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公开(公告)号:WO2014014181A1
公开(公告)日:2014-01-23
申请号:PCT/KR2013/002033
申请日:2013-03-14
Applicant: (주)인텍플러스
CPC classification number: G01N21/95684 , G01N2021/95638 , G01N2021/95661 , G02F2001/136254
Abstract: 본 발명은 기판의 패턴검사를 통해 불량위치를 검사하고, 영상비교를 통해 불량위치의 단락 또는 단선여부를 판별한 뒤 그에 대응하는 복원이 이루어지도록 신호를 출력하여 자동적으로 불량부위가 복원될 수 있도록 하는 기판 검사 및 리페어 방법에 관한 것으로, 기판의 패턴결함을 광학적으로 검사하고, 이를 기록한 정보를 전송하는 검사단계와, 상기 전송된 패턴결함의 정보에 기초하여 상기 패턴결함의 단락 또는 단선 여부를 판별하는 판독단계와, 상기 패턴결함에 대한 단락 또는 단선 정보를 인식하여, 리페어 작업을 수행하는 복원단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够通过基板的图案检查来检查缺陷位置的基板检查和修复方法,通过图像比较来确定导线是否在缺陷位置被短路或切断,并且输出对应于 执行确定的结果,使得可以自动恢复缺陷部分,并且该方法包括:光学检查基板的图案缺陷并发送关于图案缺陷的记录信息的检查步骤; 基于所发送的关于图案缺陷的信息来确定图案缺陷是否具有短路或切割线的读取步骤; 以及恢复步骤,通过识别关于图案缺陷的短路或切断线信息进行修理工作。
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公开(公告)号:WO2013039340A2
公开(公告)日:2013-03-21
申请号:PCT/KR2012/007352
申请日:2012-09-13
IPC: G01N21/956 , G01B11/30 , G02F1/13
CPC classification number: G06T7/0004 , G01N21/95 , G01N2021/9513 , G02F1/1309 , G06T2207/30121 , H04N7/18
Abstract: 평판 패널을 검사하는 방법을 개시한다. 평판 패널 검사방법은, 평판 패널과 카메라 중 적어도 어느 하나를 수평 이동시켜 카메라를 평판 패널의 측정 위치에 배치하는 단계; 측정 위치에서 평판 패널의 피측정물에 대해 카메라의 초점을 자동으로 맞추는 단계; 카메라의 초점이 맞춰진 상태에서 카메라를 현재 위치를 중심으로 설정 구간 내에서 상하 이동시켜가며 피측정물에 대해 다수의 영상을 획득하는 단계; 및 획득된 다수의 영상 중 피측정물에 대한 선명도가 가장 높은 영상을 선택한 후, 선택된 영상을 처리하여 피측정물의 불량 여부를 판별하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了一种用于检查平板的方法。 用于检查平板的方法包括以下步骤:通过水平移动平板和相机中的至少一个来将相机布置在平板的测量位置; 在测量位置相对于平板测量对象自动聚焦相机; 在对照相机进行聚焦时,基于相机的当前位置垂直移动设定区域内的相机,来获取测量对象的多个图像; 在所获取的图像中选择具有用于测量目标的最高定义的图像; 处理所选图像; 并且确定测量目标是否有缺陷。
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公开(公告)号:WO2012044061A2
公开(公告)日:2012-04-05
申请号:PCT/KR2011/007141
申请日:2011-09-28
Abstract: 본 발명은 이미지 센서에서 출력되는 영상 데이터를 전송 채널의 대역폭에 상응하는 속도로 하나 이상의 전송 채널을 통해 순차적으로 전송하는 단계와, 하나 이상의 전송 채널을 통해 수신되는 영상 데이터를 하나 이상의 전송 채널 각각의 대역폭을 합한 전체 대역폭에 해당하는 속도로 프레임 스토어에 순차적으로 기록하는 단계를 포함하는 영상 데이터 고속 송수신 방법과 이를 구현하기 위한 장치이다.
