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公开(公告)号：KR101205826B1
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：KR1020100056268
申请日：2010-06-15
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 하나의 스탬프를 이용해 패턴 모양이나 크기가 변화된 다른 스탬프를 제조 하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 스탬프 제조 방법의 일 구성에서는 금속 원소에 빛과 열 중 적어도 어느 하나에 의하여 분해 가능한 유기물 리간드가 결합하여 이루어진 금속-유기물 전구체를 포함하는 무기물 레진을 스탬프용 기판에 코팅한 후, 패턴을 가진 제1 스탬프를 준비한다. 상기 제1 스탬프로 상기 무기물 레진을 가압한 후에 상기 가압된 무기물 레진에 가열 또는 자외선 조사 또는 가열과 동시에 자외선 조사하여 경화된 금속 산화 박막 패턴을 형성한다. 상기 제1 스탬프를 상기 금속 산화 박막 패턴으로부터 제거한 다음, 상기 제1 스탬프의 패턴과 다른 금속 산화 박막 패턴을 가지는 제2 스탬프를 제조하기 위하여, 상기 금속 산화 박막 패턴의 모양, 선폭 및 높이 중 적어도 어느 하나를 변화시키도록 상기 금속 산화 박막 패턴을 가열 또는 자외선 조사 또는 가열과 동시에 자외선 조사한다.
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公开(公告)号：KR101105247B1
公开(公告)日：2012-01-13
申请号：KR1020100048025
申请日：2010-05-24
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/042 , H01L31/054
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본 발명은 태양광이 입사되는 부분과 다른 부분에 전극이 형성되도록 하여, 효율을 증가시킬 수 있는 측면 노광형 태양전지에 관한 것이다. 본 발명에 따른 태양전지는 제1면에 외부의 빛이 입사되는 수광부가 형성되어 있고 수광부를 통해 입사된 빛으로부터 전류를 발생시키는 태양전지 셀과, 태양전지 셀의 제2면에 형성되어 있는 제1전극과, 태양전지 셀의 제2면과 대향되는 제3면에 형성되어 있는 제2전극을 구비한다. 이때, 태양전지 셀의 제1면은 태양전지 셀의 제2면 및 태양전지 셀의 제3면과 서로 다르게 되도록 한다.
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公开(公告)号：KR1020110128523A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：KR1020100048020
申请日：2010-05-24
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/0224
Abstract: PURPOSE: A graphene thin film in which a pattern is formed is provided to improve adhesive force with a high position film by including dangling bond and a chemical functional group in the unevenness part of a graphene layer. CONSTITUTION: A graphene thin film comprises a graphene layer(210) and a chemical functional group(220). Concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The density of edge part is increased when the concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is more than one among phenol, carbonyl, carboxyl, quinine, and lactone.
Abstract translation: 目的：提供形成图案的石墨烯薄膜，以通过在石墨烯层的不均匀部分中包括悬挂键和化学官能团来提高与高位置膜的粘合力。 构成：石墨烯薄膜包括石墨烯层（210）和化学官能团（220）。 在石墨烯层的表面上形成凹凸。 当在石墨烯层的表面上形成凹凸时，边缘部分的密度增加。 化学官能团形成在石墨烯层的表面上。 苯酚，羰基，羧基，奎宁和内酯中的化学官能团多于一种。
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公开(公告)号：KR101105249B1
公开(公告)日：2012-01-17
申请号：KR1020090111008
申请日：2009-11-17
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 패터닝된 그래핀을 원하는 위치에 전사할 수 있고, 그라파이트화 촉매의 식각에 따른 오염 문제가 없는 그래핀 패턴 형성방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀 패턴 형성방법은 그라파이트(graphite)화 촉매로 이루어지고, 패터닝되어 있는 임프린트(imprint) 스탬프를 제조한 후, 임프린트 스탬프 상에 그래핀(graphene)을 형성하고, 임프린트 방법을 이용하여 임프린트 스탬프 상에 형성된 그래핀을 기판 상에 전사한다.
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公开(公告)号：KR1020110128527A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：KR1020100048025
申请日：2010-05-24
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/042 , H01L31/054
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/042 , H01L31/054
Abstract: PURPOSE: A side exposure type solar battery is provided to increase efficiency by differently forming a part in which sunlight is income and a part in which an electrode is formed and to reduce series resistance of a solar battery. CONSTITUTION: A solar battery comprises a solar battery cell, a first electrode(220), and a second electrode(230). A light receiving part(211) in which external light is income is formed on a first side of the solar battery cell. The solar battery generates current from the light which is income through the light receiving part. The first electrode is formed on a second side of the solar cell. The second electrode is formed on a third side which is faced with the second side of the solar cell. The first side of the solar cell is different with the second side and the third side of the solar cell.
