公开(公告)号：KR101105249B1

公开(公告)日：2012-01-17

申请号：KR1020090111008

申请日：2009-11-17

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 유승환 ,  강호관 ,  박형호 ,  오일환 ,  신기수

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 패터닝된 그래핀을 원하는 위치에 전사할 수 있고, 그라파이트화 촉매의 식각에 따른 오염 문제가 없는 그래핀 패턴 형성방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀 패턴 형성방법은 그라파이트(graphite)화 촉매로 이루어지고, 패터닝되어 있는 임프린트(imprint) 스탬프를 제조한 후, 임프린트 스탬프 상에 그래핀(graphene)을 형성하고, 임프린트 방법을 이용하여 임프린트 스탬프 상에 형성된 그래핀을 기판 상에 전사한다.

公开(公告)号：KR101068176B1

公开(公告)日：2011-09-27

申请号：KR1020100054210

申请日：2010-06-09

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 송호영 ,  오일환 ,  강호관 ,  신기수

IPC: H01L29/866

CPC classification number: H01L29/866 ,  H01L25/167

Abstract: 본 발명은 발광 소자 패키지에 장착되는 제너 다이오드에 있어, 발광 효율을 향상시킬 수 있는 제너 다이오드에 관한 것이다. 본 발명에 따른 제너 다이오드는 측면이 바닥면과 경사지게 형성되며 제1 도전형으로 도핑되어 있는 기판과, 기판의 바닥면에 형성되어 있는 하부 전극과, 기판의 상부에 형성되며 제1 도전형과 반대되는 제2 도전형으로 도핑되어 있는 활성 영역과, 활성 영역 상에 형성되어 있는 상부 전극과, 기판의 측면과 상면에 형성되어 있는 절연막과, 절연막 상에 형성되되 상부 전극과 전기적으로 연결되지 않도록 형성되어 있는 반사막을 구비한다.

公开(公告)号：KR101133181B1

公开(公告)日：2012-04-09

申请号：KR1020100048020

申请日：2010-05-24

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 오일환 ,  강호관 ,  유승환 ,  신기수

IPC: H01L31/0224

Abstract: PURPOSE: A graphene thin film in which a pattern is formed is provided to improve adhesive force with a high position film by including dangling bond and a chemical functional group in the unevenness part of a graphene layer. CONSTITUTION: A graphene thin film comprises a graphene layer(210) and a chemical functional group(220). Concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The density of edge part is increased when the concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is more than one among phenol, carbonyl, carboxyl, quinine, and lactone.

公开(公告)号：KR1020110054386A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：KR1020090111008

申请日：2009-11-17

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 유승환 ,  강호관 ,  박형호 ,  오일환 ,  신기수

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/022 ,  H01L21/0332

Abstract: PURPOSE: A method for forming a graphene using an imprint method is provided to prevent metal contamination by omitting a graphite catalyst through an etching process. CONSTITUTION: A patterned imprint stamp(210) is manufactured. The imprint stamp is made of graphite catalyst. A graphene(220) is formed by supplying and processing vapor carbon supply source to the imprint stamp thermally. The graphene formed on the imprint stamp is transferred on the substrate by using the imprint method. A graphene pattern(240) is formed on the substrate for manufacturing a device.

Abstract translation: 目的：提供使用压印方法形成石墨烯的方法，以通过蚀刻工艺省略石墨催化剂来防止金属污染。 构成：制作图案印记印章（210）。 印记邮票由石墨催化剂制成。 石墨烯（220）是通过向压印印模热供应和处理蒸气碳源而形成的。 在压印上形成的石墨烯通过使用压印方法在基板上转印。 在用于制造器件的衬底上形成石墨烯图案（240）。

公开(公告)号：KR1020110128523A

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：KR1020100048020

申请日：2010-05-24

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 오일환 ,  강호관 ,  유승환 ,  신기수

IPC: H01L31/0224

Abstract: PURPOSE: A graphene thin film in which a pattern is formed is provided to improve adhesive force with a high position film by including dangling bond and a chemical functional group in the unevenness part of a graphene layer. CONSTITUTION: A graphene thin film comprises a graphene layer(210) and a chemical functional group(220). Concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The density of edge part is increased when the concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is more than one among phenol, carbonyl, carboxyl, quinine, and lactone.

Abstract translation: 目的：提供形成图案的石墨烯薄膜，以通过在石墨烯层的不均匀部分中包括悬挂键和化学官能团来提高与高位置膜的粘合力。 构成：石墨烯薄膜包括石墨烯层（210）和化学官能团（220）。 在石墨烯层的表面上形成凹凸。 当在石墨烯层的表面上形成凹凸时，边缘部分的密度增加。 化学官能团形成在石墨烯层的表面上。 苯酚，羰基，羧基，奎宁和内酯中的化学官能团多于一种。