公开(公告)号：WO2015170260A1

公开(公告)日：2015-11-12

申请号：PCT/IB2015/053295

申请日：2015-05-06

Applicant: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： BLOMQVIST, Anssi

IPC: G01C19/5762 ,  G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5762 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/033 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5747

Abstract: A microelectromechanical gyroscope structure for detecting angular motion about an axis of angular motion (Z). A drive element (102) is suspended for one-dimensional motion in a direction of a drive axis (X), and a sense body (100) carries one or more sense rotor electrodes (200) and is coupled to the drive element (102) with a first directional spring structure (104) that forces the sense body (100) to move with the drive element (102) and has a preferred direction of motion in a direction of a sense axis (Y). The drive element (102) includes an actuation body (114) and a drive frame (116) wherein the first spring structure (104) couples the sense body (100) directionally to the drive frame (116), and a second directional spring structure (118) that couples the drive frame (116) to the actuation body (114) and has a preferred direction of motion in the direction of the sense axis (Y).

Abstract translation: 一种用于检测角运动轴线（Z）的角运动的微机电陀螺仪结构。 驱动元件（102）悬挂在驱动轴线（X）的方向上进行一维运动，并且感测体（100）承载一个或多个感测转子电极（200）并耦合到驱动元件（102） ）具有第一定向弹簧结构（104），其强制感测体（100）与驱动元件（102）一起移动，并且在感测轴线（Y）的方向上具有优选的运动方向。 驱动元件（102）包括致动体（114）和驱动框架（116），其中第一弹簧结构（104）将感测体（100）定向地联接到驱动框架（116），第二定向弹簧结构 （118），其将所述驱动框架（116）联接到所述致动体（114），并且在所述感测轴线（Y）的方向上具有优选的运动方向。

公开(公告)号：WO2015019919A1

公开(公告)日：2015-02-12

申请号：PCT/JP2014/070072

申请日：2014-07-30

Applicant: アオイ電子株式会社 ,  国立大学法人 静岡大学 ,  オムロン株式会社 ,  株式会社鷺宮製作所

Inventor： 鈴木　雅人 ,  森　昭登 ,  橋口　原 ,  杉山　達彦 ,  今本　浩史 ,  大場　正利 ,  三屋　裕幸 ,  芦澤　久幸 ,  石橋　和徳

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N1/008 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/018 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/036 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/051 ,  F16K31/02 ,  G02B26/02 ,  H01H59/00

Abstract: 　アクチュエータは、固定電極および可動電極を備える静電駆動機構と、静電駆動機構により駆動される第１可動部と、第１可動部を弾性支持する第１弾性支持部と、固定電極および可動電極の少なくとも一方に形成されたエレクトレットと、静電駆動機構への電圧印加を制御する駆動制御部と、を備える。アクチュエータには、エレクトレットに起因する静電力と第１弾性支持部の弾性力とが釣り合う安定位置に、またはその近傍に設定された安定位置に、第１可動部が位置決めされる安定状態が複数設定されている。静電駆動機構に電圧を印加することにより、第１可動部を任意の安定位置から他の安定位置へ移動させることができる。

Abstract translation: 具有设置有固定电极和可动电极的静电驱动机构的致动器，由静电驱动机构驱动的第一可动部，弹性支撑第一可动部的第一弹性支撑部，固定电极上形成的驻极体， /或可动电极，以及用于控制对静电驱动机构施加电压的驱动控制器。 致动器设置有多个稳定状态，其中第一可移动部件位于由驻极体引起的静电力和来自第一弹性支撑部分的弹性力平衡的稳定位置或处于稳定位置 靠近上述稳定位置。 向静电驱动机构施加电压使得可以将第一可移动部件从任何稳定位置移动到另一稳定位置。

公开(公告)号：WO2010121121A2

公开(公告)日：2010-10-21

申请号：PCT/US2010031380

申请日：2010-04-16

Applicant: SI WARE SYSTEMS ,  MEDHAT MOSTAFA ,  NADA YASSEEN ,  MORTADA BASSEM ,  SAADANY BASSAM A

Inventor： MEDHAT MOSTAFA ,  NADA YASSEEN ,  MORTADA BASSEM ,  SAADANY BASSAM A

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/051 ,  H02N1/008 ,  Y10T74/20558

Abstract: An electrostatic comb drive actuator for a MEMS device includes a flexure spring assembly and first and second comb drive assemblies, each coupled to the flexure spring assembly on opposing sides thereof. Each of the first and second comb assemblies includes fixed comb drive fingers and moveable comb drive fingers coupled to the flexure spring assembly and extending towards the fixed comb drive fingers. The comb drive fingers are divided equally between the first and second comb drive assemblies and placed symmetrically about a symmetry axis of the flexure spring assembly. When electrically energized, the moveable comb drive fingers of both the first and second comb drive assemblies simultaneously move towards the fixed comb drive fingers of the first and second comb drive assemblies.

