公开(公告)号：CN116829308A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202180093007.0

申请日：2021-12-24

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 片冈昌一 ,  深井元树 ,  堀聪子 ,  坂上雄哉 ,  坂本真二 ,  吉冈翔

IPC: B24B47/22

Abstract: 本发明缩短对准动作所花费的时间，且本发明包括：切断用工作台2A、切断用工作台2B，保持设置有对准标记AM的密封完毕基板W并且能够旋转；切断机构4，将保持于切断用工作台2A、切断用工作台2B的密封完毕基板W切断；基准标记M1，设置于切断用工作台2A、切断用工作台2B，且与切断用工作台2A、切断用工作台2B的旋转中心RC的相对位置已知；以及摄像照相机24，拍摄基准标记M1及对准标记AM，使摄像照相机24相对于密封完毕基板W在一方向移动的同时拍摄对准标记AM，基于所拍摄的对准标记AM及基准标记M1，进行在一方向及与一方向正交的方向的密封完毕基板W与切断机构4的对准。

公开(公告)号：CN117677468A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202280051271.2

申请日：2022-06-03

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 坂本真二

IPC: B24B53/00 ,  H01L21/301 ,  B24B53/12 ,  B24B49/12 ,  B24B27/06

Abstract: 切断装置构成为通过刀片对切断对象物进行切断。切断装置包括摄像部和控制部。摄像部构成为与修整板相对移动的同时对所述修整板的一部分的区域进行拍摄。控制部构成为：控制摄像部对修整板的多个第一区域依次进行拍摄，并且基于通过摄像部得到的拍摄结果，对在多个第一区域中的每个第一区域中有无切割线进行判定。多个第一区域中彼此相邻的两个第一区域隔着第二区域而彼此分开。控制部基于在多个第一区域中的每个第一区域中有无切割线来确定是否需要对在第二区域中有无切割线进行判定。