公开(公告)号：EP0725420A3

公开(公告)日：1996-12-04

申请号：EP96300688.7

申请日：1996-01-31

Applicant: CANON KABUSHIKI KAISHA

Inventor： Fushimi, Masahiro ,  Mitsutake, Hideaki ,  Sanou, Yoshihisa

IPC: H01J31/12

CPC classification number: H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/864 ,  H01J2329/8645 ,  H01J2329/8655

Abstract: An image forming apparatus using an electron source which has matrix-wired electron-emitting devices connected with wiring electrodes of conductive material, and a fluorescent member as an image forming member with an accelerating electrode on its inner surface side, opposite to the electron-emitting devices. The wiring electrodes includes a wiring electrode where a semiconductive support member (spacer) is provided via a conductive connection member and a wiring electrode where the semiconductive support member is not provided. The height of the upper surface of the conductive connection member on which the semiconductive support member is provided and that of the upper surface of the wiring electrode where the semiconductive support member is not provided are the same, to prevent shift of electron-beam trajectories around the semiconductive support member, due to disturbance of electric-field distribution.

公开(公告)号：KR100364475B1

公开(公告)日：2002-12-16

申请号：KR1019997000312

申请日：1997-07-16

Applicant: 컨데슨트 인터렉추얼 프로퍼티 서비시스 인코포레이티드

Inventor： 스핀드트크리스토퍼제이. ,  필드존이.

IPC: H01J31/12

CPC classification number: H01J29/028 ,  H01J9/185 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/8625 ,  H01J2329/864 ,  H01J2329/8645 ,  H01J2329/8655

Abstract: 본발명에의한평면표시장치(300)는페이스플레이트구조체(320), 백플레이트구조체(330), 포커싱구조체(333a), 및복수의스페이서(340)를포함한다. 백플레이트구조체는페이스플레이트구조체에대면하는전자방출구조체(332)를포함한다. 포커싱구조체는전자방출구조체상에위치한제 1 표면과, 전자방출구조체에서떨어져연장된제 2 표면을구비한다. 포커싱구조체와전자방출구조체의조합의전기적단말은포커싱구조체의제 1 및제 2 표면중간에위치한가상의평면에위치한다. 각스페이서는포커싱구조체내의대응홈에위치하여각 스페이서의전기적단말이포커싱구조체와전자방출구조체의조합의전기적단말과일치하게되는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020010031780A

公开(公告)日：2001-04-16

申请号：KR1020007004846

申请日：1998-09-04

Applicant: 모토로라 솔루션즈, 인크.

Inventor： 에이지노,스콧,케이. ,  스미스,피터,에이.

IPC: H01J1/62

CPC classification number: H01J9/242 ,  H01J9/185 ,  H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/863 ,  H01J2329/864

Abstract: 전계방출장치(100)는다수의전자이미터(124)를구비하는음극(102), 상기음극(102)과마주보는양극(104), 및상기양극(104)과음극(102) 사이에뻗어있는복합스페이서(108)를포함한다. 상기복합스페이서(108)는유전체또는벌크저항물질로만들어지는제 1 층(107), 및상기제 1 층(107)과맞닿아있고금속, 금속합금, 또는세라믹-금속혼합물질로만들어지는전도층(109)을포함한다. 상기복합스페이서(108)의높이는 500㎛이상이다.

公开(公告)号：KR100357684B1

公开(公告)日：2002-10-25

申请号：KR1019997008910

申请日：1998-03-24

Applicant: 컨데슨트 인터렉추얼 프로퍼티 서비시스 인코포레이티드

Inventor： 드럼폴엠.

IPC: H01J29/10

CPC classification number: H01J9/242 ,  H01J29/085 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/00

Abstract: 평면패널디스플레이소자의페이스플레이트(104)상의서브화소의행(106,108) 및열(110-122)을분리하는다레벨전도성매트릭스구조가개시된다. 상기매트릭스구조는평행하게떨어져있고높이를갖는다수의제 1 전도성리지들을가지며, 상기다수의제 1 리지들의높이보다높은높이를가진평행하게떨어져있는다수의제 2 전도성리지를포함하고, 상기제 2 전도성리지들의높이는상기제 1 및제 2 전도성리지들의교차부에서상기제 1 전도성리지의높이로감소된다.

公开(公告)号：KR1020010034069A

公开(公告)日：2001-04-25

申请号：KR1020007007678

申请日：1999-01-07

Applicant: 모토로라 솔루션즈, 인크.

Inventor： 앤더슨클리포드엘. ,  암리네크레이그 ,  야마모토조이스케이. ,  후앙롱퐁 ,  스미스피터,에이. ,  아게노스코트케이.

IPC: H01J3/12

CPC classification number: H01J31/123 ,  H01J29/028 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/864

Abstract: 전계방출장치(100)는다수의전자이미터(124)를구비한음극판(102), 상기음극판(102)에대면한양극판(104) 및상기양극판(104)과음극판(102) 사이에확장되어있는벌크저항스페이서(108)를포함한다. 상기벌크저항스페이서(108)는전기적으로전도성인물질로제작된다. 상기전기적으로전도성인물질의저항성은충돌전하를제거하면서, 양극판(104)으로부터벌크저항스페이서(108)를통과하여음극판(102)으로흐르는전류로인한과다한전력손실을막기위한것이다.