Abstract translation: 用于MEMS器件的静电梳驱动致动器包括挠曲弹簧组件和第一和第二梳子驱动组件，每个组合驱动组件在其相对侧上与挠曲弹簧组件相连。 第一和第二梳组件中的每一个包括固定梳状驱动指状物和可移动梳状驱动指状物，其联接到挠性弹簧组件并朝向固定梳状驱动指状物延伸。 梳齿驱动指状物在第一和第二梳状驱动组件之间被均等分配，并且围绕挠性弹簧组件的对称轴对称地放置。 当通电时，第一和第二梳状驱动组件的可移动梳状驱动指状物同时朝向第一和第二梳状驱动组件的固定梳状驱动指状物移动。

公开(公告)号：WO2010012532A3

公开(公告)日：2010-10-07

申请号：PCT/EP2009056772

申请日：2009-06-03

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  PINTER STEFAN ,  FRIESE CHRISTOPH

Inventor： PINTER STEFAN ,  FRIESE CHRISTOPH

IPC: B81B3/00 ,  H02N1/00

CPC classification number: B81B3/0054 ,  B81B2201/033 ,  B81C2203/031 ,  H02N1/002

Abstract: The invention relates to a method for producing a micromechanical component, comprising the following steps: arranging an electrode comb (50) in a mount (54, 56), wherein a first partial surface of the electrode comb (50) is arranged at a distance not equal to zero from a glass surface (58) of the mount (54, 56), and wherein the electrode comb (50) is connected to the mount (54, 56) via at least one connecting part arranged on a second partial surface of the electrode comb (50); applying a voltage between the first partial surface of the electrode comb (50) and the glass surface (58), with the result that the distance between the first partial surface of the electrode comb (50) and the glass surface (58) is reduced; and anodically fixedly bonding the first partial surface of the electrode comb (50) to the glass surface (58). The invention furthermore relates to a method for producing a micromechanical component, and to a micromechanical component.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造方法，包括以下步骤的微机械部件：将一个电极梳（50），在支架（54，56），其中，在一个非零距离的电极的梳（50）连接到保持器的玻璃表面（58）的第一部分表面 （54，56）被布置，并且其中，所述的电极的梳（50），其设置在至少所述的电极的梳（50），其连接部分的第二表面的一部分到所述支撑（54，56）连接; 施加的电极的梳（50）和玻璃表面（58）的第一部分表面之间的电压，从而使电极的梳（50）和玻璃表面（58）的第一部分表面之间的距离被减小; 阳极和玻璃表面（58）上的电极的梳（50）的第一部分表面的硬焊。 此外，本发明提供了一种用于微机械部件的制造方法和微机械部件涉及。

公开(公告)号：WO2009127275A3

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：PCT/EP2008067690

申请日：2008-12-17

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  PIRK TJALF ,  PINTER STEFAN ,  KRUEGER MICHAEL ,  MUCHOW JOERG ,  FRITZ JOACHIM ,  FRIESE CHRISTOPH

Inventor： PIRK TJALF ,  PINTER STEFAN ,  KRUEGER MICHAEL ,  MUCHOW JOERG ,  FRITZ JOACHIM ,  FRIESE CHRISTOPH

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0136 ,  G02B26/0841 ,  H02N1/008

Abstract: The invention relates to an electrode comb (52, 54) for a micromechanical component. Said electrode comb (52, 54) is designed such that at least two electrode fingers (52a, 54a) are mounted on a first fastening part (52b, 54b) at a first end while being mounted on a second fastening part (52b, 54b) at a second end lying opposite the first end. The invention additionally relates to a micromechanical component comprising a stator electrode comb (54) and an actuator electrode comb (52) between which a voltage (U) can be applied such that the actuator electrode comb (54) can be rotated about an axis of rotation (56) of the actuator electrode comb (52). The axis of rotation (56) of the actuator electrode comb (52) vertically penetrates at least one surface of an electrode finger (54a) of the stator electrode comb (44, 54). The invention further relates to a method for producing an electrode comb (52, 54) and a method for producing a micromechanical component.

