中科微点-全球专利检索

  1. Login
  2. Sign Up

Search Results

165 records (took 0.016 seconds)

    飞行时间质谱分析装置
    2.
    发明公开
    飞行时间质谱分析装置 有权

    公开(公告)号：CN107112195A

    公开(公告)日：2017-08-29

    申请号：CN201480084278.X

    申请日：2014-12-24

    Applicant: 株式会社岛津制作所

    Inventor： 古桥治

    IPC: H01J49/40

    CPC classification number: H01J49/405 ,  H01J37/266 ,  H01J49/401 ,  H01J49/424

    Abstract: 本发明的离子反射器(32)为具有长方形状开口(322)的平板电极(321)大量排列而成的构成。以开口(322)的长边方向的中心轴线(322A)位于包含以下直线和中心轴线的平面上的方式决定各部的配置，该直线是连结离子阱(2)的离子分布的重心位置(2A)与检测器(4)的检测面上的中心位置(4A)的直线(Y轴)，该中心轴线是离子射出方向的中心轴线(X轴)。由此，在针对沿离子反射器(32)的中心轴的电位分布而以所检测的离子簇的等时性得到改善的方式将反射电场的一部分设为非均匀电场时，成为实现等时性的理想的电位分布的区域沿Y轴方向扩展，使得离子的飞行轨道容易收敛于理想的电位分布的区域内。此外，虽然射出来的离子在飞行期间会沿Y轴方向较大程度地扩散，但扩散出去的离子也容易通过理想的电位分布的区域。由此，可实现高等时性，从而可达成高质量分辨率。

    飛行時間型質量分析装置
    6.
    发明申请
    飛行時間型質量分析装置 审中-公开
    飞行时间型质谱仪

    公开(公告)号：WO2016103339A1

    公开(公告)日：2016-06-30

    申请号：PCT/JP2014/084033

    申请日：2014-12-24

    Applicant: 株式会社島津製作所

    Inventor： 古橋　治

    IPC: H01J49/40

    CPC classification number: H01J49/405 ,  H01J37/266 ,  H01J49/401 ,  H01J49/424

    Abstract: 　イオンリフレクタ（３２）は、長方形状開口（３２２）を有する平板電極（３２１）を多数並べた構成である。イオントラップ（２）のイオン分布の重心位置（２Ａ）と検出器（４）の検出面上の中心位置（４Ａ）とを結ぶ直線（Ｙ軸）と、イオン射出方向の中心軸線（Ｘ軸）とを含む平面上に、開口（３２２）の長辺方向の中心軸線（３２２Ａ）が位置するように各部の配置を定める。これにより、イオンリフレクタ（３２）の中心軸に沿った電位分布を、検出されるイオン群の等時性が改善するよう反射電場の一部を非一様電場にしたときに、等時性を実現する理想的な電位分布となる領域がＹ軸方向に広がり、イオンの飛行軌道が理想的な電位分布である領域に収まり易くなる。また、射出されたイオンは飛行する間にＹ軸方向に大きく広がるが、広がったイオンも理想的な電位分布である領域を通過し易くなる。それにより、高い等時性が実現でき高い質量分解能を達成できる。

    Abstract translation: 在本发明中，离子反射体（32）具有排列多个平面电极（321）的结构，每个扁平电极具有矩形开口（322）。 每个部分的布置被限定为使得沿长边方向的开口（322）的中心轴线（322A）位于包含离子发射方向的中心轴线（X轴）的平面中， 以及将检测器（4）的检测表面上的中心位置（4A）与离子阱（2）中的离子分配质量中心位置（2A）连接的直线（Y轴）。 以这种方式，当沿着离子反射器（32）的中心轴的电势分布使得反射电场的一部分变成不均匀的电场，从而改善离子组之间的异步 检测到，作为用于实现异步的理想电位分布的区域在Y轴方向上扩展，有利于将离子飞行轨迹稳定到理想电位分布的区域。 此外，虽然在飞行期间发射的离子在Y轴方向上广泛扩散，但是扩散离子通过理想电位分布的区域也是容易的。 这允许实现高同步性和高质量分辨率。

