Abstract:
A microphone integrated with CMOS circuits which are reduced in size using a simple process and a fabrication method thereof are proposed. The proposed microphone is a microphone integrated with CMOS circuits with a sound sensor including silicon nanowires and a CMOS signal processing circuit arranged on a silicon substrate in an integrated manner. [Reference numerals] (111) Silicon nano wire;(112) Silicon nitride layer;(120) CMOS signal processing circuit;(130) Silicone substrate
Abstract:
생체물질 분석장치 및 이에 적용가능한 자기 센서가 제공된다. 본 생체물질 분석장치는, 자기장 인가부 및 타겟 생체물질을 포획하는 리셉터에 부착된 자성 물질에 의한 자기장 인가부에 인가되는 자기장의 변화를 감지하는 자기 센서를 포함하고, 자기장 인가부에 의해 인가되는 자기장과 자기 센서의 각도는 조정가능하다. 이에 의해, 타겟 생체물질을 포획하는 리셉터에 부착된 자성 물질에 의한 자기장의 변화를 감지 센서로 감지하되 자기장과 자기 센서의 각도가 조정가능할 수 있어, 비교적 높은 감도로 자기장 감지를 분별력 있게 수행할 수 있게 된다.
Abstract:
PURPOSE: A method for manufacturing a biosensor element for detecting glucose and the biosensor element and a method for detecting glucose using the same are provided to fix a hydrophilic molecular film on a metalloid polymer nancomposite, to generate a compound by inducing covalent bond of graphene oxide, and to improve blood glucose detection. CONSTITUTION: A method for manufacturing a biosensor element comprises: a step of fixing a hydrophilic molecular film onto a nanocomposite(S110); a step of inducing covalent bond of the nanocomposite and graphene and generating a compound(S120); and a step of modifying glucose oxidase(S130). The nanocomposite is PEG-SIO2@Ag. The hydrophilic molecular film is 3-APTES(3-aminopropyltriethoxysilane). The fixation is performed by fixing 3-APTES on PEG-SIO2@Ag. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Fix a hydrophilic molecular film onto a metalloid polymer nanocomposite(MPNC); (S120) Generate a compound by inducing the covalent bond of graphene oxide(GO) and the metalloid polymer nanocomposite on which the hydrophilic molecular film is fixed; (S130) Modify glucose oxidase(GOX) on the compound
Abstract:
PURPOSE: A silicon nanowire element is provided to maintain the element on a substrate, where the element is generated, without transferring the element to other substrates after manufacturing, thereby preventing a nanowire from being cut, damage to the nanowire, and a short circuit caused by a transferring process. CONSTITUTION: A silicon nanowire element comprises a first conductive silicon substrate(110) and a second conductive nanowire(120). The second conductive nanowire is formed to be spaced from the first conductive silicon substrate, and both ends of the second conductive nanowire are connected to the first conductive silicon substrate.
Abstract:
PURPOSE: A portable diagnostic apparatus by electrical parameter analysis is provided to accurately detect diseases or to measure protein concentration. CONSTITUTION: A disease diagnostic apparatus comprises: an NC membrane structure(100), an analyzer(200), and a power supply device(300). The NC membrane structure has a sample injection area, a labeling-nanoparticle injection area, a base area(130), a test area-1(140), a test area-2(150), a reference area(160), and a sample absorbing area. Proteins captured in the base area, reference area, and test area are labeled by a LNP(labeling nanoparticles) on the labeling-nanoparticle injection area. [Reference numerals] (200) Analyzer
Abstract:
본 발명은 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1 채널 마이크로폰 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 센싱부인 실리콘 나노와이어가 중앙부에 형성되어 있는 제 1 기판; 상기 센싱부를 기준으로 양분된 제 1 기판 상에 형성된 전극층; 상기 제 1 기판 상에 형성되고, 상기 전극층을 노출시키는 구조로 코팅되어 있는 멤브레인 막; 상기 멤브레인 막 상에 형성되고, 상기 전극층 및 센싱부에 대응되는 부분은 사진식각공정을 통해 제거된 플렉서블 기판; 및 상기 중앙 센싱부의 멤브레인 막이 드러날 때까지 마모된 제 1 기판 하부에 형성되고, 상기 센싱부에 진공 또는 기준압력을 위한 캐비티 형성을 위해 부착된 캡을 포함하는 플렉서블 기판을 이용한 압력센서 및 이를 이용한 5.1채널 마이크로폰의 제조방법에 관한 것이다. 압력센서, 멤브레인, 5.1채널, 마이크로폰
Abstract:
PURPOSE: A pressure sensor, using flexible printed circuit board, and 5.1 channel microphone manufacturing method using the same are provided to miniaturize a product by simplifying an assembly process. CONSTITUTION: A pressure sensor, using flexible printed circuit board, comprises a first substrate, an electrode layer(101), a membrane film(102) and a flexible printed circuit board(103). A sensing part silicon nano wire(100) is formed in the central part of the first substrate. A silicon body is worn away until the membrane film of the sensing part is revealed. The electrode layer is formed on the first substrate which is divided into two parts based on the sensing part. The membrane film is formed in the first substrate and is coated on the first substrate as the structure of exposing the electrode layer. The flexible printed circuit board comprises a cap attached to the sensing part in order to form a cavity on the sensing part for vacuum or base pressure.
