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公开(公告)号：WO2013039340A2
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：PCT/KR2012/007352
申请日：2012-09-13
IPC: G01N21/956 , G01B11/30 , G02F1/13
CPC classification number: G06T7/0004 , G01N21/95 , G01N2021/9513 , G02F1/1309 , G06T2207/30121 , H04N7/18
Abstract: 평판 패널을 검사하는 방법을 개시한다. 평판 패널 검사방법은, 평판 패널과 카메라 중 적어도 어느 하나를 수평 이동시켜 카메라를 평판 패널의 측정 위치에 배치하는 단계; 측정 위치에서 평판 패널의 피측정물에 대해 카메라의 초점을 자동으로 맞추는 단계; 카메라의 초점이 맞춰진 상태에서 카메라를 현재 위치를 중심으로 설정 구간 내에서 상하 이동시켜가며 피측정물에 대해 다수의 영상을 획득하는 단계; 및 획득된 다수의 영상 중 피측정물에 대한 선명도가 가장 높은 영상을 선택한 후, 선택된 영상을 처리하여 피측정물의 불량 여부를 판별하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了一种用于检查平板的方法。 用于检查平板的方法包括以下步骤：通过水平移动平板和相机中的至少一个来将相机布置在平板的测量位置; 在测量位置相对于平板测量对象自动聚焦相机; 在对照相机进行聚焦时，基于相机的当前位置垂直移动设定区域内的相机，来获取测量对象的多个图像; 在所获取的图像中选择具有用于测量目标的最高定义的图像; 处理所选图像; 并且确定测量目标是否有缺陷。
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公开(公告)号：WO2018088827A1
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：PCT/KR2017/012693
申请日：2017-11-09
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치는 측정 대상이 안착되는 측정평면, 측정 대상을 조사하는 제1광원, 측정 대상으로부터 반사된 광을 수광하는 제1렌즈 및 제1렌즈에 수광된 광을 수집하여 이미지 데이터로 변환하는 제1이미지 획득수단을 포함하는 제1이미지 모듈, 측정 대상을 조사하는 제2광원, 측정 대상으로부터 반사된 광을 수광하는 제2렌즈 및 제2렌즈에 수광된 광을 수집하여 이미지 데이터로 변환하는 제2이미지 획득수단을 포함하는 제2이미지 모듈 및 제1이미지 모듈 및 제2이미지 모듈로부터 이미지를 획득하고, 이미지 프로세싱하여 측정 대상을 검출하는 제어부를 포함하며, 제1이미지 모듈 및 제2이미지 모듈은 측정 대상을 기준으로 좌우 대칭으로 배치된다.
Abstract translation:
三维形状测量装置根据本发明的一个实施例中，第一，用于接收所述光从第一光源反射，用于照射测量平面的测量对象，将被测量的测定对象安装 第二通过接收从第二光源反射的光收集由所述透镜和所述第一透镜接收的光线，用于照射第一成像模块的测量对象，包括：第一图像拾取测量对象装置，用于转换所述图像数据 以及第二图像获取单元，其获取由所述第二透镜接收的光并将所述光转换成图像数据;以及第二图像获取单元，其从所述第一图像模块和所述第二图像模块获取图像， 其中第一图像模块和第二图像模块相对于测量对象对称布置。
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公开(公告)号：WO2014014181A1
公开(公告)日：2014-01-23
申请号：PCT/KR2013/002033
申请日：2013-03-14
Applicant: (주)인텍플러스
CPC classification number: G01N21/95684 , G01N2021/95638 , G01N2021/95661 , G02F2001/136254
Abstract: 본 발명은 기판의 패턴검사를 통해 불량위치를 검사하고, 영상비교를 통해 불량위치의 단락 또는 단선여부를 판별한 뒤 그에 대응하는 복원이 이루어지도록 신호를 출력하여 자동적으로 불량부위가 복원될 수 있도록 하는 기판 검사 및 리페어 방법에 관한 것으로, 기판의 패턴결함을 광학적으로 검사하고, 이를 기록한 정보를 전송하는 검사단계와, 상기 전송된 패턴결함의 정보에 기초하여 상기 패턴결함의 단락 또는 단선 여부를 판별하는 판독단계와, 상기 패턴결함에 대한 단락 또는 단선 정보를 인식하여, 리페어 작업을 수행하는 복원단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够通过基板的图案检查来检查缺陷位置的基板检查和修复方法，通过图像比较来确定导线是否在缺陷位置被短路或切断，并且输出对应于 执行确定的结果，使得可以自动恢复缺陷部分，并且该方法包括：光学检查基板的图案缺陷并发送关于图案缺陷的记录信息的检查步骤; 基于所发送的关于图案缺陷的信息来确定图案缺陷是否具有短路或切割线的读取步骤; 以及恢复步骤，通过识别关于图案缺陷的短路或切断线信息进行修理工作。
