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公开(公告)号：KR1020130035140A
公开(公告)日：2013-04-08
申请号：KR1020110099417
申请日：2011-09-29
Applicant: (주)해피글로벌솔루션 , 윤해근
IPC: H01L21/02
Abstract: PURPOSE: An air curtain system for preventing the diffusion of the chemical is provided to facilitate an installation process by arranging an air inhalation unit and an air spray unit in parallel. CONSTITUTION: An air spray unit(10) is mounted on the upper side of a door frame in a processing chamber and prevents the circulation of air between the inner side and the outer side of the processing chamber. The processing chamber generates an organic chemical element mixed with the air. An air inhalation unit(20) is mounted on the lower side of the door frame in the processing chamber and reduces air pressure in the processing chamber. [Reference numerals] (AA) Primary barrier film; (BB) Secondary barrier film;
Abstract translation: 目的：提供一种用于防止化学物质扩散的气幕系统，以便通过并排布置空气吸入单元和空气喷雾装置来实现安装过程。 构成：在处理室中的门框的上侧安装有空气喷射单元（10），并且防止处理室的内侧和外侧之间的空气循环。 处理室产生与空气混合的有机化学元素。 空气吸入单元（20）安装在处理室中的门框的下侧，并且减小处理室中的空气压力。 （附图标记）（AA）主要阻挡膜; （BB）二次阻隔膜;
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公开(公告)号：WO2012099342A2
公开(公告)日：2012-07-26
申请号：PCT/KR2011/009895
申请日：2011-12-21
Applicant: 주식회사 해피글로벌솔루션 , 윤해근 , 서강열 , 박효근
IPC: B25J19/06 , G05B19/18 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J9/1674 , G05B19/4062 , G05B2219/42306 , G05B2219/42307
Abstract: 본 발명은 로봇 진단 시스템 및 이를 이용한 진단방법, 특히 로봇의 작동상태를 실시간으로 모니터링하여 웨이퍼의 공정일정과 로봇의 정비계획을 체계적으로 세울 수 있게 된다. 이를 위해 본 발명은 베이 별로 설치된 각 설비들의 챔버 내에 있는 각각의 로봇 동작을 진단하는 진단시스템에 관한 것으로, 로봇(T)을 동작시키기 위해 로봇(T)에 인가되는 기설정된 기준값인 명령신호와 상기 로봇(T)의 실제 동작에 대응하는 피드백 신호를 로봇(T) 제어기인 드라이버 모듈(20)로부터 수집하여 외부로 전송하는 캡쳐모듈(30); 상기 로봇(T)의 동작상태를 파악하기 위해 상기 캡쳐모듈(30)로부터 전송된 상기 명령신호와 상기 피드백 신호의 편차에 대하여 기설정된 알고리즘을 통해 연산 데이터를 생성하는 연산모듈(40); 상기 연산 데이터를 기반으로 수치와 그래픽으로 실시간 디스플레이하는 스크린 모듈(50);을 포함하여 구성된다.
