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    SYSTEM FOR DETECTION OF WAFER DEFECTS
    81.
    发明申请
    SYSTEM FOR DETECTION OF WAFER DEFECTS 审中-公开
    用于检测缺陷的系统

    公开(公告)号：WO2004063698A3

    公开(公告)日：2007-11-01

    申请号：PCT/IL2004000023

    申请日：2004-01-11

    Applicant: NEGEVTECH LTD ,  FURMAN DOV ,  NEUMANN GAD ,  WAGNER MARK ,  DOTAN NOAM ,  SEGAL RAM ,  SILBERSTEIN SHAI

    Inventor： FURMAN DOV ,  NEUMANN GAD ,  WAGNER MARK ,  DOTAN NOAM ,  SEGAL RAM ,  SILBERSTEIN SHAI

    IPC: G01N21/88 ,  G01N20060101 ,  G01N1/00 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  H01L21/20 ,  H01L21/66 ,  H04B10/08

    CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/95607 ,  G01N21/95623 ,  G01N2021/479 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2201/0697 ,  G01N2201/0826

    Abstract: The invention concerns on-line electro-optical detection of wafer defects by illuminating a continuously moving wafer with a light pulse from a pulsed laser and imaging the moving wafer onto a focal plane assembly formed as a continuous surface of photo-detectors at the focal plane of the optical imaging system. The laser pulses are of duration significantly shorter than the pixel dwell time, such that there is effectively no image smear during the wafer motion. A fiber optical illumination delivery system, which reduces the effects of source coherence, is described. Other aspects of the system include a system for compensating for variations in the pulse energy of a Q-switched laser output, methods for auto- focusing of the wafer imaging system, and methods for removal of repetitive features of the image by means of Fourier plane filtering, to enable easier detection of wafer defects.

    Abstract translation: 本发明涉及通过用来自脉冲激光的光脉冲照射连续移动的晶片并将移动的晶片成像到焦平面组件上的焦平面组件来形成晶片缺陷的在线电光检测，该焦平面组件形成为焦平面处的光电检测器的连续表面 的光学成像系统。 激光脉冲的持续时间显着短于像素停留时间，使得在晶片运动期间没有有效的图像污迹。 描述了减少源相干效应的光纤照明传送系统。 该系统的其他方面包括用于补偿Q开关激光输出的脉冲能量变化的系统，用于晶片成像系统的自动聚焦的方法，以及通过傅里叶平面去除图像的重复特征的方法 过滤，以便更容易地检测晶片缺陷。

    SPECTROMETER FOR ANALYSIS OF MULTIPLE SAMPLES
    82.
    发明申请
    SPECTROMETER FOR ANALYSIS OF MULTIPLE SAMPLES 审中-公开
    用于分析多个样本的光谱仪

    公开(公告)号：WO2007047240A2

    公开(公告)日：2007-04-26

    申请号：PCT/US2006039488

    申请日：2006-10-10

    Applicant: THERMO ELECTRON SCIENT INSTR ,  EBERSOLE MATTHEW D ,  IVERSON JOHN R

    Inventor： EBERSOLE MATTHEW D ,  IVERSON JOHN R

    IPC: G01J3/42

    CPC classification number: G01N21/31 ,  G01N21/253 ,  G01N2021/3137 ,  G01N2021/317 ,  G01N2201/0826

    Abstract: A spectrometer (100) includes a light source (102) providing output light (106) to the bundled input ends (108) of multiple light pipes (110). The light pipes (110) branch into sets (118) between their input ends (108) and output ends (114), with each set (118) illuminating a sample detector (126) (via a sample chamber (122)) for measuring light scattered or emitted by a sample, or a reference detector (128) for obtaining a reference/datum measurement of the supplied light, so that comparison of measurements from the sample detector (126) and the reference detector (128) allows compensation of the sample detector measurements for drift. Efficient and accurate measurement is further assured by arraying the multiple light pipes (110) in each set (118) about the input bundle (116) so that each set receives at least substantially the same amount of light from the light source (102).

    Abstract translation: 光谱仪（100）包括向多个光管（110）的捆扎输入端（108）提供输出光（106）的光源（102）。 光管（110）在其输入端（108）和输出端（114）之间分支到集合（118）中，每组（118）照射样品检测器（126）（经由样品室（122）），用于测量 由样品散射或发射的光，或用于获得所提供的光的参考/基准测量的参考检测器（128），使得来自样本检测器（126）和参考检测器（128）的测量值的比较允许补偿 样品检测器测量漂移。 通过将每组（118）中的多个光管（110）围绕输入束（116）排列，使得每个组从光源（102）接收至少基本相同量的光，进一步确保高效和准确的测量。

    AN APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON A WORKPIECE SUCH AS A ROLLED/DRAWN METAL BAR
    83.
    发明申请
    AN APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING SURFACE DEFECTS ON A WORKPIECE SUCH AS A ROLLED/DRAWN METAL BAR 审中-公开
    用于检测工件表面缺陷的装置和方法，例如滚筒/拉丝金属棒

    公开(公告)号：WO2004051178A3

    公开(公告)日：2005-08-04

    申请号：PCT/US0338184

    申请日：2003-11-26

    Applicant: OG TECHNOLOGIES INC

    Inventor： CHANG TZYY-SHUH ,  HUANG HSUN-HAU ,  GUTCHESS DANIEL

    IPC: G01B20060101 ,  G01B11/30 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N21/952 ,  G06K9/00 ,  H04N7/18 ,  H04N9/47