公开(公告)号：KR1020130023280A

公开(公告)日：2013-03-07

申请号：KR1020127033814

申请日：2011-06-08

Applicant: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈

Inventor： 고바야시,긴야 ,  요꼬스까,도시유끼 ,  이,찬

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J2201/025 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/281

Abstract: 본 발명은, 패턴으로부터 방출되는 전자를 적정하게 패턴 밖으로 유도하기 위한 전계를 형성하는 전자 빔 주사 방법, 및 주사 전자 현미경의 제공을 목적으로 한다. 상기 목적을 달성하기 위해서, 대전을 형성하기 위한 전자 빔을, 시료에 조사할 때에, 시료 위에 형성된 패턴의 패턴 중심(104)을 대칭점으로 하는 제1 위치(1)와 제2 위치(2)에, 제1 전자 빔을 조사한 후, 대칭점을 중심으로 한 제1과 제2 위치와 동일한 반경 상으로서, 제1과 제2 조사 위치 사이의 2개의 중심 위치(3, 4)에 더 제1 전자 빔을 조사하고, 또한 그 후, 반경 상의 기주사 위치 간의 중심 위치로의 제1 전자 빔의 조사를 반복한다.

公开(公告)号：KR100558665B1

公开(公告)日：2006-03-10

申请号：KR1020007005626

申请日：1999-01-07

Applicant: 모토로라 솔루션즈, 인크.

Inventor： 스미스,로버트,티. ,  트루질로,요한 ,  쉬에,쳉강

IPC: H01J29/02

CPC classification number: G09G3/22 ,  G09G2310/0267 ,  H01J29/00 ,  H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/8625

Abstract: 전계 방출 디스플레이(100)에서 전하의 누적을 감소시키는 방법은 다수의 전자 방출기(114)가 전계 방출 디스플레이(100)의 양극(124)에서 전위를 감소시키도록 전자(132)를 방출하게 하는 단계를 포함한다. 양극(124)에서 전위를 감소할 때, 전자(132)는 스페이서(130)의 정전기적으로 양으로 대전된 표면(129)을 중화시킨다. 양극 전위는 양극(124)에 연결된 전압원(126)과 직렬로 저항(127)을 제공하여 강하시킨다. 양극 전위는 전자 방출기(114)가 양극(124)에서 풀다운 전류(128)를 제공하도록 동시에 방출하게 하여 감소된다. 양극(124)에서의 전압은 대전된 표면을 중화시키기 위하여 충분한 전자선속(132)이 대전된 표면으로 끌어당겨지게 하는 값으로 감소된다.

公开(公告)号：KR1020010005836A

公开(公告)日：2001-01-15

申请号：KR1019997008910

申请日：1998-03-24

Applicant: 컨데슨트 인터렉추얼 프로퍼티 서비시스 인코포레이티드

Inventor： 드럼폴엠.

IPC: H01J29/10

CPC classification number: H01J9/242 ,  H01J29/085 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/00

Abstract: 평면패널디스플레이소자의페이스플레이트(104)상의서브화소의행(106,108) 및열(110-122)을분리하는다레벨전도성매트릭스구조가개시된다. 상기매트릭스구조는평행하게떨어져있고높이를갖는다수의제 1 전도성리지들을가지며, 상기다수의제 1 리지들의높이보다높은높이를가진평행하게떨어져있는다수의제 2 전도성리지를포함하고, 상기제 2 전도성리지들의높이는상기제 1 및제 2 전도성리지들의교차부에서상기제 1 전도성리지의높이로감소된다.

公开(公告)号：KR101445475B1

公开(公告)日：2014-09-26

申请号：KR1020127033814

申请日：2011-06-08

Applicant: 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈

Inventor： 고바야시,긴야 ,  요꼬스까,도시유끼 ,  이,찬

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J2201/025 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/281

Abstract: 본 발명은, 패턴으로부터 방출되는 전자를 적정하게 패턴 밖으로 유도하기 위한 전계를 형성하는 전자 빔 주사 방법, 및 주사 전자 현미경의 제공을 목적으로 한다. 상기 목적을 달성하기 위해서, 대전을 형성하기 위한 전자 빔을, 시료에 조사할 때에, 시료 위에 형성된 패턴의 패턴 중심(104)을 대칭점으로 하는 제1 위치(1)와 제2 위치(2)에, 제1 전자 빔을 조사한 후, 대칭점을 중심으로 한 제1과 제2 위치와 동일한 반경 상으로서, 제1과 제2 조사 위치 사이의 2개의 중심 위치(3, 4)에 더 제1 전자 빔을 조사하고, 또한 그 후, 반경 상의 기주사 위치 간의 중심 위치로의 제1 전자 빔의 조사를 반복한다.

公开(公告)号：KR100683048B1

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：KR1020007007678

申请日：1999-01-07

Applicant: 모토로라 솔루션즈, 인크.

Inventor： 앤더슨클리포드엘. ,  암리네크레이그 ,  야마모토조이스케이. ,  후앙롱퐁 ,  스미스피터,에이. ,  아게노스코트케이.

IPC: H01J3/12

CPC classification number: H01J31/123 ,  H01J29/028 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/864

Abstract: 전계 방출 장치(100)는 다수의 전자 방출기(124)를 구비한 음극판(102), 상기 음극판(102)에 대면한 양극판(104) 및 상기 양극판(104)과 음극판(102) 사이에 확장되어 있는 벌크 저항 스페이서(108)를 포함한다. 상기 벌크 저항 스페이서(108)는 전기적으로 전도성인 물질로 제작된다. 상기 전기적으로 전도성인 물질의 고유 저항은 충돌 전하를 제거하면서, 양극판(104)으로부터 벌크 저항 스페이서(108)를 통과하여 음극판(102)으로 흐르는 전류로 인한 과다한 전력 손실을 막기 위한 것이다.