    荷電粒子線装置
    7.
    发明申请
    荷電粒子線装置 审中-公开
    充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：WO2014115741A1

    公开(公告)日：2014-07-31

    申请号：PCT/JP2014/051171

    申请日：2014-01-22

    Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 水原　譲 ,  伊澤　美紀 ,  山崎　実 ,  田村　仁 ,  数見　秀之

    IPC: H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29

    CPC classification number: H01J37/268 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/266 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2809

    Abstract: 　本発明の目的は、荷電粒子線の照射によって誘起される試料の電位を測定することで、荷電粒子線を用いた試料表面の電位測定、或いは試料帯電によって変化する装置条件の変動の補償値を検出する方法、及び装置の提供にある。　上記目的を達成するために、荷電粒子線（１）を試料（２３）に向けて照射している状態において、試料（２３）から放出された荷電粒子線（２（ａ、ｂ））を荷電粒子偏向器（３３）によって偏向し、そのときに得られる信号を用いて、試料電位に関する情報を検出する方法、及び装置を提供する。

    Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于检测通过样品充电而改变的装置条件的变化的补偿值的检测方法和装置，或者使用带电粒子束测量样品的表面的电位，通过测量 通过发射带电粒子束诱导的样品电位。 提供了一种方法和装置，以实现上述目的，由此，当向样品（23）发射带电粒子束（1）时，从样品（23）释放的带电粒子束（2a，2b）被偏转 通过带电粒子偏转器（33），并且使用此时获得的信号来检测关于样品的电位的信息。

    電子顕微鏡
    8.
    发明申请
    電子顕微鏡 审中-公开
    电子显微镜

    公开(公告)号：WO2011122171A1

    公开(公告)日：2011-10-06

    申请号：PCT/JP2011/053790

    申请日：2011-02-22

    Applicant: 国立大学法人名古屋大学 ,  田中 信夫 ,  中西 彊 ,  竹田 美和 ,  浅野 秀文 ,  齋藤 晃 ,  宇治原 徹 ,  桑原 真人

    Inventor： 田中　信夫 ,  中西　彊 ,  竹田　美和 ,  浅野　秀文 ,  齋藤　晃 ,  宇治原　徹 ,  桑原　真人

    IPC: H01J37/26 ,  H01J1/34 ,  H01J37/073

    CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/073 ,  H01J37/265 ,  H01J37/266 ,  H01J2237/06333 ,  H01J2237/06383 ,  H01J2237/24557

    Abstract: 偏極電子線を用いる透過型電子顕微鏡であり、試料を透過した電子線の強度分布を記録することで高いコントラストの像が得られる電子顕微鏡を提供する。レーザー光発生装置２と、レーザー光を円偏光レーザー光に偏光するとともに、円偏光の方向を経時的に反転可能な偏光装置１１と、円偏光レーザー光に照射されると偏極電子線を発生する歪み超格子半導体層を備えている半導体光陰極１６と、偏極電子線を利用する透過型電子顕微鏡２４と、試料を透過した偏極電子線の到達面に配置されている電子線強度分布記録装置３４と、偏光装置に円偏光の方向を反転させる指示を送るととともに、それに同期して電子線強度分布記録装置にも指示を送る反転指示装置４０を備えている。電子線強度分布記録装置は、偏極電子線の反転の前後に強度分布を記録し、差分装置３６がその差分を求める。

    Abstract translation: 公开了使用偏振电子束的透射型电子显微镜的电子显微镜，其中通过记录通过样品透射的电子束的强度分布可以获得高对比度图像。 电子显微镜设有激光束发生装置（2）; 使激光束偏振成圆偏振激光的偏振光装置（11），能够随着时间推移使圆偏振方向反转; 具有应变超晶格半导体层的半导体光电阴极（16），其在用圆偏振激光束照射时产生极化电子束; 利用该极化电子束的透射型电子显微镜（24） 布置在穿过样品的偏光电子束到达的面的电子束强度分布记录装置（34） 以及向所述偏振装置发送指示以反转圆偏振方向的反转指示装置（40），并且与电子束强度分布记录装置同步地发送指令。 电子束强度分布记录装置记录反转之前和之后的极化电子束的强度分布，差分获取装置（36）获取它们之间的差异。