Abstract:
PURPOSE: A diseases diagnosis apparatus comprising a nano magnetic particles and nano sensors is provided to enable repetitive target detection and to improve test reliability. CONSTITUTION: A diseases diagnosis apparatus comprises: a magnetic nano particles in which a target molecule-specific receptor is fixed; a magnetic field supply unit which is able to control the magnetic nano particles; and a nano sensor which senses specific molecules which is attached to the receptor of the magnetic nano particles. The nano sensor comprises a nano structure of nano wire, nano tube, nano rod, or nano gap. The receptor is enzyme substrate, ligand, antibody, amino acid, peptide, protein, nucleic acid, lipid, or carbohydrate.
Abstract:
본 발명은 나노와이어 소자를 다른 기판에 트랜스퍼시키는 방법에 있어서, 나노와이어가 제작된 제1 기판을 준비하는 단계; 제 2기판에 돌출부가 형성되도록 단차를 형성하는 단계; 상기 단차 형성된 제2 기판에 점착제를 균일하게 코팅하는 단계; 상기 나노와이어를 상기 제2 기판에 트랜스퍼시키는 단계; 상기 나노와이어를 상기 제2 기판에서 분리하는 단계를 포함하는 나노와이어 전사방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 단차 형성된 기판의 돌출부에만 전사시킬 수 있으므로 선명한 나노와이어를 집적도를 높여 웨이퍼 기판으로 대량 생산이 가능한 효과를 가진다. 나노와이어, 트랜스퍼, 열산화막 공정, PR(Photo-Resist), 식각
Abstract:
비표지 방식의 고감도 나노와이어 트랜지스터 센서, 제조방법 및 이를 이용한 생체분자 검출장치가 제안된다. 제안된 나노와이어 트랜지스터 센서는 나노와이어 트랜지스터 센서는 게이트, 게이트상에 서로 이격되어 형성된 소스 및 드레인, 게이트와 소스 및 드레인 각각 사이에 형성되고, 소스 및 드레인이 이격된 영역에 채널영역이 형성된 절연층 및 소스와 드레인을 연결하되 게이트와 대향하는 면에 생체물질 특이성을 갖는 리셉터를 포함하는 나노와이어를 포함한다. 또한, 제안된 나노와이어 트랜지스터 센서 제조방법은 게이트를 형성하는 단계; 게이트상에 절연층을 형성하는 단계; 절연층상에, 게이트 및 절연층의 적층방향과 수직하도록 나노와이어를 형성하는 단계; 절연층 상에 서로 이격된 소스 및 드레인을 각각 형성하되, 소스 및 드레인은 나노와이어로 서로 연결되도록 형성하는 단계; 절연층을 식각하여 채널영역을 형성하는 단계; 및 나노와이어를 생체물질 특이성을 갖는 리셉터를 포함하도록 표면처리하는 단계;를 포함한다. 나노와이어, 트랜지스터 센서, 스페이서