합성 유리질 실리카바디용 열처리 장치 및 열처리 방법
    1.
    发明公开
    합성 유리질 실리카바디용 열처리 장치 및 열처리 방법 失效
    用于合成玻璃状硅石体的热处理装置和热处理方法

    公开(公告)号:KR1019950701604A

    公开(公告)日:1995-04-28

    申请号:KR1019940704011

    申请日:1993-05-13

    Abstract: 고순도의 합성 시리카 바디의 열처리에 적당한 유도 가열 노는 수직으로 설치된 관상 지지체(1)와 수용체의 온도를 상승 시키기 위한 유도 코일(3)을 포함하고 있음. 수용체는 흑연 및/또는 실리콘 카바이드로 제조되었고 액체 냉각 유도 코일로 둘러싸인 유리질 실리카 또는 용융석영으로 형성된 진공 외피(2)로 둘러 싸여있음. 진공외피(2)는 관상 수용체(1)이 1700℃로 가열되었을때 일어날 수 있는 외피의 탈유리질화 또는 변형 온도이하에서 작업 되도록 설계되었음.
    다공성 합성 실리카 바디(9)의 소결은 대기압 또는 감압 분위기에서 진행되게 되었으며, 노는 가열한 바디를 지자하여 관상 수용체(1)의 중심축을 따라 승강 및 회전 운동을 할 수 있는 샤프트를 갖고 있음.

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