Abstract translation: 本发明涉及一种如此形成，使得至少两个电极指（52A，54A）在其第一端的第一附接部（52B，54B）被固定且相对的第一端部用于微机械部件的电极梳（52,54） 第二端连接到第二附接部分（52B，54B）附连。 此外，本发明涉及一种具有定子电极的梳（54）和致动器的电极的梳（52），在它们之间的电压（U）可应用于微机械部件，其特征在于，由（定子电极的梳54之间施加的电压（U） ）和致动器的电极的梳（52），致动器的电极的梳（52）（围绕致动器的电极的梳（52的旋转轴线56））是可旋转的，并且其中所述致动器的电极的梳（52）的至少一个表面的旋转（56）的轴线 定子电极的梳（44,54）的电极指（54A）垂直地刺穿。 此外，本发明涉及一种用于电极的梳（52,54）和用于微机械部件的制造方法的制造方法。

公开(公告)号：WO2010038229A2

公开(公告)日：2010-04-08

申请号：PCT/IL2009/000943

申请日：2009-10-01

Applicant: AUDIO PIXELS LTD. ,  COHEN, Yuval ,  KAPLAN, Shay ,  LEWIN, Daniel ,  SROMIN, Alex ,  BEN SIMON, Meir

Inventor： COHEN, Yuval ,  KAPLAN, Shay ,  LEWIN, Daniel ,  SROMIN, Alex ,  BEN SIMON, Meir

IPC: H04R19/00

CPC classification number: H04R19/005 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/053 ,  H02N1/006 ,  H04R1/005 ,  H04R1/403 ,  H04R3/002 ,  H04R3/007 ,  H04R3/12 ,  H04R7/18 ,  H04R19/02 ,  H04R31/00 ,  H04R2201/401

Abstract: Actuator apparatus comprising at least one moving elements, each comprising comb drive apparatus including at least first and second comb elements at least one of which is free to be in motion in a medium, and a controller controlling the motion responsive to an input signal representing a desired sound.

Abstract translation: 致动器装置包括至少一个移动元件，每个移动元件包括梳状驱动装置，所述梳状驱动装置至少包括第一和第二梳状元件，所述第一和第二梳状元件中的至少一个自由地在介质中运动;以及控制器， 运动响应代表所需声音的输入信号。

公开(公告)号：WO2010012532A2

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：PCT/EP2009/056772

申请日：2009-06-03

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  PINTER, Stefan ,  FRIESE, Christoph

Inventor： PINTER, Stefan ,  FRIESE, Christoph

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0054 ,  B81B2201/033 ,  B81C2203/031 ,  H02N1/002

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil mit den Schritten: Anordnen eines Elektrodenkamms (50) in einer Halterung (54, 56), wobei eine erste Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) in einem Abstand ungleich Null zu einer Glasoberfläche (58) der Halterung (54, 56) angeordnet wird, und wobei der Elektrodenkamm (50) über mindestens ein an einer zweiten Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) angeordnetes Verbindungsteil mit der Halterung (54, 56) verbunden wird; Anlegen einer Spannung zwischen der ersten Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) und der Glasoberfläche (58), so dass der Abstand zwischen der ersten Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) und der Glasoberfläche (58) reduziert wird; und Anodisches Festbonden der ersten Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) an der Glasoberfläche (58). Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil und ein mikromechanisches Bauteil.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造方法，包括以下步骤的微机械部件：将一个电极梳（50），在支架（54，56），其中，在一个非零距离的电极的梳（50）连接到保持器的玻璃表面（58）的第一部分表面 （54，56）被布置，并且其中，所述的电极的梳（50），其设置在至少所述的电极的梳（50），其连接部分的第二表面的一部分到所述支撑（54，56）连接; 施加的电极的梳（50）和玻璃表面（58）的第一部分表面之间的电压，从而使电极的梳（50）和玻璃表面（58）的第一部分表面之间的距离被减小; 阳极和玻璃表面（58）上的电极的梳（50）的第一部分表面的硬焊。 此外，本发明提供了一种用于微机械部件的制造方法和微机械部件涉及。

公开(公告)号：WO2009026232A1

公开(公告)日：2009-02-26

申请号：PCT/US2008/073486

申请日：2008-08-18

Applicant: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM ,  KUMAR, Karthik ,  RICHARDS-KORTUM, Rebecca ,  ZHANG, Xiaojing

Inventor： KUMAR, Karthik ,  RICHARDS-KORTUM, Rebecca ,  ZHANG, Xiaojing

IPC: A61B1/06 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0136 ,  B81C1/00603 ,  B81C2201/019

Abstract: A method for manufacturing a microscanner having a micro mirror is disclosed. Initially, a two-axis self-aligned vertical comb-drive microscanner is fabricated from a bonded silicon-on-insulator-silicon (SOI) silicon wafer. By depositing a thin film of aluminum on the surface, a SOI silicon wafer can provide about 90% reflectivity at 633 nm. A 2.5 μm misalignment tolerance can be achieved for the critical backside alignment step. As a result, confocal images with 1 μm resolution can be acquired using a microscanner having SOI silicon wafer mirrors.

