公开(公告)号：KR100844121B1

公开(公告)日：2008-07-07

申请号：KR1020070072731

申请日：2007-07-20

Applicant: (주)에스엔텍 ,  한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 안경준 ,  최기철 ,  장근원 ,  송용원

IPC: H01L21/304 ,  B08B6/00

CPC classification number: H01L21/67017 ,  H01L21/02041 ,  H01L27/14623

Abstract: An atmospheric pressure plasma apparatus, an infrared filter in-line assembly of a camera module including the same, a cleaning method using the same, and an infrared filter in-line assembling method of a cellular phone camera module using the same are provided to prevent reattachment of foreign materials by performing a nitrogen blowing process. An internal case(210) is formed to protect an internal device. A first electrode(220) is installed in the inside of the internal case. A gas line(230) is installed in the inside of the first electrode in order to exhaust a mixed gas through a plurality of holes. A dielectric(240) is formed on one surface of the first electrode. A conductive layer(250) is formed between the first electrode and the dielectric. A second electrode(260) is formed at a constant interval from the dielectric. A plurality of injection nozzles are formed in a constant interval on the second electrode. A mesh(270) is formed on a surface of the second electrode. The first electrode is separated at a constant interval from the dielectric in an inner surface of the internal case. The mixed gas and the plasma are discharged through the injection nozzles.

Abstract translation: 提供大气压等离子体装置，包括该装置的相机模块的红外线过滤器在线组装，使用该装置的清洁方法以及使用其的蜂窝电话摄像机模块的红外线滤波器在线组装方法以防止 通过进行氮气吹扫过程重新附着异物。 形成内部壳体（210）以保护内部装置。 第一电极（220）安装在内部壳体的内部。 气体管线（230）安装在第一电极的内部，以通过多个孔排出混合气体。 电介质（240）形成在第一电极的一个表面上。 在第一电极和电介质之间形成导电层（250）。 第二电极（260）以与电介质一定的间隔形成。 在第二电极上以恒定的间隔形成多个喷嘴。 网格（270）形成在第二电极的表面上。 第一电极在内部壳体的内表面中与电介质以恒定的间隔分开。 混合气体和等离子体通过注射喷嘴排出。

公开(公告)号：KR100817477B1

公开(公告)日：2008-03-27

申请号：KR1020070017904

申请日：2007-02-22

Applicant: (주)에스엔텍

Inventor： 안경준 ,  정성훈 ,  장근원

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/30

CPC classification number: H01J37/32541 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32559 ,  H01J2237/3355 ,  H01L2224/80013

Abstract: A plasma cleaning device is provided to form the plasma having a desired shape and to process various objects by varying an electrode structure of an electrode bar according to the object. A plasma cleaning device(200) comprises a chamber(210), a plurality of electrode bars(220), a pair of electrode plates(230), insulating members(240), and nuts(250). A plurality of first holes for electrode bars is formed in both side of the chamber. The electrode bar is passed through the hole, and a central part of the electrode bar is positioned inside the chamber and both ends of the electrode bar are exposed to the outside of the chamber. The electrode plates have a plurality of second holes for the electrode bars, having a bigger diameter than an outer diameter of the electrode bar. The insulating members are intervened among the first holes, electrode bars, and electrode plates. The insulating members seal the inside of the chamber and insulate the first holes, electrode bars, and electrode plates. The nut connects the electrode bar and the electrode plate electrically, and fixes the electrode plate.

Abstract translation: 提供等离子体清洁装置以形成具有期望形状的等离子体，并且通过根据目的改变电极棒的电极结构来处理各种物体。 等离子体清洁装置（200）包括室（210），多个电极棒（220），一对电极板（230），绝缘构件（240）和螺母（250）。 多个用于电极棒的第一孔形成在腔室的两侧。 电极棒穿过孔，并且电极棒的中心部分位于腔室内部，电极棒的两端暴露于腔室的外部。 电极板具有用于电极棒的多个第二孔，其直径大于电极棒的外径。 绝缘构件介于第一孔，电极棒和电极板之间。 绝缘构件密封室的内部并绝缘第一孔，电极棒和电极板。 螺母电连接电极棒和电极板，并固定电极板。

公开(公告)号：KR101790625B1

公开(公告)日：2017-10-26

申请号：KR1020160031688

申请日：2016-03-16

Applicant: (주)에스엔텍

Inventor： 안경준 ,  정성훈 ,  김상진 ,  김성대 ,  장근원

IPC: H01L21/203 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  C23C14/54 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34

Abstract: 본발명은진공챔버내에서개구부를사이에두고일 측에기재가위치하고타 측에성막재료를보유한재료보유부가구비되며플라즈마빔으로상기성막재료를기상으로비산시켜상기기재의표면에성막하는성막장치에관한것으로서, 상기개구부의개구면적을증감시키는방향으로왕복이동가능하도록배열되는다수의막두께조절판; 상기진공챔버외부에서상기막두께조절판들각각을구동조작가능하게하는구동부를포함하는것을특징으로한다. 이에의해, 진공유지상태에서기재와성막재료사이의개구면적을증감시켜서성막두께를균일하게조절할수 있는성막장치가제공된다. 더불어기재와성막재료사이의개구면적증감을정밀하게조절할수 있는성막장치가제공된다. 또한성막두께의균일도를장시간동안유지할수 있도록하여생산성을극대화할수 있는성막장치가제공된다.

