公开(公告)号：KR100594040B1

公开(公告)日：2006-06-30

申请号：KR1020040001178

申请日：2004-01-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한동균 ,  김경염

IPC: G02B6/28

CPC classification number: G02B6/12016

Abstract: 본 발명에 따라 제1 및 제2 슬랩 도파로들과, 상기 제1 및 제2 슬랩 도파로들을 연결하는 복수의 채널 도파로들과, 상기 제1 슬랩 도파로와 연결된 입력부와, 상기 제2 슬랩 도파로와 연결된 출력부를 갖는 파장분할 다중화기에 있어서, 상기 입력부는, 외부로부터 광신호를 수신하기 위한 입력 도파로와; 상기 입력 도파로와 연결되며, 제1 밴드의 광신호를 제1 연결 도파로로 출력하고, 제2 밴드의 광신호를 제2 연결 도파로로 출력하기 위한 파장분할다중 필터와; 상기 제1 연결 도파로를 통해 상기 파장분할다중 필터와 연결되고, 입력된 제1 밴드의 광신호를 모드 변환하기 위한 제1 모드 변환기와; 상기 제2 연결 도파로를 통해 상기 파장분할다중 필터와 연결되고, 입력된 제2 밴드의 광신호를 모드 변환하기 위한 제2 모드 변환기를 포함하고, 상기 제1 모드 변환기의 출력 모드의 폭과 상기 제2 모드 변환기의 출력 모드의 폭은 서로 다르다.
파장분할 다중화기, 모드 변환기, 파장분할다중 필터, 듀얼 밴드

公开(公告)号：KR1020060012514A

公开(公告)日：2006-02-08

申请号：KR1020040061228

申请日：2004-08-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고형호 ,  홍창기 ,  최상준 ,  한동균

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/76 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L21/30604 ,  H01L21/0206 ,  H01L21/76224 ,  H01L21/823412 ,  H01L21/823481 ,  Y10S438/906

Abstract: 리세스 채널 영역을 갖는 반도체 기판의 세정 방법을 제공한다. 이 방법은 반도체기판의 소정영역에 배치되어 활성영역들을 정의하는 소자분리막들을 형성하고, 상기 활성영역들의 소정영역을 식각하여 상기 소자분리막들의 측벽을 노출시키는 리세스 채널 영역을 형성한 후, 상기 리세스 채널 영역의 표면을 선택적으로 식각할 수 있는 소정의 희석 세정액을 사용하여 상기 리세스 채널 영역이 형성된 반도체기판을 세정하는 단계를 포함한다. 이때, 상기 희석 세정액은 대략 0.1 내지 1의 부피비를 갖는 암모니아수, 대략 0.3 내지 1의 부피비를 갖는 과산화수소수 및 대략 98 내지 99.6의 부피비를 갖는 순수의 혼합액이다.

公开(公告)号：KR100505693B1

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：KR1020030042133

申请日：2003-06-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한동균 ,  최상준 ,  고형호 ,  이효산 ,  한우성 ,  홍창기

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/31138 ,  H01L21/02043 ,  Y10S438/906

Abstract: 세정되어야 할 물질을 구비하는 미세 전자 소자 기판 표면에 초임계 이산화탄소를 제공한 후, 오존 가스 및 수증기를 제공하는 미세 전자 소자 기판의 세정 방법이 제공된다. 세정되어야 할 물질은 포토레지스트, 유기물 등이다. 초임계 이산화탄소에 의해 세정되어야 할 물질이 팽윤되고, 팽윤된 물질을 오존 가스 및 수증기가 산화시켜 세정이 가능하도록 한다.

公开(公告)号：KR1020050076174A

公开(公告)日：2005-07-26

申请号：KR1020040004005

申请日：2004-01-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한동균

IPC: G02B6/28

CPC classification number: G02B6/12014 ,  G02B6/12004 ,  G02B2006/12038 ,  G02B2006/12061

Abstract: Disclosed is an asymmetric arrayed waveguide grating comprising at least one input waveguide, at least one output waveguide, a first slab waveguide connected to the input waveguide, a second slab waveguide connected to the output waveguide, and a plurality of channel waveguides connecting the first and second slab waveguides. The first and second slab waveguides are left-right asymmetrically formed with reference to a centerline of the channel waveguides.