    CPC classification number: H04N7/18 ,  G01N21/952 ,  G01N2201/0826 ,  G01N2201/084

    Abstract: The present invention is directed to solving the problems associated with the detection of surface defects on metal bars as well as the problems associated with applying metal flat inspection systems to metal bars for non-destructive surface defects detection. A specially designed imaging system, which is comprised of a computing unit, line lights and high data rate line scan cameras, is developed for the aforementioned purpose. The target application is the metal bars (1) that have a circumference/cross-section-area ratio equal to or smaller than 4.25 when the cross section area is unity for the given shape, (2) whose cross-sections are round, oval, or in the shape of a polygon, and (3) are manufactured by mechanically crosssection reduction processes. The said metal can be steel, stainless steel, aluminum, copper, bronze, titanium, nickel, and so forth, and/or their alloys. The said metal bars can be at the temperature when they are being manufactured.

    Abstract translation: 本发明旨在解决与金属棒上的表面缺陷的检测有关的问题以及将金属平面检查系统应用于金属棒用于非破坏性表面缺陷检测的问题。 为了上述目的开发了一种专门设计的成像系统，由计算单元，线路灯和高数据速率线扫描摄像机组成。 目标应用是当给定形状的横截面积为1时，具有等于或小于4.25的圆周/横截面积比的金属棒（1），（2）横截面为圆形，椭圆形 ，或多边形的形状，以及（3）通过机械交叉缩小处理制造。 所述金属可以是钢，不锈钢，铝，铜，青铜，钛，镍等，和/或它们的合金。 所述金属棒可以处于制造时的温度。

    光学測定装置および光学測定方法
    85.
    发明专利
    光学測定装置および光学測定方法 有权

    公开(公告)号：JPWO2016170667A1

    公开(公告)日：2017-04-27

    申请号：JP2016515156

    申请日：2015-04-24

    Applicant: 大塚電子株式会社

    Inventor： 勉 水口 ,  勉 水口

    IPC: G01N21/27 ,  G01B11/06

    CPC classification number: G01N21/27 ,  G01N21/255 ,  G01N21/8422 ,  G01N33/00 ,  G01N2021/8411 ,  G01N2033/0096 ,  G01N2201/0826 ,  G01N2201/0833

    Abstract: 光学測定装置の制御部は、回転体の回転速度が規定値となるように制御された状態で、光源で発生させた一定強度の光を、回転体の回転に伴ってサンプルが通過する領域である照射領域に照射するとともに、当該照射した光の反射光または透過光を第2の検出部で受光することで出力される強度の時間的変化に基づいて第1のタイミング情報を取得する。制御部は、回転体の回転速度が規定値となるように制御された状態で、第1のタイミング情報に従って光源で周期的に発生させたパルス状の光を、照射領域に照射するとともに、第1のタイミング情報に従って第1の検出部の測定を周期的に有効化することで出力される結果に基づいて第2のタイミング情報を取得する。

    ハンドヘルド光音響プローブ
    88.
    发明专利
    ハンドヘルド光音響プローブ 有权
    手持光声探测器

    公开(公告)号：JP2014532520A

    公开(公告)日：2014-12-08

    申请号：JP2014540119

    申请日：2012-11-02

    Applicant: セノ メディカル インストルメンツ,インク. ,  セノ メディカル インストルメンツ,インク.

    Inventor： ハーゾグ，ドナルド，ジー． ,  ミラー，トーマス，ジー．

    IPC: A61B8/00

    CPC classification number: A61B5/0095 ,  A61B5/0035 ,  A61B5/0091 ,  A61B5/14551 ,  A61B5/6844 ,  A61B5/7425 ,  A61B5/7445 ,  A61B5/7475 ,  A61B8/0825 ,  A61B8/4281 ,  A61B8/4444 ,  A61B8/4483 ,  F04C2270/041 ,  G01N21/1702 ,  G01N2201/067 ,  G01N2201/068 ,  G01N2201/0826 ,  G02B6/3624

    Abstract: ハンドヘルド光音響プローブが、超音波トランスデューサ配列ならびに、入力を提供するファイバー束に形成された第1の端部および出力を提供する第2の遠位端部をもつ光ファイバーを含む。光バーガイドが、光ファイバーの遠位端を同じ平面上に維持する。1つまたは複数の光学窓が、光バーガイドに関連付けられ、カップリング剤と光ファイバーの遠位端との間の接触を防ぐために、その光バーガイドから間隔を空けられ得、このようにして、ファイバーから放出される光に応答した、カップリング剤の潜在的な音響効果を弱める。TiO2でドープ処理されたシリコンゴム音響レンズが提供され得、その音響レンズの外表面を反射金属が取り囲んでいる。ハンドヘルドプローブシェルが、光バーガイド、超音波トランスデューサ配列、および音響レンズを収容する。【選択図】図4

    Abstract translation: 手持光声探测器，超声换能器阵列，并包括具有第二远端，其提供的第一端的光纤和被形成为纤维束，以提供输入的输出。 光棒导向，以保持光纤在同一平面上的远端。 一个或多个光学窗口，具有光棒指南相关，以防止偶联剂的远端与光纤之间的接触，从而导致从光棒导件间隔，以这种方式， 响应于从光纤发出的光，减弱了偶联剂的潜在的声效果。 将所得的二氧化钛掺杂的处理的硅橡胶被提供声透镜，其围绕所述声透镜的反射金属外表面。 手持探头壳体，灯条导轨，以容纳超声换能器阵列，且声透镜。 点域4

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