公开(公告)号：CN117316808A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202310653639.9

申请日：2023-06-02

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 坂上雄哉 ,  渡边创 ,  吉冈翔 ,  早川海斗茂

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L33/00 ,  H01L23/12

Abstract: 本发明提供一种能够改善已成形基板的加热效率且降低已成形基板破损的可能性的翘曲矫正装置。翘曲矫正装置具备收容部、加热部、冷却部以及搬送机构。收容部收容已成形基板。加热部对已成形基板进行加热。冷却部在对已成形基板加压的状态下对已成形基板进行冷却。搬送机构将从收容部提供的已成形基板向加热部搬送，将由加热部加热的已成形基板向冷却部搬送。加热部在形成于加热部的内部空间配置有已成形基板的状态下对已成形基板进行加热。

公开(公告)号：CN119343747A

公开(公告)日：2025-01-21

申请号：CN202380045770.5

申请日：2023-03-07

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 福元康人 ,  早川海斗茂 ,  细见隆也 ,  片冈昌一 ,  今井一郎

IPC: H01L21/301 ,  B23Q17/00 ,  B23Q17/24 ,  B24B27/06 ,  B24B49/12 ,  B28D7/00

Abstract: 切断装置对切断对象物进行切断。切断装置具备工作台、切断机构和摄像装置。工作台保持切断对象物。切断机构对保持于工作台的切断对象物进行切断。摄像装置对保持于工作台的切断对象物进行拍摄。切断对象物包括在摄像装置拍摄的拍摄区域形成的多个标记。切断装置进一步具备存储部和显示部。存储部存储作为基准的多个标记中的各个标记的图像和坐标。显示部针对由摄像装置拍摄的多个标记中的各个标记，显示与存储部中存储的作为基准的多个标记中对应的标记进行比较的坐标的偏离量。

公开(公告)号：CN119768902A

公开(公告)日：2025-04-04

申请号：CN202380061616.7

申请日：2023-03-07

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 早川海斗茂 ,  渡边创 ,  吉冈翔 ,  坂上雄哉 ,  细见隆也

IPC: H01L21/50 ,  H01L21/677

Abstract: 翘曲矫正系统具备翘曲矫正装置和中继部。翘曲矫正装置矫正第一已成形基板的翘曲，制造第二已成形基板。中继部配置在翘曲矫正装置的外部的加工装置与翘曲矫正装置之间。加工装置进行第二已成形基板的加工。中继部包括第一搬送机构，该第一搬送机构从翘曲矫正装置接收第二已成形基板，并向加工装置搬送第二已成形基板。