公开(公告)号：WO2011007517A1

公开(公告)日：2011-01-20

申请号：PCT/JP2010/004346

申请日：2010-07-02

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ ,  石島達晃 ,  那須修 ,  福田宗行 ,  大橋健良 ,  山梨弘将 ,  宮本卓治 ,  酒井計

Inventor： 石島達晃 ,  那須修 ,  福田宗行 ,  大橋健良 ,  山梨弘将 ,  宮本卓治 ,  酒井計

IPC: H01J37/28 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01R29/24 ,  H01J37/20 ,  H01J37/266 ,  H01J37/268 ,  H01J2237/2002 ,  H01L22/12

Abstract: 　本発明は、固定帯電と誘起帯電が複合して存在する可能性のある試料に対しても、高速且つ高精度に試料帯電測定、或いは焦点調整を行うことを目的とする。　上記目的を達成するための一態様として、試料室外に設けられた第１の試料電位測定装置によって得られる試料電位情報、或いは予め取得された試料電位情報が、所定の閾値以上、又は当該閾値より大きい場合に、選択的に、試料室内にて第２の試料電位測定装置を用いた試料電位の測定を行うことを特徴とする試料電位測定方法、及びそれを実現する装置を提案する。

Abstract translation: 为了即使在可以混合存在固定电荷和感应电荷的样本上也能高速且高精度地进行试样电荷测量或聚焦，提供了一种试样电位测量方法，其特征在于，使用 当由设置在样本室外部的第一检体电位测定装置得到的样本电位信息或者先前取得的标本电位信息为大于或等于规定阈值以上或阈值以上时的第二标本电位测定装置 并且还提供了一种用于实现该方法的装置。