Abstract translation: 本发明被提供有额外的保持材料位于所述一个保持在另一侧上的沉积材料被分散在气相中的膜的衬底的表面上的等离子束蒸镀装置形成材料沉积在真空室中的开口之间的侧的基 多个膜厚度调节板，其被布置成在增大或减小开口部的开口面积的方向上往复运动; 以及用于驱动真空室外部的每个膜厚控制板的驱动单元。 由此，提供一种能够在真空保持状态下通过增加或减小基板与成膜材料之间的开口面积来均匀地调节膜厚度的成膜设备。 另外，提供了一种能够精确地控制衬底和成膜材料之间的开口面积的增大和减小的成膜设备。 此外，提供了一种能够通过长时间保持膜厚均匀性而使生产率最大化的成膜设备。

公开(公告)号：KR1020160115731A

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：KR1020160031688

申请日：2016-03-16

Applicant: (주)에스엔텍

Inventor： 안경준 ,  정성훈 ,  김상진 ,  김성대 ,  장근원

IPC: H01L21/203 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  C23C14/54 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34

Abstract: 본발명은진공챔버내에서개구부를사이에두고일 측에기재가위치하고타 측에성막재료를보유한재료보유부가구비되며플라즈마빔으로상기성막재료를기상으로비산시켜상기기재의표면에성막하는성막장치에관한것으로서, 상기개구부의개구면적을증감시키는방향으로왕복이동가능하도록배열되는다수의막두께조절판; 상기진공챔버외부에서상기막두께조절판들각각을구동조작가능하게하는구동부를포함하는것을특징으로한다. 이에의해, 진공유지상태에서기재와성막재료사이의개구면적을증감시켜서성막두께를균일하게조절할수 있는성막장치가제공된다. 더불어기재와성막재료사이의개구면적증감을정밀하게조절할수 있는성막장치가제공된다. 또한성막두께의균일도를장시간동안유지할수 있도록하여생산성을극대화할수 있는성막장치가제공된다.

公开(公告)号：KR101100393B1

公开(公告)日：2011-12-30

申请号：KR1020090128713

申请日：2009-12-22

Applicant: (주)에스엔텍

Inventor： 안경준 ,  정성훈 ,  장근원

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/34

Abstract: 본 발명은 플라즈마 발생장치 및 이를 구비한 대기압 플라즈마 표면처리 장치에 관한 것으로, 특히 고온에서도 안정적인 구조를 유지하고 표면처리 효과를 개선할 수 있는 플라즈마 발생장치 및 이를 구비한 대기압 플라즈마 표면처리 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 플라즈마 표면처리 장치는 피처리물을 감싸는 랩핑롤러, 피처리물에 플라즈마 가스를 직접적으로 분사함으로써 일차적인 표면처리를 수행하는 제 1 플라즈마 발생장치, 플라즈마 가스를 생성하여 분사홀을 통하여 간접적으로 피처리물에 이차적인 표면처리를 수행하는 제 2 플라즈마 발생장치, 피처리물을 제 1 및 제 2 플라즈마 발생장치들과 대면하는 곳에서 고르게 펼쳐지게 하기 위한 메인 드럼 및 메인 드럼의 하부에 위치하여 피처리물의 이송을 위한 가이드롤을 구비한다.
폴리이미드, 표면처리, 플라즈마

公开(公告)号：KR1020110071968A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：KR1020090128713

申请日：2009-12-22

Applicant: (주)에스엔텍

Inventor： 안경준 ,  정성훈 ,  장근원

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/34

CPC classification number: H01J37/32532 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32715 ,  H05H1/24

Abstract: PURPOSE: A plasma generation apparatus and an atmospheric pressure plasma surface treatment apparatus comprising the same are provided to reduce electrostatic discharge as increasing surface treatment effect of a treated material. CONSTITUTION: A direct type plasma generation apparatus includes a unit electrode(10), a housing(110) and a gas supply part(124). The unit electrode applies a voltage for plasma discharge. The housing comprises a top surface(11) and a vertical surface(114) bent vertically at both edges of the top surface. A combining member(120) is attached to the top surface of the housing. An electrode supporter(130) fixes the unit electrodes. The electrode supporter includes a power line guide hole(134) for inputting a conductive line.

Abstract translation: 目的：提供一种等离子体产生装置和包括该等离子体产生装置的大气压等离子体表面处理装置，以随着处理材料的表面处理效果的增加而减少静电放电。 构成：直接型等离子体生成装置包括单位电极（10），壳体（110）和气体供给部（124）。 单元电极施加用于等离子体放电的电压。 壳体包括顶表面（11）和在顶表面的两个边缘处垂直弯曲的垂直表面（114）。 组合构件（120）附接到壳体的顶表面。 电极支撑件（130）固定单元电极。 电极支架包括用于输入导线的电力线引导孔（134）。