Abstract translation: 目的：提供侧曝式太阳能电池，以通过不同地形成阳光收入的部分和形成电极的部分来提高效率，并降低太阳能电池的串联电阻。 构成：太阳能电池包括太阳能电池单元，第一电极（220）和第二电极（230）。 在太阳能电池单元的第一侧上形成有外部光收入的受光部（211）。 太阳能电池从通过光接收部分收入的光产生电流。 第一电极形成在太阳能电池的第二侧上。 第二电极形成在面对太阳能电池的第二面的第三面上。 太阳能电池的第一面与太阳能电池的第二面和第三面不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101220421B1
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：KR1020100056267
申请日：2010-06-15
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본 발명은 패터닝된 그래핀을 원하는 위치에 전사할 수 있고, 그래파이트화 촉매의 식각에 따른 오염 문제가 없는 그래핀 패턴 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀 패턴 형성 방법의 일 구성은 마스터 기판 상에 패턴이 형성되어 있는 임프린트 스탬프를 준비하는 단계; 상기 임프린트 스탬프 상에 그래파이트화 촉매를 포함하는 금속막을 형성하는 단계; 상기 금속막이 형성된 임프린트 스탬프 상에 그래핀을 형성하는 단계; 및 상기 임프린트 스탬프 상에 형성된 그래핀을 임프린트 방법을 이용하여 소자 제작용 기판 상에 전사하여 그래핀 패턴을 형성하는 단계;를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020110136341A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：KR1020100056268
申请日：2010-06-15
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: B29C33/38 , B29C33/424 , B29C2033/426 , G03F7/0002
Abstract: PURPOSE: A method for making stamps with changed pattern and size by using another stamp is provided to manufacture new size and patterns of a stamp by varying a line width of a pattern without complex lithography. CONSTITUTION: A method for making stamps with changed pattern and size by using another stamp is as follows. An inorganic material resin(20) including metal-organic precursor is coated in a substrate(10) for a stamp. A first stamp(30) having patterns(31) is prepared. The inorganic material resin is pressurized with the first stamp. The irradiation of ultraviolet rays at same time with heating is performed at the same time of a pressurized inorganic material resin heating time and an ultraviolet irradiating time. A hardened metal oxide thin film pattern(21) is formed. The first stamp is removed from a metal oxide thin film pattern.
Abstract translation: 目的：提供通过使用另一印章制作具有改变的图案和尺寸的印章的方法，以通过改变图案的线宽而无需复杂的光刻来制造印模的新尺寸和图案。 构成：通过使用另一个邮票制作具有改变的图案和尺寸的邮票的方法如下。 将包含金属 - 有机前体的无机材料树脂（20）涂覆在用于印模的基板（10）中。 准备具有图案（31）的第一印章（30）。 无机材料树脂用第一印模加压。 在加压无机材料树脂加热时间和紫外线照射时间的同时进行加热的同时照射紫外线。 形成硬化的金属氧化物薄膜图案（21）。 从金属氧化物薄膜图案中去除第一印模。
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公开(公告)号：KR101133181B1
公开(公告)日：2012-04-09
申请号：KR1020100048020
申请日：2010-05-24
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/0224
Abstract: PURPOSE: A graphene thin film in which a pattern is formed is provided to improve adhesive force with a high position film by including dangling bond and a chemical functional group in the unevenness part of a graphene layer. CONSTITUTION: A graphene thin film comprises a graphene layer(210) and a chemical functional group(220). Concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The density of edge part is increased when the concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is more than one among phenol, carbonyl, carboxyl, quinine, and lactone.
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公开(公告)号：KR1020110136340A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：KR1020100056267
申请日：2010-06-15
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: C01B32/184 , B29C33/38 , B81C1/0046 , B82B3/00 , C01B2204/04 , G03F7/0002
Abstract: PURPOSE: A method for forming a graphene pattern using an imprinting technique is provided to easily adjust the thickness of transferred graphene by adjusting the strength of a voltage if a graphene transferring process is implemented based on an electronic filed. CONSTITUTION: An imprint stamp(210), in which a pattern(205) is formed on a master substrate(200), is prepared. A metal film(220) containing a graphitization catalyst is formed on the imprint stamp. Graphene(230) is formed on the imprint stamp. The graphene is transferred to a substrate(240) for manufacturing devices in order to form a graphene pattern. The graphitization catalyst is one or more selected from Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, and Zr.
Abstract translation: 目的：提供一种使用压印技术形成石墨烯图案的方法，以便通过基于电子场来实现石墨烯转印处理，通过调节电压的强度来容易地调节转印石墨烯的厚度。 构成：准备在母板（200）上形成有图案（205）的压印印模（210）。 在压印印模上形成含有石墨化催化剂的金属膜（220）。 石墨烯（230）形成在印记上。 将石墨烯转移到用于制造器件的衬底（240）以形成石墨烯图案。 石墨化催化剂是选自Ni，Co，Fe，Pt，Au，Al，Cr，Cu，Mg，Mn，Mo，Rh，Si，Ta，Ti，W，U，V和Zr中的一种或多种。
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公开(公告)号：KR1020110054386A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：KR1020090111008
申请日：2009-11-17
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/022 , H01L21/0332
Abstract: PURPOSE: A method for forming a graphene using an imprint method is provided to prevent metal contamination by omitting a graphite catalyst through an etching process. CONSTITUTION: A patterned imprint stamp(210) is manufactured. The imprint stamp is made of graphite catalyst. A graphene(220) is formed by supplying and processing vapor carbon supply source to the imprint stamp thermally. The graphene formed on the imprint stamp is transferred on the substrate by using the imprint method. A graphene pattern(240) is formed on the substrate for manufacturing a device.
Abstract translation: 目的：提供使用压印方法形成石墨烯的方法，以通过蚀刻工艺省略石墨催化剂来防止金属污染。 构成：制作图案印记印章（210）。 印记邮票由石墨催化剂制成。 石墨烯（220）是通过向压印印模热供应和处理蒸气碳源而形成的。 在压印上形成的石墨烯通过使用压印方法在基板上转印。 在用于制造器件的衬底上形成石墨烯图案（240）。
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