Abstract translation: 本发明提供一种用于传输图像数据的方法,所述方法包括:以与传输信道的带宽相对应的速度,通过一个或多个传输信道顺序地传输从图像传感器输出的图像数据; 并且以与一个或多个传输信道中的每个传输信道的带宽的总带宽相对应的速度将数据顺序地记录到帧存储器,以及用于实现该装置的设备。
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公开(公告)号:WO2013151191A1
公开(公告)日:2013-10-10
申请号:PCT/KR2012/002437
申请日:2012-04-02
CPC classification number: G01N21/88 , G01N2021/9513 , G06T7/001 , G06T2207/30121
Abstract: 본 발명에 따른 평판패널 기판의 자동광학검사 방법은, 상기 기판의 일부 영역을 촬영하고, 각각이 촬영한 영상 내에 주기적으로 반복하여 존재하는 셀 레이아웃 패턴인 단위 영상들에 기초하여 기준 영상을 생성하는 단계, 각 단위 영상들을 상기 기준 영상과 비교하여 결함의 존부를 판정하고 기판에 결함이 존재할 경우 결함의 위치 정보를 획득하는 단계 및 획득한 결함의 위치정보를 출력하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明,一种用于平板基板的自动光学检测的方法包括以下步骤:对基板的一部分进行成像并基于单位图像生成参考图像,每个图像周期性地是单元布局图案, 重复存在于拍摄图像中; 将每个单位图像与参考图像进行比较以确定缺陷的存在,并且如果在基板上存在缺陷,则获取关于缺陷位置的信息; 并输出所获取的关于缺陷位置的信息。
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公开(公告)号:KR101496992B1
公开(公告)日:2015-03-02
申请号:KR1020130137036
申请日:2013-11-12
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명에서는 컬러필터 기판과의 합착 공정 전에 어레이 기판을 비접촉 방식으로 검사할 수 있는 어레이 기판 검사장치 및 검사방법이 개시된다.
본 발명에 따르면, 복수의 픽셀영역을 포함하는 어레이 기판을 검사하기 위한 것으로, 상기 어레이 기판의 상부에 상기 각각의 픽셀영역과 대응하도록 배치되고, 상기 어레이 기판과의 전압차로 인해 발생된 전기장을 통해 유도된 전하를 저장하는 복수의 금속전극들로 이루어진 금속전극 어레이와, 상기 어레이 기판과 금속전극 어레이에 전압을 인가하는 전압공급부와, 상기 각각의 금속전극에 저장된 전하량을 전압으로 변환하여 출력하는 컨버터와, 상기 컨버터에서 출력된 전압값을 입력 받아 디지털 신호로 변환하여 출력하는 AD변환기와, 상기 AD변환기에서 출력된 디지털 신호를 기초로 검사 이미지를 만드는 이미지 생성수단을 포함한다.Abstract translation: 在本发明中,公开了一种用于检查阵列基板的装置和方法,该阵列基板在与滤色器基板的接合处理之前可以通过非接触方式检查阵列基板。 根据本发明,用于检查包括多个像素区域的阵列基板的装置包括:金属电极阵列,设置在阵列基板的上部,以对应于每个像素区域,以存储通过 由于与阵列基板的电压差而产生的电场; 电压供应单元,用于向阵列基板和金属电极阵列施加电压; 将存储在每个金属电极中的电荷转换成电压并输出电压的转换器; 用于接收从转换器输出的电压的AD转换器将电压转换成数字信号并输出数字信号; 以及图像生成装置,用于基于从AD转换器输出的数字信号生成检查图像。
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公开(公告)号:KR101434637B1
公开(公告)日:2014-08-26
申请号:KR1020120078932
申请日:2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 검사가 진행되는 과정에서 중첩되는 이미지 프레임에 각기 다른 조명을 조사하여 검출력을 높여줌에 따라 검사성이 확보된 자동광학 검사장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 검사대상물이 탑재되는 스테이지와, 상기 스테이지에 탑재된 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛과, 상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛과, 상기 촬영유닛과 상기 검사대상물의 상대위치가 변경되도록 상기 스테이지 또는 촬영유닛을 직선이동시키는 이동유닛을 포함하되, 상기 이동유닛의 이동속도는 상기 촬영유닛에서 획득한 N번째 영상과 N+1번째 영상의 일부가 상호 중첩될 수 있도록 설정된다.
