公开(公告)号：WO2014014181A1

公开(公告)日：2014-01-23

申请号：PCT/KR2013/002033

申请日：2013-03-14

Applicant: (주)인텍플러스

Inventor： 임쌍근 ,  강민구 ,  송준호 ,  이현민 ,  한철희

IPC: G01N21/88 ,  G02F1/13

CPC classification number: G01N21/95684 ,  G01N2021/95638 ,  G01N2021/95661 ,  G02F2001/136254

Abstract: 본 발명은 기판의 패턴검사를 통해 불량위치를 검사하고, 영상비교를 통해 불량위치의 단락 또는 단선여부를 판별한 뒤 그에 대응하는 복원이 이루어지도록 신호를 출력하여 자동적으로 불량부위가 복원될 수 있도록 하는 기판 검사 및 리페어 방법에 관한 것으로, 기판의 패턴결함을 광학적으로 검사하고, 이를 기록한 정보를 전송하는 검사단계와, 상기 전송된 패턴결함의 정보에 기초하여 상기 패턴결함의 단락 또는 단선 여부를 판별하는 판독단계와, 상기 패턴결함에 대한 단락 또는 단선 정보를 인식하여, 리페어 작업을 수행하는 복원단계를 포함한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种能够通过基板的图案检查来检查缺陷位置的基板检查和修复方法，通过图像比较来确定导线是否在缺陷位置被短路或切断，并且输出对应于 执行确定的结果，使得可以自动恢复缺陷部分，并且该方法包括：光学检查基板的图案缺陷并发送关于图案缺陷的记录信息的检查步骤; 基于所发送的关于图案缺陷的信息来确定图案缺陷是否具有短路或切割线的读取步骤; 以及恢复步骤，通过识别关于图案缺陷的短路或切断线信息进行修理工作。

公开(公告)号：KR101230396B1

公开(公告)日：2013-02-15

申请号：KR1020100087161

申请日：2010-09-06

Applicant: (주) 인텍플러스

Inventor： 강민구 ,  이현민 ,  송준호 ,  한원섭 ,  이상윤 ,  임쌍근

IPC: G01M11/02 ,  G01N21/88 ,  G01B11/25

Abstract: 본 발명은 카메라로 2차원 영상 및 3차원 모아레 영상을 획득하고, 사이드 카메라를 이용하여 단차를 갖는 LED칩의 들뜸, 경사짐의 유무, 커넥터의 솔더링 상태 등을 동시에 점검할 수 있도록 하는 LED어레이 검사장치에 관한 것으로, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 LED어레이가 장착되는 카세트와, 상기 카세트를 수평방향과 수직방향으로 이송시키는 카세트 구동드라이버와, 상기 LED어레이의 이상여부를 판단하기 위한 상기 LED어레이의 영상을 획득하는 영상획득모듈과, 상기 영상획득모듈을 전후좌우로 이송시키는 영상획득모듈 구동드라이버와, 상기 영상획득모듈로부터 전송되는 영상을 해석하여 LED어레이를 검사하는 영상처리수단으로 이루어진 LED어레이 검사장치에 있어서, 상기 영상획득모듈은 상기 LED어레이의 영상을 획득하도록 상기 LED어레이의 수직 상방에 배치하는 메인카메라와, 상기 LED어레이의 영상을 획득하도록 상기 LED어레이를 향해 경사지도록 배치되는 사이드 카메라와, 상기 LED어레이를 향해 빛을 조사하는 조명수단을 포함하도록 구성된다.

公开(公告)号：KR1020140012340A

公开(公告)日：2014-02-03

申请号：KR1020120078931

申请日：2012-07-19

Applicant: (주) 인텍플러스

Inventor： 임쌍근 ,  강민구 ,  송준호 ,  이현민 ,  한철희

IPC: G01N21/88 ,  G02F1/13

CPC classification number: G01N21/95684 ,  G01N2021/95638 ,  G01N2021/95661 ,  G02F2001/136254

Abstract: The present invention relates to a method for inspecting and repairing a substrate, wherein the method is for inspecting a defective position through a pattern inspection on the substrate, determining whether or not a short circuit or disconnection is in the defective position through image comparison, and then outputting a signal for restoration corresponding to the short circuit or the disconnection in order to automatically restore a defective area. The method for inspecting and repairing the substrate comprises: an inspecting step of optically inspecting a pattern defect on the substrate, and then transmitting information in which the pattern defect is recorded; a deciphering step of determining whether or not the short circuit or the disconnection is in the pattern defect based on the transmitted information for the pattern defect; and a restoring step of recognizing the short circuit or the disconnection in the pattern defect, and then repairing the pattern defect. [Reference numerals] (S100) Inspecting step; (S200) Deciphering step; (S300) Restoring step; (S400) Re-inspecting step

