公开(公告)号：WO2018151581A1

公开(公告)日：2018-08-23

申请号：PCT/KR2018/002082

申请日：2018-02-20

Applicant: (주)큐엠씨

Inventor： 유병소 ,  김학용 ,  김관유 ,  신동우 ,  송성호 ,  김장현

IPC: H01S3/10 ,  H01L21/76 ,  H01L21/78 ,  H01L21/268 ,  G02B27/14 ,  G02B27/28 ,  G02B5/30 ,  G02B26/02

Abstract: 본 발명은 레이저 스크라이빙 장치에 대한 것으로서, 레이저 빔을 출력하는 레이저 광원, 상기 레이저 빔을 제 1 레이저 빔 및 제 2 레이저 빔으로 분할하는 스플리터, 상기 제1 레이저 빔 또는 제2 레이저 빔 경로상에서 발산각을 조절하는 빔 익스펜더 텔레스코프, 상기 제1 레이저 빔 및 제2 레이저 빔을 결합하는 빔 컴바이너, 및 상기 빔 컴바이너에 의하여 결합된 제 1 레이저 빔 및 제 2 레이저 빔을 집광하는 집광 렌즈를 포함한다. 이때, 상기 제 1 레이저 빔 및 제 2 레이저 빔의 초점 거리가 상이한 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020180096070A

公开(公告)日：2018-08-29

申请号：KR1020170022268

申请日：2017-02-20

Applicant: (주)큐엠씨

Inventor： 유병소 ,  김학용 ,  김관유 ,  신동우 ,  송성호 ,  김장현

IPC: H01S3/10 ,  H01L21/76 ,  H01L21/78 ,  H01L21/268 ,  G02B27/14 ,  G02B27/28 ,  G02B5/30 ,  G02B26/02

CPC classification number: G02B5/30 ,  G02B26/02 ,  G02B27/14 ,  G02B27/28 ,  H01L21/268 ,  H01L21/76 ,  H01L21/78 ,  H01S3/10 ,  H01S3/10061 ,  G02B27/141 ,  G02B27/283

Abstract: 본발명은레이저스크라이빙장치에대한것으로서,. 레이저빔을출력하는레이저광원, 상기레이저빔을제1 레이저빔 및제2 레이저빔으로분할하는스플리터, 상기스플리터에의하여분할된제2 레이저빔의편광방향을 90도회전하는제1 파장판, 상기제1 레이저빔 또는제2 레이저빔 경로상에서발산각을조절하는빔 익스펜더텔레스코프, 상기제1 레이저빔 및제2 레이저빔을결합하는빔 컴바이너, 및상기빔 컴바이너에의하여결합된제1 레이저빔 및제2 레이저빔을집광하는집광렌즈를포함한다. 이때, 상기제1 레이저빔 및제2 레이저빔의초점거리가상이한것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR101902991B1

公开(公告)日：2018-10-02

申请号：KR1020170022268

申请日：2017-02-20

Applicant: (주)큐엠씨

Inventor： 유병소 ,  김학용 ,  김관유 ,  신동우 ,  송성호 ,  김장현

IPC: H01S3/10 ,  H01L21/76 ,  H01L21/78 ,  H01L21/268 ,  G02B27/14 ,  G02B27/28 ,  G02B5/30 ,  G02B26/02

CPC classification number: G02B5/30 ,  G02B26/02 ,  G02B27/14 ,  G02B27/28 ,  H01L21/268 ,  H01L21/76 ,  H01L21/78 ,  H01S3/10

Abstract: 본발명은레이저스크라이빙장치에대한것으로서,. 레이저빔을출력하는레이저광원, 상기레이저빔을제1 레이저빔 및제2 레이저빔으로분할하는스플리터, 상기스플리터에의하여분할된제2 레이저빔의편광방향을 90도회전하는제1 파장판, 상기제1 레이저빔 또는제2 레이저빔 경로상에서발산각을조절하는빔 익스펜더텔레스코프, 상기제1 레이저빔 및제2 레이저빔을결합하는빔 컴바이너, 및상기빔 컴바이너에의하여결합된제1 레이저빔 및제2 레이저빔을집광하는집광렌즈를포함한다. 이때, 상기제1 레이저빔 및제2 레이저빔의초점거리가상이한것을특징으로한다.