公开(公告)号：KR1020050001797A

公开(公告)日：2005-01-07

申请号：KR1020030042133

申请日：2003-06-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한동균 ,  최상준 ,  고형호 ,  이효산 ,  한우성 ,  홍창기

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/31138 ,  H01L21/02043 ,  Y10S438/906

Abstract: PURPOSE: A method is provided to remove photoresist or post CMP(Chemical Mechanical Polishing) organic residue from a micro-electronic device substrate in short time by using SCCO2(Super Critical CO2) alone without a solvent. CONSTITUTION: SCCO2 is provided to a surface of a micro-electronic device substrate with photoresist or post CMP organic residue(S4). At this time, the photoresist or post CMP organic residue is swelled due to the SCCO2. The swelled photoresist or post CMP organic residue is removed from the substrate by using an ozone gas and water vapor(S8).

Abstract translation: 目的：提供一种在短时间内通过仅使用SCCO2（超临界CO 2）而不使用溶剂从微电子器件衬底去除光致抗蚀剂或后CMP（化学机械抛光）有机残留物的方法。 构成：SCCO2被提供到具有光致抗蚀剂或后CMP有机残余物的微电子器件衬底的表面（S4）。 此时，由于SCCO2，光致抗蚀剂或后CMP CMP有机残余物膨胀。 通过使用臭氧气体和水蒸汽从基板上除去溶胀的光致抗蚀剂或CMP后残留物（S8）。

公开(公告)号：KR1020040067276A

公开(公告)日：2004-07-30

申请号：KR1020030004306

申请日：2003-01-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 권오달 ,  한동균 ,  김희곤

IPC: G02B6/28

Abstract: PURPOSE: A temperature-independent WDMD(Wavelength Division Multiplexing/Demultiplexing) having an improved alignment characteristic and an aligning method thereof are provided to improve an alignment process by using two alignment waveguides, a 1x2 divider, and an Nx1 coupler. CONSTITUTION: A temperature-independent WDMD having an improved alignment characteristic includes a first alignment waveguide, a second alignment waveguide, and a 1x2 divider. The first alignment waveguide(620) is used for providing a single input alignment port(604a) to the first alignment side(603) and providing the first output alignment port(604b) to the second alignment side(602). The second alignment waveguide(630) is used for sharing the single input alignment port and providing the second output alignment port(630b) to the second side. The 1x2 divider(600) is used for dividing an inputted optical signal into the first alignment waveguide and the second alignment waveguide(620,630).

Abstract translation: 目的：提供具有改进的对准特性的温度独立WDMD（波分复用/解复用）及其对准方法，以通过使用两个对准波导，1x2分频器和Nx1耦合器来改善对准过程。 构成：具有改进的对准特性的与温度无关的WDMD包括第一对准波导，第二对准波导和1x2分频器。 第一对准波导（620）用于向第一对准侧（603）提供单个输入对准端口（604a），并将第一输出对准端口（604b）提供给第二对准侧（602）。 第二对准波导（630）用于共享单个输入对准端口，并将第二输出对准端口（630b）提供给第二侧。 1x2分频器（600）用于将输入的光信号分成第一对准波导和第二对准波导（620,630）。

公开(公告)号：KR100433900B1

公开(公告)日：2004-06-04

申请号：KR1020020034095

申请日：2002-06-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김영훈 ,  한동균 ,  김희곤

IPC: G02B6/12

Abstract: PURPOSE: A polynomial curve tapered waveguide and an optical device using the same are provided to reduce the crosstalk between neighboring channels by reducing the loss and the noise of the polynomial curve tapered waveguide. CONSTITUTION: A polynomial curve tapered waveguide includes a start waveguide(31), an end waveguide(33), and a tapered waveguide(32). The tapered waveguide(32) is formed between the start waveguide(31) and the end waveguide(33). The tapered waveguide(32) is used for connecting the start waveguide(31) and the end waveguide(33) of different structures to each other. The tapered waveguide(32) has the width of a nonlinear curve structure. The nonlinear curve structure of the tapered waveguide(32) is expressed by a polynomial expression.