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检查和修复基板的方法，其中该方法用于通过基板上的图案检查来检查缺陷位置，通过图像比较确定短路或断开是否处于缺陷位置，以及 然后输出与短路或断开相对应的恢复信号，以便自动恢复缺陷区域。 用于检查和修复基板的方法包括：光学检查基板上的图案缺陷，然后发送记录有图案缺陷的信息的检查步骤; 根据所发送的图案缺陷信息，确定短路或断线是否处于图案缺陷的解密步骤; 以及识别图案缺陷中的短路或断开的恢复步骤，然后修复图案缺陷。 （附图标记）（S100）检查步骤; （S200）解密步骤; （S300）恢复步骤; （S400）重新检查步骤

公开(公告)号：KR101130553B1

公开(公告)日：2012-03-23

申请号：KR1020090117980

申请日：2009-12-01

Applicant: (주) 인텍플러스

Inventor： 임쌍근 ,  이상윤 ,  강민구 ,  송준호

IPC: H01L33/48

Abstract: 본 발명은 발광다이오드(LED) 칩 카운터에 관한 것으로, 특히 일반 DSLR 카메라와 면광을 사용하여 블루페이퍼상의 발광다이오드(LED) 웨이퍼에 있는 발광다이오드(LED) 칩을 카운터하는 발광다이오드(LED) 칩 카운터에 관한 것으로,
조명수단과 카메라와 컴퓨터로 이루어진 발광다이오드(LED) 칩 카운터에 있어서, 상기 카메라는 일반 DSLR 카메라이며, 상기 조명수단은 측정 대상물의 하면에 위치하며 면광임을 특징으로 한다.
칩 카운터, DSLR 카메라, 면광, 발광다이오드

公开(公告)号：KR1020120025644A

公开(公告)日：2012-03-16

申请号：KR1020100087161

申请日：2010-09-06

Applicant: (주) 인텍플러스

Inventor： 강민구 ,  이현민 ,  송준호 ,  한원섭 ,  이상윤 ,  임쌍근

IPC: G01M11/02 ,  G01N21/88 ,  G01B11/25

Abstract: PURPOSE: An apparatus for inspecting a light emitting diode array is provided to shorten times required for measurement by simultaneously images from a main camera and a side camera. CONSTITUTION: An apparatus for inspecting a light emitting diode array includes a cassette(20), a cassette driver(30), an image obtaining module, an image obtaining module driver(40), and an image processor. A light emitting diode array is mounted at the cassette. The cassette driver transfers the cassette. The image obtaining module obtains images of the light emitting diode array. The image obtaining module driver transfers the image obtaining module. The image processor analyzes the images from the image obtaining module to inspect the light emitting diode array.

Abstract translation: 目的：提供一种用于检查发光二极管阵列的装置，以通过同时来自主摄像机和侧摄像机的图像缩短测量所需的时间。 构成：用于检查发光二极管阵列的装置包括盒（20），盒驱动器（30），图像获取模块，图像获取模块驱动器（40）和图像处理器。 发光二极管阵列安装在磁带盒上。 磁带机驱动程序转移磁带。 图像获取模块获得发光二极管阵列的图像。 图像获取模块驱动器传送图像获取模块。 图像处理器分析来自图像获取模块的图像以检查发光二极管阵列。

公开(公告)号：KR1020110061359A

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：KR1020090117980

申请日：2009-12-01

Applicant: (주) 인텍플러스

Inventor： 임쌍근 ,  이상윤 ,  강민구 ,  송준호

IPC: H01L33/48

CPC classification number: H01L33/486 ,  G06T7/0004 ,  H05K13/08

Abstract: PURPOSE: An LED chip counter is provided to counter chips of a wafer using an inexpensive DSLR camera, thereby saving the costs for realizing a measuring system. CONSTITUTION: An LED(Light Emitting Diode) chip counter includes a light unit(20), a camera, and a computer(30). The camera is a DSLR camera. The light unit is located on the bottom of an object(40) to be measured. The light unit is arranged between the object to be measured and a table to increase the rate of accurately obtaining an image.

Abstract translation: 目的：提供LED芯片计数器，以便使用便宜的数码单反相机对晶片的芯片进行对焦，从而节省实现测量系统的成本。 构成：LED（发光二极管）芯片计数器包括光单元（20），相机和计算机（30）。 相机是数码单反相机。 灯单元位于要测量的物体（40）的底部。 光单元布置在要测量的对象和表之间以增加准确获得图像的速率。