公开(公告)号：CN116829308A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202180093007.0

申请日：2021-12-24

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 片冈昌一 ,  深井元树 ,  堀聪子 ,  坂上雄哉 ,  坂本真二 ,  吉冈翔

IPC: B24B47/22

Abstract: 本发明缩短对准动作所花费的时间，且本发明包括：切断用工作台2A、切断用工作台2B，保持设置有对准标记AM的密封完毕基板W并且能够旋转；切断机构4，将保持于切断用工作台2A、切断用工作台2B的密封完毕基板W切断；基准标记M1，设置于切断用工作台2A、切断用工作台2B，且与切断用工作台2A、切断用工作台2B的旋转中心RC的相对位置已知；以及摄像照相机24，拍摄基准标记M1及对准标记AM，使摄像照相机24相对于密封完毕基板W在一方向移动的同时拍摄对准标记AM，基于所拍摄的对准标记AM及基准标记M1，进行在一方向及与一方向正交的方向的密封完毕基板W与切断机构4的对准。

公开(公告)号：CN115052713A

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN202180012619.2

申请日：2021-01-19

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 深井元树 ,  堀聪子 ,  白井克昌 ,  东秀和

IPC: B23Q11/00 ,  B24B27/06 ,  B24B55/06 ,  B24B55/12 ,  B23Q1/48 ,  B23Q3/08 ,  B24B41/06 ,  H01L21/301

Abstract: 本发明不需要波纹罩等保护罩并且提高加工屑的回收率，且包括：加工工作台2A、加工工作台2B，至少固定于水平面上的XY方向上，对加工对象物W加以保持；加工机构3，一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工；移动机构5，使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动；以及加工屑收容部9，设置于加工工作台2A、加工工作台2B的下方，收容通过利用加工机构3的加工而产生的加工屑S。