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公开(公告)号：WO2018135734A1
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：PCT/KR2017/012695
申请日：2017-11-09
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01B11/24
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치는 측정 대상이 안착되는 측정평면, 측정 대상을 조사하는 광원, 광원으로부터 조사된 광을 투영시키는 렌즈 및 상기 측정 대상의 표면으로부터 반사되는 영상을 촬상하는 이미지 획득수단을 포함하는 3차원 형상 측정 장치에 있어서, 상기 렌즈 및 이미지 획득수단에 의해 결상되는 초점 영역은 광이 형상되는 면과 일치하도록 렌즈 및 이미지 획득수단이 배치된다.
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公开(公告)号：WO2013151191A1
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：PCT/KR2012/002437
申请日：2012-04-02
CPC classification number: G01N21/88 , G01N2021/9513 , G06T7/001 , G06T2207/30121
Abstract: 본 발명에 따른 평판패널 기판의 자동광학검사 방법은, 상기 기판의 일부 영역을 촬영하고, 각각이 촬영한 영상 내에 주기적으로 반복하여 존재하는 셀 레이아웃 패턴인 단위 영상들에 기초하여 기준 영상을 생성하는 단계, 각 단위 영상들을 상기 기준 영상과 비교하여 결함의 존부를 판정하고 기판에 결함이 존재할 경우 결함의 위치 정보를 획득하는 단계 및 획득한 결함의 위치정보를 출력하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明，一种用于平板基板的自动光学检测的方法包括以下步骤：对基板的一部分进行成像并基于单位图像生成参考图像，每个图像周期性地是单元布局图案， 重复存在于拍摄图像中; 将每个单位图像与参考图像进行比较以确定缺陷的存在，并且如果在基板上存在缺陷，则获取关于缺陷位置的信息; 并输出所获取的关于缺陷位置的信息。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102207900B1
公开(公告)日：2021-02-01
申请号：KR1020140015890
申请日：2014-02-12
Applicant: 삼성디스플레이 주식회사 , (주) 인텍플러스
Abstract: 광학검사장치는표시패널에제 1 파장의광을조사하는제 1 광원, 표시패널에제 2 파장의광을조사하는제 2 광원, 표시패널에제 3 파장의광을조사하는제 3 광원, 표시패널에서반사되는제 1 파장의광을통과시키는제 1 필터, 표시패널에서반사되는제 2 파장의광을통과시키는제 2 필터, 표시패널에서반사되는제 3 파장의광을통과시키는제 3 필터, 제 1 필터에상응하도록배치되는제 1 전하결합소자, 제 2 필터에상응하도록배치되는제 2 전하결합소자및 제 3 필터에상응하도록배치되는제 3 전하결합소자를포함하는카메라및 제 1 전하결합소자에서취득되는제 1 영상, 제 2 전하결합소자에서취득되는제 2 영상및 제 3 전하결합소자에서취득되는제 3 영상을조합하여표시패널의불량을분석하는영상분석부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101436573B1
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：KR1020120126805
申请日：2012-11-09
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 트레이에 기판을 수납한 상태에서, 관측영역(FOV)별로 초점을 조절한 뒤 비전검사가 이루어지도록 하는 기판 검사장치에 관한 것으로, 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이에 수납된 기판의 영상을 획득하는 촬영유닛과, 상기 트레이의 상부에 배치되고, 상기 트레이에 수납된 기판과의 거리를 측정하는 측정부와, 상기 측정부를 통해 측정된 상기 기판의 거리 정보를 기초로, 상기 촬영유닛의 초점을 조절하는 초점 조절부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101434637B1
