動) 부분에 부착되는 것을 억제하여, 극단 자외광 발생 장치가 구비하는 배기 장치의 정비 주기, 및 교환 주기를 장기화할 수 있는 극단 자외광 발생 장치를 제공하는 것이다.
    극단 자외광 발생 장치의 광원 챔버와 배기 장치(9) 사이에, 광원 챔버로부터의 배출 가스 중의 주석 및/또는 주석 화합물을 주석 수소화물로 하는 수소 라디칼 발생부(8a)와, 주석 수소화물을 열 분해시켜 분해 생성한 주석을 액체 주석으로 해서 배출 가스로부터 분리하는 가열 처리부(8b)로 이루어지는 처리 유닛(8)을 설치하고, 처리 유닛(8)은, 액체 주석을 회수 저장 용기(30)에 회수·저장하여, 주석 및/또는 주석 화합물을 포함하지 않은 배출 가스를 배기 장치(9)로 송출한다.

    Optický clen pro rentgenovou mikroskopii
    74.
    发明专利
    Optický clen pro rentgenovou mikroskopii 未知

    公开(公告)号：CZ20070494A3

    公开(公告)日：2008-11-12

    申请号：CZ20070494

    申请日：2007-07-20

    Applicant: CESKU VYSOKU UCENI TECHNICKU V

    Inventor： CHADZITASKOS GOCE

    IPC: G02B1/02 ,  G21K1/06

    CPC classification number: G21K1/06 ,  G21K7/00 ,  G21K2201/062 ,  G21K2201/064 ,  G21K2201/067

    Abstract: Optická soustava zobrazující rentgenové zárení o vlnové délce .lambda. je tvorena alespon jedním monokrystalem (1) s atomovými rovinami (2) rovnobežnými s optickou osou (3), jejichž vzájemná vzdálenost v klidovém stavu je d.sub.0.n. a kde prícný prurez (S) monokrystalu (1) je promenný vzhledem k optické ose (3). Vzdálenejší a/nebo bližší strana monokrystalu (1), která je na tuto optickou osu (3) kolmá, je opatrena zarízením pro vyvolání a udržení tažné nebo tlacné síly (F) ve smeru kolmém na atomové roviny (2) tohoto monokrystalu (1). Velikostprícného prurezu (S) monokrystalu (1) ve vzdálenosti (R) od optické osy (3) je prímo úmerná predem zvolenému prícnému prurezu (S.sub.0.n.) a tažné respektive tlacné síle (F) a neprímo úmerná modulu pružnosti (E) daného monokrystalu (1) ve smeru pusobící síly (F) a je dána vztahem (I), a síla F je odvozena ze vztahu (II), kde .lambda. je vlnová délka rentgenového zárení, (s) je vzhledem k podélné ose monokrystalu (1) predmetová a zároven i obrazová vzdálenost, (S.sub.0.n.) je podle požadavku aplikace predem zvolený prícný prurez monokrystalu (1) ve vzdálenosti (R.sub.0.n.) od optické osy 3 a nje prirozené císlo, pricemž znaménko (+) predstavuje tažnou sílu a znaménko (-) predstavuje tlacnousílu.

    회전체 미러를 사용한 X선 집광시스템의 광학설계방법 및 X선 집광시스템
    77.
    发明公开
    회전체 미러를 사용한 X선 집광시스템의 광학설계방법 및 X선 집광시스템 审中-实审
    使用旋转镜的X射线聚焦系统的光学设计方法和X射线聚焦系统

    公开(公告)号：KR1020160030125A

    公开(公告)日：2016-03-16

    申请号：KR1020157036920

    申请日：2014-02-03

    Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호우진 도쿄다이가쿠

    Inventor： 모토야마히로토 ,  미무라히데카즈

    IPC: G21K1/06 ,  G02B5/10 ,  G02B19/00

    CPC classification number: G21K1/067 ,  G02B5/10 ,  G02B19/0023 ,  G21K2201/064

    Abstract: 발산각이매우작은 X선을회전체미러의전체면에조사하면서, 전체플럭스를집광하는것이가능한새로운 X선집광시스템의광학설계방법을제공한다. X선집광시스템의집광점이되는초점(F)을하류측에구비하고, 상류측의초점(F1)을광축(OA)으로부터벗어난위치에설정한타원또는타원과쌍곡선을조합시킨일부로이루어지는 1차원프로필을, 광축(OA)을중심으로하여 1회전시켜서형성되는반사면을구비한회전체미러(3)의형상을결정하는스텝과, 상류측의초점(F1)의궤적이만드는집광링(R)을통과하고, 집광점으로부터 X선원(O)으로역광선추적을하여광로길이가일정한구속조건하에서, X선원(O)으로부터조사된 X선빔(5)을반사하여넓혀서집광링(R)에집광하는기능을갖춘링집광미러(4)의반사면의형상을, 역광선추적의광선의굴곡점의좌표(P)의집합으로서결정하는스텝으로이루어진다.

    집광경 어셈블리 및 이 집광경 어셈블리를 이용한 극단 자외광 광원 장치
    79.
    发明公开
    집광경 어셈블리 및 이 집광경 어셈블리를 이용한 극단 자외광 광원 장치 有权
    收集器镜头组件和极端超紫外光源设备使用集光镜组件

    公开(公告)号：KR1020120106903A

    公开(公告)日：2012-09-26

    申请号：KR1020127023489

    申请日：2011-03-02

    Applicant: 우시오덴키 가부시키가이샤

    Inventor： 사토히로토

    IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

    CPC classification number: G03F7/70166 ,  G03F7/70891 ,  G03F7/70958 ,  G21K2201/064 ,  H05G2/001 ,  H01L21/0274 ,  G03F7/70033

    Abstract: 극단 자외광 광원 장치에 있어서, 집광경 어셈블리의 열변형에 의한 집광 성능의 악화를 방지하는 것. 극단 자외광 광원 장치에 이용되는 집광경 어셈블리는, 직경이 다른 회전 타원면 또는 회전 쌍곡면 형상의 복수의 반사 쉘(21)로 구성되고, 이 반사 쉘(21)이 네스트 형상으로 배치되고, 그 단부가 유지 구조체(22)로 유지되어 있다. 반사 쉘(21)에는 냉매를 흘려 보내는 냉각 채널이, 반사면의 이면측의 면상이며 반사 쉘의 축방향으로 부착되어 있다. 이 냉각 채널이 보강재의 기능을 하고, 반사 쉘(21)의 열변형을 억제할 수 있다. 또한, 반사 쉘(21)의 재질로서 몰리브덴을 이용함으로써 더 열변형을 억제할 수 있고, 유지 구조체(22)에 냉각 채널을 설치함으로써, 더 효과적으로 집광경 어셈블리를 냉각하고, 그 열변형을 억제할 수 있다.

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