公开(公告)号：JP5563502B2

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：JP2011052493

申请日：2011-03-10

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 一樹 滝澤

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/509

公开(公告)号：JP4575998B2

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：JP2010504099

申请日：2010-01-28

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 和俊 村田 ,  康成 森 ,  一樹 滝澤

IPC: C23C16/50 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H05H1/46

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45557 ,  C23C16/507 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449

公开(公告)号：JP4515306B2

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：JP2005097955

申请日：2005-03-30

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 一樹 滝澤

IPC: H05H1/00 ,  C23C16/511 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：JPWO2011108219A1

公开(公告)日：2013-06-20

申请号：JP2011508147

申请日：2011-02-21

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 一樹 滝澤 ,  一樹 滝澤 ,  宮武　直正 ,  直正 宮武 ,  村田　和俊 ,  和俊 村田

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/507 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/202 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32541 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 基板に薄膜を形成する薄膜形成装置は、減圧状態で基板に薄膜を形成する成膜空間を備える成膜容器と、前記成膜容器の前記成膜空間内に、薄膜用原料ガスを導入する原料ガス導入部と、前記成膜空間において、前記薄膜用原料ガスを用いてプラズマを生成させるプラズマ電極部と、を有する。前記プラズマ電極部は、電流が一方の端面から他方の端面に流れる、長尺状の板部材であって、前記板部材の長手方向の途中で屈曲して互いに並行する往路部分と復路部分を有する電極板を、プラズマ生成用電極として備える。

公开(公告)号：JP4818483B2

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：JP2011508147

申请日：2011-02-21

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 直正 宮武 ,  和俊 村田 ,  一樹 滝澤

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/507 ,  H01L21/3065 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/202 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32541 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

公开(公告)号：JP4575984B2

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：JP2009030325

申请日：2009-02-12

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 一樹 滝澤

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/505 ,  C23C16/52 ,  H01L21/316 ,  H01L21/318

CPC classification number: H01J37/32972 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/3299 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/0262 ,  H01L22/12 ,  H01L22/26

公开(公告)号：JPWO2008123186A1

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：JP2008551370

申请日：2008-03-24

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 一樹 滝澤 ,  一樹 滝澤

IPC: H05H1/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H05H1/0043 ,  G01J3/443 ,  H01J37/32926 ,  H01J37/32954 ,  H01J37/32972

Abstract: ヘリウムガスの準安定状態の原子を励起させる波長のレーザ光を、生成したプラズマに照射して、準安定状態の原子を励起させ、レーザ光の吸収量を表す吸収量情報を取得し、吸収量情報に基いて、プラズマ中におけるヘリウムガスの準安定状態の原子の密度を算出する。加えて、プラズマ中における、ヘリウムガスの異なる2つの励起状態からの下位準位遷移過程それぞれによる各発光を計測し、各発光の発光強度比を求める。その後、算出したヘリウムガスの準安定状態の原子の密度と、発光強度比とに基いて、生成したプラズマの電子温度を算出する。これにより、プラズマ雰囲気の条件によらず比較的高い精度で、プラズマの電子温度を算出することができる。

公开(公告)号：JP4426632B2

公开(公告)日：2010-03-03

申请号：JP2008551375

申请日：2008-03-26

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 直正 宮武 ,  康成 森 ,  弘幸 橘 ,  一樹 滝澤

IPC: H01L21/31 ,  C23C16/455 ,  C23C16/509 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H05H1/46 ,  C23C16/402 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/505 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32495

公开(公告)号：JP4324205B2

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：JP2007091402

申请日：2007-03-30

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 康成 森 ,  一樹 滝澤

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/505 ,  H01L21/205 ,  H01P5/12

CPC classification number: H01Q21/0006 ,  C23C16/509 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32183 ,  H01P5/12 ,  H01Q1/26 ,  H05H1/46

公开(公告)号：JP4288307B2

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：JP2008551370

申请日：2008-03-24

Applicant: 三井造船株式会社

Inventor： 一樹 滝澤

IPC: H05H1/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/306

CPC classification number: H05H1/0043 ,  G01J3/443 ,  H01J37/32926 ,  H01J37/32954 ,  H01J37/32972