Abstract translation: 公开了一种用于制造具有微反射镜的微型计算机的方法。 最初，双轴自对准垂直梳状驱动显微镜由粘合硅绝缘体上硅（SOI）硅晶片制成。 通过在表面上沉积铝薄膜，SOI硅晶片可以在633nm处提供大约90％的反射率。 对于关键的背面对准步骤，可以实现2.5μm的不对准公差。 结果，可以使用具有SOI硅晶片镜的显微镜获得具有1μm分辨率的共焦图像。

公开(公告)号：WO2008071172A1

公开(公告)日：2008-06-19

申请号：PCT/DE2007/002226

申请日：2007-12-11

Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. ,  HOFMANN, Ulrich ,  OLDSEN, Marten

Inventor： HOFMANN, Ulrich ,  OLDSEN, Marten

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00166

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegel-Aktuators sowie einen entsprechenden Aktuator. Bei dem Verfahren wird der Aktuator aus einem Schichtaufbau aus zumindest drei Hauptschichten (101, 103, 107) erzeugt wird, die über Zwischenschichten (102, 104, 106) zumindest abschnittsweise elektrisch voneinander isoliert sind. Die Schichten werden zur Bildung des Mikrospiegelelementes und der Elektroden strukturiert, wobei die Strukturierung derart erfolgt, dass ein geschlossener Rahmen (310) aus zumindest der obersten Haupt Schicht (107) um den inneren Bereich des Aktuators gebildet wird, der eine hermetische Kapselung des inneren Bereichs durch Aufbringen einer Deckplatte auf den Rahmen ermöglicht. Weiterhin wird zwischen zumindest zwei der Schichten eine von diesen Schichten über die Zwischenschichten elektrisch isolierte Leiterbahnebene (105) erzeugt und zur Bildung von Leiterbahnen strukturiert, über die nach der Bildung von Kontaktöffnungen in ein oder mehreren der Zwischenschichten (102, 104, 106) ein oder mehrere der Elektroden von außerhalb des Rahmens (310) elektrisch kontaktierbar sind. Mit dem Verfahren lässt sich das eine hermetisch dichte Verkapselung des inneren Bereiches des Aktuators bereits auf Wafer-Ebene auf einfache Weise erreichen.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造微反射镜致动器和相应的致动器的方法。 在该方法中，致动器是在所述中间层（102，104，106）被产生至少三个主层（101，103，107）的层叠结构的至少部分电隔离彼此。 所述层被图案化以形成微反射镜元件和电极，所述结构化发生在从至少最上面的主层（107）封闭的框架（310）的致动器的内部部分，所述内部区域的密封封罩的周围形成这样的方式 可能通过将盖板固定到框架上。 此外，会产生至少两个层之间的这些层电绝缘，该中间层的互连层（105）和构造为形成导体路径，通过它，在一个或多个中间层的形成的接触孔之后（102，104，106）的一个或 更从帧（310）的外侧上的电极可以电接触。 与所述过程可以在已经实现致动器的晶片级的内部区域的密封封装容易。

公开(公告)号：WO2005068353A1

公开(公告)日：2005-07-28

申请号：PCT/SG2005/000013

申请日：2005-01-19

Applicant: NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE ,  ZHOU, Guangya ,  VJ, Logeeswaran ,  TAY, Eng Hock Francis ,  CHAU, Fook Siong

Inventor： ZHOU, Guangya ,  VJ, Logeeswaran ,  TAY, Eng Hock Francis ,  CHAU, Fook Siong

IPC: B81B7/02

CPC classification number: H02N1/008 ,  B33Y30/00 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/056 ,  G02B26/0808 ,  G02B26/106

Abstract: An optical scanning apparatus includes an in-plane vibratory mass platform (110) having at least one diffraction grating (100) formed thereon as the scanning element, at least one flexure structure (120) that connects the mass platform to at least one fixed support (130), and at least one driving actuator (150) that drives the mass platform (110) into an in-plane vibratory motion (190) which can be rotational and/or translational (190). The apparatus may also be formed by a mass platform (110) having at least one diffraction grating (100) formed thereon as the scanning element, at least one driving actuator (150) connected to the mass platform (110) through at least one flexure structure (120). The driving actuator (150) drives the mass platform (110) into an in-plane vibratory motion (190).

Abstract translation: 一种光学扫描装置包括：具有在其上形成有至少一个衍射光栅（100）作为扫描元件的平面内振动质量平台（110），至少一个弯曲结构（120），其将质量平台连接到至少一个固定支撑 （130），以及至少一个驱动致动器（150），其驱动所述质量平台（110）进入能够旋转和/或平移的平面内振动运动（190）。 该装置还可以由其上形成有至少一个衍射光栅（100）作为扫描元件的质量平台（110）形成，至少一个驱动致动器（150）通过至少一个挠曲件连接到质量平台（110） 结构（120）。 驱动致动器（150）将质量平台（110）驱动成平面内的振动运动（190）。