公开(公告)号：CN111981976A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202010271789.X

申请日：2020-04-08

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 礒野早织 ,  昔根锅 ,  宫田和志 ,  高森雄大 ,  石桥干司 ,  黄善夏

IPC: G01B11/00 ,  H01L21/67 ,  B28D5/02 ,  B29C35/02

Abstract: 本发明提供一种保持构件、检查机构、切断装置、保持对象物的制造方法及保持构件的制造方法。保持构件能够高精度地进行由多个吸附孔各自吸附保持的保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件保持多个保持对象物用于光学检查，包括：保持部，设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽；以及反射部，设置在所述槽，反射率比所述保持部高；且所述反射部具有平坦的表面。

公开(公告)号：CN111981976B

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202010271789.X

申请日：2020-04-08

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 礒野早织 ,  昔根锅 ,  宫田和志 ,  高森雄大 ,  石桥干司 ,  黄善夏

IPC: G01B11/00 ,  H01L21/67 ,  B28D5/02 ,  B29C35/02

Abstract: 本发明提供一种保持构件、检查机构、切断装置、保持对象物的制造方法及保持构件的制造方法。保持构件能够高精度地进行由多个吸附孔各自吸附保持的保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件保持多个保持对象物用于光学检查，包括：保持部，设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽；以及反射部，设置在所述槽，反射率比所述保持部高；且所述反射部具有平坦的表面。