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公开(公告)号:KR101415187B1
公开(公告)日:2014-07-07
申请号:KR1020120129025
申请日:2012-11-14
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 튜너블 유체렌즈를 이용하여 피검사물과의 최적의 초점거리를 파악하고 정밀한 초점 조절이 이루어짐에 따라 검사장치가 피검사물의 결함을 보다 명확하게 인식할 수 있도록 하는 오토 포커싱 장치에 관한 것으로, 검사용 카메라의 자동초점조절을 위해 검사장치에 장착되며, 피검사물에 조명을 출력하는 광원과, 상기 조명에 의해 반사된 피검사물의 이미지를 획득하는 제1 카메라와, 상기 제1 카메라와 피검사물 사이에 배치되는 튜너블 유체렌즈와, 상기 튜너블 유체렌즈에 가해지는 전류값을 조절하여, 튜너블 유체렌즈의 초점거리를 가변하는 제어부와, 상기 튜너블 유체렌즈의 가변 초점거리에 따른 피검사물의 이미지를 분석하여 최적의 초점거리를 산출하는 분석부와, 상기 분석부의 산출 결과에 대응하여 검사용 카메라와 피검사물 사이 간격을 조절하는 거리조절부를 포함한다.
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公开(公告)号:KR101410038B1
公开(公告)日:2014-06-20
申请号:KR1020120016112
申请日:2012-02-17
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 유리기판을 절단하는 과정에서 이물질 제거 효율이 향상될 수 있게 한 유리기판 절단장치가 개시된다. 이를 위한, 유리기판 절단장치는 절단공구로부터 일정거리 이격되도록 절단공구의 주변을 따라 배치되어 유리기판을 향하여 유체를 분사시키도록 형성된 분사유닛과, 상기 분사유닛과 절단공구 사이의 공간과 연통되도록 형성되어 유리기판 상의 이물질이 상기 분사유닛으로부터 분사된 유체와 함께 배출되게 하는 배출유닛을 포함한다.
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公开(公告)号:KR101400757B1
公开(公告)日:2014-05-27
申请号:KR1020120078930
申请日:2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 대형화 추세에 있는 디스플레이 패널의 생산 효율을 높이기 위하여 보다 신속한 검사속도를 제공하고, 디스플레이의 전 화면을 균일하면서도 세밀하게 검사할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 면 형태의 이미지를 출력하는 디스플레이 패널 전체 또는 일부를 커버하도록 상기 디스플레이 패널의 상부에 배치되어, 상기 디스플레이 패널에서 출력되는 면 형태의 이미지를 입사하는 렌즈와, 상기 렌즈의 상부에 배치되어 상기 렌즈에서 출력된 면 형태의 이미지를 라인 형태의 이미지로 통과시키는 슬릿과, 상기 슬릿에서 출력된 라인형태 이미지의 스펙트럼을 생성하는 분광기와, 상기 분광기를 통해 생성된 면 형태의 스펙트럼 영상을 획득하는 카메라가 동축상에 배치된 검사유닛을 포함하여, 상기 카메라에서 획득한 스펙트럼 영상으로 파장별 강도를 파악하여 상기 디스플레이 패널의 불량여부를 검출한다.
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公开(公告)号:KR1020140013170A
公开(公告)日:2014-02-05
申请号:KR1020120078933
申请日:2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: The present invention relates to an inspection device for a display panel to enable precise inspection for defects of a high pixel display panel using the reflectivity difference of visible light and more specifically, to an inspection device for a display panel including a lighting part to emit visible light to the surface of a display panel; an image obtaining part for photographing the visible light which is emitted by the lighting part and reflected on the display panel; and a control part which detects defective areas on the display panel by measuring the temperature profile of the display panel using an image photographed by the image obtaining part based on the fact that the reflectance of visible light changes when the temperature of the display panel changes.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于显示面板的检查装置,其能够使用可见光的反射率差来精确地检查高像素显示面板的缺陷,更具体地,涉及一种用于显示面板的检查装置,该显示面板包括照明部分以发出可见光 光到显示面板的表面; 图像获取部分,用于拍摄由照明部分发射并在显示面板上反射的可见光; 以及控制部,其基于当显示面板的温度变化时可见光的反射率发生变化的事实,通过使用由图像获取部拍摄的图像来测量显示面板的温度分布来检测显示面板上的缺陷区域。
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