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    포토마스크 및 그 제조 방법
    82.
    发明授权
    포토마스크 및 그 제조 방법 有权
    光掩模和制造方法相同

    公开(公告)号：KR100564597B1

    公开(公告)日：2006-03-28

    申请号：KR1020030094270

    申请日：2003-12-20

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 박진형 ,  허성민

    IPC: H01L21/027

    CPC classification number: G03F1/36

    Abstract: 전자 소자 기판 상에 원하는 임계 치수(Critical Dimension : CD)의 패턴을 정확하게 전사할 수 있는 포토마스크 및 그 제조방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 포토마스크는 앞면(前面)과 뒷면(後面)을 구비하며 노광원의 조명에 대해 투명한 기판, 기판의 앞면에 형성되어 패턴 형성을 위한 투광부를 정의하는 마스크 패턴, 및 기판의 앞면에 형성되고 기판의 뒷면에 입사되어 기판을 투과하는 조명의 강도를 조절하는 다수의 보조패턴을 포함한다. 조명의 강도를 조절하는 보조패턴을 포토마스크 기판 앞면에 포함시킴으로써 원하는 CD의 패턴을 정확하게 전사할 수 있으며, 보조패턴의 배치와 밀도를 조절하여 포토마스크의 국소적(local) 또는 전반적(global) CD 보정 및 리페어가 가능해진다.

    포토마스크 및 그 제조 방법
    83.
    发明公开
    포토마스크 및 그 제조 방법 有权
    照相机和制作方法相同

    公开(公告)号：KR1020050062255A

    公开(公告)日：2005-06-23

    申请号：KR1020030094270

    申请日：2003-12-20

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 박진형 ,  허성민

    IPC: H01L21/027

    CPC classification number: G03F1/36

    Abstract: 전자 소자 기판 상에 원하는 임계 치수(Critical Dimension : CD)의 패턴을 정확하게 전사할 수 있는 포토마스크 및 그 제조방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 포토마스크는 앞면(前面)과 뒷면(後面)을 구비하며 노광원의 조명에 대해 투명한 기판, 기판의 앞면에 형성되어 패턴 형성을 위한 투광부를 정의하는 마스크 패턴, 및 기판의 앞면에 형성되고 기판의 뒷면에 입사되어 기판을 투과하는 조명의 강도를 조절하는 다수의 보조패턴을 포함한다. 조명의 강도를 조절하는 보조패턴을 포토마스크 기판 앞면에 포함시킴으로써 원하는 CD의 패턴을 정확하게 전사할 수 있으며, 보조패턴의 배치와 밀도를 조절하여 포토마스크의 국소적(local) 또는 전반적(global) CD 보정 및 리페어가 가능해진다.

    크롬리스 포토 마스크 및 그의 제조방법
    84.
    发明授权
    크롬리스 포토 마스크 및 그의 제조방법 失效
    无色照相面具及其制造方法

    公开(公告)号：KR100480616B1

    公开(公告)日：2005-03-31

    申请号：KR1020020053923

    申请日：2002-09-06

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 정동훈 ,  박진형

    IPC: H01L21/027

    CPC classification number: G03F1/34

    Abstract: 본 발명은 크롬리스 포토 마스크 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 크롬리스 포토 마스크는, 투명체로 형성된 판 상의 마스크 본체에 마스크 본체의 표면을 함몰하여 형성되며 함몰부와 돌출부 사이에 투과된 빛의 위상이 상호 180 °의 위상차를 갖도록 패턴들이 형성된 본 패턴군과, 이 본 패턴군의 가장 자리부분과 인접하여 마스크 본체의 판 면을 함몰하여 형성되며 함몰부와 돌출부 사이에 투과된 빛의 위상이 상호 180 °의 위상차를 갖도록 형성된 패턴들을 가진 보조 패턴군을 포함한다.
    이렇게 본 패턴군 주변에 보조 패턴군을 형성함으로써, 본 패턴군의 가장자리 부분에 형성되는 패턴의 왜곡을 방지하고 마스크 2차 정렬시 오정렬 마진을 크게 가져갈 수 있다.

    결함인식기준을 설정하기 위한 기준패턴을 갖는 기준마스크, 그 제조 방법, 그것을 사용하여 결함인식기준을 설정하는 방법 및 그것을 사용하여 결함을 검사하는 방법
    85.
    发明公开
    결함인식기준을 설정하기 위한 기준패턴을 갖는 기준마스크, 그 제조 방법, 그것을 사용하여 결함인식기준을 설정하는 방법 및 그것을 사용하여 결함을 검사하는 방법 失效
    具有用于设置缺陷识别参考的参考图案的参考掩模，其制造方法，用于设置使用其的缺陷识别参考的方法和使用该方法来检查缺陷的方法更容易找到透明缺陷

    公开(公告)号：KR1020050007502A

    公开(公告)日：2005-01-19

    申请号：KR1020030046181

    申请日：2003-07-08

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 조원일 ,  신인균 ,  박진형

    IPC: H01L21/027

    CPC classification number: G03F1/84 ,  G01N21/93 ,  G01N21/9501

    Abstract: PURPOSE: A reference mask with a reference pattern for setting a defect recognizing reference is provided to more easily find a transparent defect by including a reference pattern that more easily finds the transparent defect capable of having influence upon pattern formation without varying the structure of defect inspecting equipment. CONSTITUTION: The reference mask has a reference pattern for setting a defect recognizing reference, including a blank region(A) and a grating region(C). The blank region is made of a part of a transparent substrate. The grating region is adjacent to the blank region, including a plurality of parallel trench lines(200) formed on the transparent substrate.

    Abstract translation: 目的：提供具有用于设置缺陷识别参考的参考图案的参考掩模，以通过包括更容易找到能够影响图案形成的透明缺陷的参考图案来更容易地找到透明缺陷，而不改变缺陷检查的结构 设备。 构成：参考掩模具有用于设置缺陷识别基准的参考图案，包括空白区域（A）和光栅区域（C）。 空白区域由透明基板的一部分制成。 光栅区域与空白区域相邻，包括形成在透明衬底上的多个平行沟槽线（200）。

    가스렌지의 그릴도어
    86.
    发明公开
    가스렌지의 그릴도어 无效
    燃气灶的格栅门

    公开(公告)号：KR1019990032047A

    公开(公告)日：1999-05-06

    申请号：KR1019970052976

    申请日：1997-10-16

    Applicant: 삼성전자주식회사

    Inventor： 박진형

    IPC: F24C15/02

    Abstract: 본 발명은 가스렌지의 그릴도어에 관한 것으로서, 가스렌지의 수납부 내부에는 음식물을 넣기 위한 그릴케이스가 삽입되고, 그릴케이스 일면에는 고정브라켓트가 고정되어 있으며, 고정브라켓의 바깥측에는 가이드공을 갖도록 고정판 및 손잡이부가 고정되어 있고, 가이드공 내부에는 그릴케이스의 취출시 가이드공을 따라 상,하방향으로 이동되는 투시창이 삽입되며, 투시창을 결합시키는 투시창 이동수단으로 구성된 도어그릴이 구비됨으로써, 도어그릴의 취출시 그릴케이스와 투시창에 대한 높이차이를 최소로 줄일 수 있어 그릴케이스내에 음식물을 넣거나 또는 꺼내기가 간편하고, 특히 사용자의 손이 투시창에 걸려 음식물을 떨어뜨리거나 또는 화상을 미연에 방지할 수 있다.

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