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公开(公告)号：KR101537513B1
公开(公告)日：2015-07-17
申请号：KR1020140023953
申请日：2014-02-28
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G10K11/08 , G10K11/22 , G10K11/26 , H04R1/345 , H04R23/00 , G02F2202/30 , H04R1/08
Abstract: 본발명은메타물질음파증폭기에관한것으로서, 공진현상을이용하여음파를증폭(amplifier)시킬수 있는메타물질음파증폭기을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种金属材料声波放大器。 本发明提供可以使用共振现象放大声波的超声材料声波放大器。 金属材料声波放大器包括板（100），其中形成有多个固定图案的声波导体（110）以便穿透一个平面和另一个平面。 基于中心点，中心轴或中心平面，声波引导件（110）以固定间隙分开，以彼此面对。
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公开(公告)号：KR101486217B1
公开(公告)日：2015-02-06
申请号：KR1020130153144
申请日：2013-12-10
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 미세 하중의 감지를 위한 촉각 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 커브 형 구조를 갖는 전도성 나노 또는 마이크로 필러의 맞물림에 따른 전압, 전류 및 저항의 변화에 따라 수직 하중, 전단 하중 및 비틀림 하중을 감지하며, 특히 센서의 하중 감지면에 커브 형 구조의 나노 또는 마이크로 필러를 추가 형성하여 센서의 질감과 감도를 높인 커브 형 전도성 나노 또는 마이크로 필러를 이용한 촉각 센서에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用曲线型导电纳米或微填料感测细力的触觉传感器。 更具体地说，使用曲线型导电纳米或微填料的触觉传感器可以根据导电纳米或微填料的接合引起的电压，电流和电阻的变化来感测法向力，剪切力和扭力 具有曲线型结构的微型填料。 特别地，触觉传感器可以通过在传感器的力感测表面上另外形成曲线型导电纳米或微填料来增加传感器的质感和灵敏度。
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公开(公告)号：KR101471639B1
公开(公告)日：2014-12-12
申请号：KR1020130153686
申请日：2013-12-11
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: G01L5/228 , B25J19/02 , B81C1/00015
Abstract: 본 발명은 미세 하중의 감지를 위한 촉각 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유연한 촉각 센서에 삽입되는 전극을 유연한 금속망 재질로 구성하여 전극의 단락 및 크랙 발생을 방지하고, 하중 위치에 따른 저항 값 변화를 최소화 하여 정확도를 높인 유연한 금속망 전극을 갖는 촉각 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于感测微小负载的触觉传感器，更具体地涉及一种具有柔性金属网状电极的触觉传感器及其制造方法，其通过形成插入到电极中的电极来防止电极的裂纹和短路 使用柔性金属网材料的柔性触觉传感器，并且通过根据负载位置最小化电阻值变化来提高精度。
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公开(公告)号：KR101424987B1
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：KR1020120139648
申请日：2012-12-04
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명에 따른 메타머티리얼을 이용한 센싱 플랫폼은 다수의 메탈릭 패치 엘리먼트(metalic patch element); 다수의 메탈릭 와이어 엘리먼트(metalic wire element); 및 상기 다수의 메탈릭 패치 엘리먼트와 상기 다수의 메탈릭 와이어 엘리먼트의 사이에 위치하는 다이일렉트릭 서브스트레이트(dielectric substrate)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 그 결과, 본 발명에 따른 메타머티리얼을 이용한 센싱 플랫폼은 센싱 플랫폼 위의 물질이 달라졌을 때 공명주파수의 변화가 크고 대역폭이 좁아지도록 설계하는 것이 용이하다. 또는 본 발명에 따른 센싱 플랫폼을 포함하는 라벨 프리 센서는 검사 성능이 우수하다.
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公开(公告)号：KR1020140074461A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：KR1020120142431
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: The present invention relates to a tactile sensor for detecting micro-loading and, more specifically, to a tactile sensor using the interlocking of a piezoelectric element, which senses a vertical load, a shear load, and a torsional load in accordance with the change of voltage, current and resistance due to the interlocking between the piezoelectric element and a conductive material.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测微载物的触觉传感器，更具体地说，涉及一种使用压电元件互锁的触敏传感器，该感应传感器根据变压器感测垂直载荷，剪切载荷和扭转载荷 由于压电元件和导电材料之间的互锁而导致的电压，电流和电阻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101379680B1
公开(公告)日：2014-04-01
申请号：KR1020120048922
申请日：2012-05-09
Applicant: 한국기계연구원 , 이화여자대학교 산학협력단
CPC classification number: B81B3/0086 , B81B2201/0257 , B81C1/00698 , C25D1/08 , C25D3/04 , C25D3/12 , C25D3/38 , C25D3/44 , C25D3/46 , C25D3/54 , C25D3/56 , C25D5/02 , C25D5/34 , C25D7/12 , H04R19/005 , H04R19/04
Abstract: 듀얼 백플레이트를 갖는 MEMS 마이크로폰 및 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 MEMS 마이크로폰은 중앙부에 제1 백플레이트가 형성되는 기판; 상기 기판 상부 양측에 형성되는 제1 지지부 상부에 배치되고, 외부 음압에 따라 진동하는 멤브레인판; 상기 멤브레인판 상부 양측에 형성되는 제2 지지부 상부에 배치되는 제2 백플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本文公开了具有双背板的微机电系统（MEMS）麦克风及其制造方法。 根据本发明的示例性实施例的MEMS麦克风包括：具有形成在其中心部分的第一背板的基板; 膜片，其设置在形成在基板的两侧的第一支撑部上，并且根据外部声压而振动; 以及设置在形成在所述膜板的两侧的第二支撑部上的第二后板。
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公开(公告)号：KR101326020B1
公开(公告)日：2013-11-07
申请号：KR1020110139518
申请日：2011-12-21