公开(公告)日：2014-08-26
申请号：KR1020120078932
申请日：2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 검사가 진행되는 과정에서 중첩되는 이미지 프레임에 각기 다른 조명을 조사하여 검출력을 높여줌에 따라 검사성이 확보된 자동광학 검사장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 검사대상물이 탑재되는 스테이지와, 상기 스테이지에 탑재된 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛과, 상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛과, 상기 촬영유닛과 상기 검사대상물의 상대위치가 변경되도록 상기 스테이지 또는 촬영유닛을 직선이동시키는 이동유닛을 포함하되, 상기 이동유닛의 이동속도는 상기 촬영유닛에서 획득한 N번째 영상과 N+1번째 영상의 일부가 상호 중첩될 수 있도록 설정된다.
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公开(公告)号：KR101400757B1
公开(公告)日：2014-05-27
申请号：KR1020120078930
申请日：2012-07-19
Applicant: (주) 인텍플러스
Abstract: 본 발명은 대형화 추세에 있는 디스플레이 패널의 생산 효율을 높이기 위하여 보다 신속한 검사속도를 제공하고, 디스플레이의 전 화면을 균일하면서도 세밀하게 검사할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 면 형태의 이미지를 출력하는 디스플레이 패널 전체 또는 일부를 커버하도록 상기 디스플레이 패널의 상부에 배치되어, 상기 디스플레이 패널에서 출력되는 면 형태의 이미지를 입사하는 렌즈와, 상기 렌즈의 상부에 배치되어 상기 렌즈에서 출력된 면 형태의 이미지를 라인 형태의 이미지로 통과시키는 슬릿과, 상기 슬릿에서 출력된 라인형태 이미지의 스펙트럼을 생성하는 분광기와, 상기 분광기를 통해 생성된 면 형태의 스펙트럼 영상을 획득하는 카메라가 동축상에 배치된 검사유닛을 포함하여, 상기 카메라에서 획득한 스펙트럼 영상으로 파장별 강도를 파악하여 상기 디스플레이 패널의 불량여부를 검출한다.
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公开(公告)号：KR1020140023791A
公开(公告)日：2014-02-27
申请号：KR1020120090266
申请日：2012-08-17
Applicant: (주) 인텍플러스
IPC: G01N21/88
Abstract: The present invention relates to an apparatus for inspecting a substrate which is capable of conducting a full inspection of a substrate by adjusting only the angle of a mirror while a camera is fixed. The apparatus for inspecting a substrate includes: a stage where a substrate is mounted; an inspection camera which is arranged on top of the substrate and inspects the substrate by area; a mirror which is arranged in between the stage and the inspection camera to convert the pathway of light emitted from the substrate and deliver the light to the inspection camera; and a control unit which adjusts the inclination of the mirror and changes the imaging area of the substrate which is input to the inspection camera.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于检查基板的装置，该基板能够通过仅调整相机固定时的反射镜的角度来对基板进行全面的检查。 用于检查基板的装置包括：安装基板的台阶; 检查照相机，其设置在基板的顶部，并按面积检查基板; 布置在台架和检查照相机之间的反射镜，以转换从基板发射的光的路径并将光传送到检查照相机; 以及控制单元，其调整反射镜的倾斜度并改变输入到检查照相机的基板的成像区域。
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