Abstract translation: 目的：提供多项式曲线锥形波导和使用其的光学装置，以通过降低多项式曲线锥形波导的损耗和噪声来降低相邻通道之间的串扰。 构成：多项式曲线锥形波导包括起始波导（31），端部波导（33）和锥形波导（32）。 锥形波导（32）形成在起始波导（31）和端部波导（33）之间。 锥形波导（32）用于将起始波导（31）和不同结构的端部波导（33）彼此连接。 锥形波导（32）具有非线性曲线结构的宽度。 锥形波导（32）的非线性曲线结构由多项式表示。

公开(公告)号：KR100303283B1

公开(公告)日：2001-11-01

申请号：KR1019990028397

申请日：1999-07-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강희춘 ,  한동균 ,  김현수

IPC: G02B6/12

Abstract: 본발명은폴리노미얼곡선알고리즘을이용해천이손실없이직선도파로를이어주는도파로열격자의누화특성개선방법을개시한다. 이러한폴리노미얼곡선알고리즘을이용한도파로열격자의누화특성개선방법은특정더미파라미터 t에서의 x 및 z값기울기를단순히해당더미파라미터에해당하는좌표에서의 x축에대한각에대한 sin과 cos값으로사용하는폴리노미얼곡선을이용하여천이손실없이직선도파로를이어주는폴리노미얼곡선에있어서, sin과 cos값을소정의값으로스케일링하여폴리노미얼곡선의길이를제어함을특징으로하며, 소자의손실특성뿐만아니라소자를구성하는도파로의정확한길이가소자의전체특성을결정하는매우중요한요소가될 때 P-curve 알고리듬중한 식을수정함으로써보다정확한길이의 P-curve를구현할수 있다.

公开(公告)号：KR1020010009805A

公开(公告)日：2001-02-05

申请号：KR1019990028397

申请日：1999-07-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강희춘 ,  한동균 ,  김현수

IPC: G02B6/12

Abstract: PURPOSE: A method is provided to improve the crosstalk of an arrayed waveguide grating using a polynomial curve algorithm by connecting linear waveguides without generating the transfer loss. CONSTITUTION: For improving the crosstalk of an arrayed waveguide grating, linear waveguides are connected to each other without generating the transfer loss using a polynomial curve algorithm. The polynomial curve uses x-value gradient and z-value gradient of a specific parameter as a sine value and a cosine value about the x-axis of the corresponding parameter coordinates. The length of the polynomial curve being controlled by scaling the sine value and the cosine value. The loss property of a device as well as the accurate length of the waveguide consisting of the device are very important matters for deciding the entire property of the device. Therefore, it is possible to realize the polynomial curve having a more accurate length by amending a certain formula of the polynomial curve algorithm.

Abstract translation: 目的：提供一种使用多项式曲线算法通过连接线性波导而不产生传输损耗来改善阵列波导光栅的串扰的方法。 构成：为了改善阵列波导光栅的串扰，使用多项式曲线算法，线性波导彼此连接而不产生传输损耗。 多项式曲线使用特定参数的x值梯度和z值梯度作为正弦值和关于相应参数坐标的x轴的余弦值。 通过缩放正弦值和余弦值来控制多项式曲线的长度。 器件的损耗特性以及由器件组成的波导的精确长度对于决定器件的整体性能是非常重要的。 因此，可以通过修改多项式曲线算法的某个公式来实现具有更精确长度的多项式曲线。

公开(公告)号：KR1020010003113A

公开(公告)日：2001-01-15

申请号：KR1019990023275

申请日：1999-06-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 한동균 ,  김현수

IPC: G02B6/293

Abstract: PURPOSE: A method for producing an optical wavelength divider to improve crosstalk and the optical wavelength divider thereof are provided to have minimum crosstalk through applying pitch/linear dispersion scalings. CONSTITUTION: Linear dispersion value of an optical wavelength divider is maintained while varying pitch of a waveguide grate. Focus distance of the second star coupler is varied according to pitch of the grate. Thus, the wavelength dispersion from the grate is mapped on a focus plane. A sidelobe of an interfering pattern from the star coupler is measured. The pitch and the focus distance are decided for the sidelobe to have minimum value. In case of a pitch scaling, distance between output waveguides is maintained by maintaining wavelength distance.

Abstract translation: 目的：提供一种用于产生用于改善串扰的光波长分配器的方法及其光波长分配器，以通过施加音调/线性色散缩放来具有最小的串扰。 构成：维持光波长分配器的线性色散值，同时改变波导格栅的间距。 第二颗星耦合器的聚焦距离根据格栅的间距而变化。 因此，来自格栅的波长色散被映射在聚焦平面上。 测量来自星形耦合器的干扰图案的旁瓣。 决定旁瓣的距离和焦距保持最小值。 在间距缩放的情况下，通过保持波长距离来维持输出波导之间的距离。