Abstract translation: 本发明涉及机器人诊断系统和使用该机器人诊断方法的机器人诊断方法。 特别地，可以实时监视机器人的操作状态，以便系统化晶片的处理进度和机器人的维护和修理计划。 为此目的，本发明涉及一种诊断系统，用于诊断设置在每个托架中的每件设备的室内的每个机器人的操作。 所述诊断系统包括：捕获模块（30），其收集应用于机器人（T）以操作所述机器人（T）的作为预设基准值的命令信号和与所述机器人（T）的实际操作相对应的反馈信号 （T）从作为控制器的驱动器模块（20）发送，以将所收集的信号发送到外部; 计算模块（40），通过相对于从捕获模块（30）发送的命令信号和反馈信号之间的偏差的预设算法产生计算数据，以确定机器人（T）的操作状态; 以及屏幕模块（50），其基于计算数据实时地使用数值和图形显示所得到的值。
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公开(公告)号：KR101098556B1
公开(公告)日：2011-12-26
申请号：KR1020110006071
申请日：2011-01-20
Applicant: (주)해피글로벌솔루션
IPC: B25J19/06 , G05B19/18 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67742 , B25J9/1674 , G05B19/4062 , G05B2219/42306 , G05B2219/42307 , H01L21/67242 , H01L21/68707
Abstract: PURPOSE: A robot diagnosis system and a robot diagnosing method using the same are provided to prevent the damage of wafer and the malfunction of robot by monitoring the operation state of a robot in real time. CONSTITUTION: A robot diagnosis system comprises a capture module(30), a computation module(40) and a screen module(50). The capture module collects a command signal and a feedback signal from a driver module(20) and transmits to outside. The command signal is a pre-set reference value applied in a robot in order to activate a robot(T). The feedback signal copes with the actual motion of a robot. In order to grasp the operation state of a robot, the computation module generates the computation data about the vibration, torque, backlash and the location secession of a moving robot in response to the deviation of the command signal and feedback signal through a pre-set algorithm. The screen module displays the computation data about the vibration, torque, backlash and the location secession of a robot through the numerical values and graphic in real time.
Abstract translation: 目的：提供机器人诊断系统和使用该机器人诊断方法的机器人诊断方法，以通过实时监视机器人的操作状态来防止晶片的损坏和机器人的故障。 构成：机器人诊断系统包括捕获模块（30），计算模块（40）和屏幕模块（50）。 捕获模块从驱动器模块（20）收集命令信号和反馈信号，并将其发送到外部。 命令信号是为了激活机器人（T）而应用在机器人中的预设参考值。 反馈信号处理机器人的实际运动。 为了掌握机器人的操作状态，计算模块响应于命令信号和反馈信号通过预设的偏差产生关于移动机器人的振动，扭矩，间隙和位置分离的计算数据 算法。 屏幕模块通过数值和图形实时显示关于机器人的振动，扭矩，间隙和位置分离的计算数据。
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公开(公告)号：KR101223756B1
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020120106812
申请日：2012-09-25
Applicant: (주)해피글로벌솔루션 , 박창기 , 이희정
Abstract: PURPOSE: A belt and motor diagnosing system is provided to prevent loss of wafer processing due to sudden malfunction by detecting the initial signals of a malfunction and fixing it. CONSTITUTION: A belt and motor diagnosing system comprises the following steps: A capture module(20) collects a command signal delivered from a main controller(10) to a driver module(21) and pulse signals generated from an encoder, and sends them to the outside. A calculation module(30) creates calculation data about the speed, acceleration, drive time, vibration, backlash, and position separation of a motor, a belt, and a moving shaft working by a preset algorism based on command signals and pulse signals sent from capture modules. A display module(40) displays the calculation data generated by the calculation module as a value and a graphic in the real time. [Reference numerals] (10) Main controller; (20) Capture module; (21) Driver; (30) Calculation module; (40) Display module; (50) Central control part; (51) Monitor; (A) Movement axis; (B) Belt; (E) Encoder; (L) Loader; (M) Motor
Abstract translation: 目的：提供皮带和电机诊断系统，以通过检测故障的初始信号并进行固定来防止由于突然故障导致的晶片处理损失。 构成：皮带和电动机诊断系统包括以下步骤：捕获模块（20）收集从主控制器（10）传送到驱动器模块（21）的命令信号和从编码器产生的脉冲信号，并将它们发送到 外。 计算模块（30）基于由命令信号和脉冲信号发送的预设算法，创建关于电机，皮带和移动轴的速度，加速度，驱动时间，振动，间隙和位置分离的计算数据 捕获模块。 显示模块（40）将由计算模块生成的计算数据实时显示为值和图形。 （附图标记）（10）主控制器; （20）捕捉模块; （21）司机; （30）计算模块; （40）显示模块; （50）中央控制部分; （51）监视器; （A）运动轴; （B）皮带; （E）编码器; （L）装载机; （M）电机
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