    荷電粒子線検査装置及び荷電粒子線検査方法
    9.
    发明申请
    荷電粒子線検査装置及び荷電粒子線検査方法 审中-公开
    充电颗粒光束检查装置和检查充电颗粒光束的方法

    公开(公告)号：WO2008149461A1

    公开(公告)日：2008-12-11

    申请号：PCT/JP2007/061654

    申请日：2007-06-08

    Applicant: 株式会社アドバンテスト ,  伊藤 啓介 ,  岩井 俊道

    Inventor： 伊藤 啓介 ,  岩井 俊道

    IPC: H01J37/20 ,  G01B15/00 ,  G21K5/04

    CPC classification number: H01J37/28 ,  G01B15/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/266 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/10

    Abstract: 本発明の荷電粒子線検査装置は、電子ビームを放出する電子銃（１）と、電子ビームを集束させる第１のコンデンサレンズ（ＣＬ１）及び第２のコンデンサレンズ（ＣＬ２）と、第１のコンデンサレンズと第２のコンデンサレンズの間に配置されるビーム制御板（２Ｃ）と、制御部とを有する。 当該制御部によって、第１のコンデンサレンズ及び第２のコンデンサレンズに供給する励磁電流を所定の値にしてビーム制御板の開口を通過する電子ビームの電流量を調整して、試料（７）に照射される電子ビームの電流量を測定時よりも大きくすることで、当該試料上に所定の時間当該電子ビームを照射する定常化処理を行う。 本発明の荷電粒子検査装置によって、試料表面の電位の定常化を容易かつ短時間で行い、精度よく試料を測定することができる。

    Abstract translation: 带电粒子束检查装置包括用于发射电子束的电子枪（1），用于聚焦电子束的第一电容透镜（CL1）和第二电容透镜（CL2），位于 第一电容透镜（CL1）和第二电容透镜（CL2），以及控制部。 控制部分将提供给第一电容透镜和第二电容透镜的激励电流设置为预定值，以调节通过光束控制板上的光圈的电子束的电流量，从而使得 照射到样品（7）上的电子束的电流大于测量时使用的电子束的电流，以在给定的时间段内进行用于将电子束照射到样品上的稳态处理。 带电粒子束检查装置具有将样品顶表面上的电位容易且短时间地稳定的能力，同时确保以高精度测量样品。

    MULTI BEAM CHARGED PARTICLE DEVICE
    10.
    发明申请
    MULTI BEAM CHARGED PARTICLE DEVICE 审中-公开
    多光束充电颗粒装置

    公开(公告)号：WO01084592A1

    公开(公告)日：2001-11-08

    申请号：PCT/EP2001/004787

    申请日：2001-04-27

    IPC: G01Q30/02 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26

    CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/266

    Abstract: The present invention provides an improved column for a charged particle beam device. The column comprises an aperture plate having multiple apertures to produce multiple beams of charged particles and a deflector to influence the beams of charged particles so that each beam appears to come from a different source. Furthermore, an objective lens is used in order to focus the charged-particle beams onto the specimen. Due to the deflector, multiple images of the source are created on the surface of the specimen whereby all the images can be used for parallel data acquisition. Accordingly, the speed of data acquisition is increased. With regard to the focusing properties of the objective lens, the beams of charged particles can basically be treated as independent particle beams which do not negatively affect each other. Accordingly, each beam basically provides the same resolution as the beam of a conventional charged particle beam device.

    Abstract translation: 本发明提供了一种用于带电粒子束装置的改进的柱。 柱包括具有多个孔的孔板，以产生多个带电粒子束和偏转器，以影响带电粒子束，使得每个束似乎来自不同的源。 此外，使用物镜以将带电粒子束聚焦到样本上。 由于偏转器，在样品的表面上产生了源的多个图像，从而所有图像可以用于并行数据采集。 因此，数据采集的速度增加。 关于物镜的聚焦特性，带电粒子束基本上可以被视为不会相互影响的独立的粒子束。 因此，每个光束基本上提供与常规带电粒子束装置的光束相同的分辨率。

Patent Agency Ranking