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H04R17/02 , A61N1/36036 , H04R1/083 , H04R31/006 , H04R2430/03
Abstract: 본 발명은 결합형 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법은 기판에 상층 전극부를 코팅하여 상부층을 제조하는 상부층 제조단계; 베이스에 형성되는 기저막 상에 하층 전극부를 패터닝 하는 단계, 상기 하층 전극부 상에 압전 특성을 지니는 나노 와이어를 성장시키는 단계를 포함하여 하부층을 제조하는 하부층 제조단계; 및 상기 상층 전극부와 상기 하층 전극부가 전기적으로 연결되도록 상기 상부층과 상기 하부층을 상호 결합하는 결합단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 나노 와이어가 성장된 하부층과 전극이 형성되는 상부층을 컴팩트하게 결합하여 광 대역 주파수의 음향파를 인지하도록 도와줄 수 있는 결합형 인공와우용 주파수 분리장치 제조방법이 제공된다.-
公开(公告)号：KR101058475B1
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：KR1020100045403
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/04
Abstract: PURPOSE: An MEMS(Microelectromechanical system) microphone using a graphene membrane and a manufacturing method thereof are provided to simplify an overall structure by removing a structure which stores a separate back-plate electrode and electric charge. CONSTITUTION: A microphone of a graphene base comprises the graphene membrane part(40), a back-plate electrode part(51), a back-plate part, an air hole(43), a clamping part(45) and an oxide film sacrificial layer(46). The back-plate part forms the graphene membrane part and an air gap. The backplate part comprises a wafer(42) and a poly-silicon layer(44) arranged on the wafer. The air hole is formed in order to distribute air. A geometric structure between the back-plate part and the graphene membrane part are changed by a vibration.
Abstract translation: 目的：提供使用石墨烯膜的MEMS（微机电系统）麦克风及其制造方法，以通过去除存储单独的背板电极和电荷的结构来简化总体结构。 构成：石墨烯基体的麦克风包括石墨烯膜部分（40），背板电极部分（51），背板部分，空气孔（43），夹紧部分（45）和氧化膜 牺牲层（46）。 背板部分形成石墨烯膜部分和气隙。 背板部分包括晶片（42）和布置在晶片上的多晶硅层（44）。 形成空气孔以便分配空气。 背板部分和石墨烯膜部分之间的几何结构由振动改变。
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公开(公告)号：KR1020110017515A
公开(公告)日：2011-02-22
申请号：KR1020090075012
申请日：2009-08-14
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2051 , G03F7/70375 , G03F7/70383
Abstract: PURPOSE: According to the exposure method of the micro electro mechanical system and apparatus thereof is the change of the moving picture image, the exposure position and exposure level of photoresist are adjusted. CONSTITUTION: The pattern image is formed by using computer(S1). The same pattern image is marked by using projector for the surface of the exposed substance(S2). The same pattern image is arranged in the surface of the exposed substance(S3). According to the surface area of the exposed substance, the size of the same pattern image is controlled(S4).
Abstract translation: 目的：根据微机电系统的曝光方法及其装置，调整了动态图像的变化，曝光位置和曝光量。 构成：使用计算机形成图案图像（S1）。 使用投影仪对暴露物质的表面标记相同的图案图像（S2）。 在暴露物质的表面上配置相同的图案图像（S3）。 根据暴露物质的表面积，控制相同图案图像的尺寸（S4）。
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公开(公告)号：KR100937211B1
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：KR1020090042704
申请日：2009-05-15
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/022 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A roll imprint device is provided to engrave a pattern with various scales of 100 nm to 100 um in a plastic film by controlling the pressure and the temperature. CONSTITUTION: A film roll(12) supplies a flexible substrate wound with a roll shape while rotating. A pattern roll(20) transfers the pattern on the flexible substrate while the flexible pattern plate is fixed on the surface and is rotated. A pressure roll(25) rotates near the pattern roll while interposing the flexible substrate. In a pattern roll, the plate fixing unit is formed on the surface. A plate fastening unit is formed adjacently to the plate fixing unit. A depression unit is depressed from the surface of the pattern roll. A fixing bar fixes one end of the flexible pattern plate while being coupled with the depression unit.
Abstract translation: 目的：通过控制压力和温度，在塑料薄膜中设置滚动印记装置，以雕刻100到100微米的各种尺度的图案。 构成：胶片卷（12）在旋转的同时提供缠绕成卷状的柔性基材。 图案辊（20）在柔性图案板固定在表面上并旋转时将图案转移到柔性基板上。 压力辊（25）在插入柔性基板的同时在图案辊附近旋转。 在图案辊中，板固定单元形成在表面上。 板固定单元与板固定单元相邻地形成。 凹陷单元从图案辊的表面压下。 固定杆在与凹陷单元联接的同时固定柔性图案板的一端。
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