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公开(公告)号：CN101618578B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200910164640.5
申请日：2007-04-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 平田彻
CPC classification number: B29C45/263 , B29C33/3828 , B29C33/424 , B29C45/2632 , B29C2033/023 , B29C2045/2636 , Y10S425/81
Abstract: 本发明的树脂成形装置能够提高转印精度、能够降低金属模装置的成本、能够缩短成形周期。其具有第1金属模、对置于第1金属模而配设的第2金属模、将由凹凸的图案构成的转印面朝向型腔空间(C1、C2)并被安装在第1、第2金属模中的一个金属模上的转印板(34)、和配设在一个金属模与转印板(34)之间、从一个金属模及转印板(34)中的一个一侧生长而形成的隔热层(40)。由于在一个金属模与转印板(34)之间配设有隔热层(40)，所以能够抑制成形材料所具有的热能向一个金属模侧散逸。因此，能够抑制成形材料的温度急剧地变低而形成表皮层的情况，能够提高转印精度。
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公开(公告)号：CN101426630A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780014069.8
申请日：2007-04-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 平田彻
CPC classification number: B29C45/263 , B29C33/3828 , B29C33/424 , B29C45/2632 , B29C2033/023 , B29C2045/2636 , Y10S425/81
Abstract: 本发明的树脂成形装置能够提高转印精度、能够降低金属模装置的成本、能够缩短成形周期。其具有第1金属模、对置于第1金属模而配设的第2金属模、将由凹凸的图案构成的转印面朝向型腔空间(C1、C2)并被安装在第1、第2金属模中的一个金属模上的转印板(34)、和配设在一个金属模与转印板(34)之间、从一个金属模及转印板(34)中的一个一侧生长而形成的隔热层(40)。由于在一个金属模与转印板(34)之间配设有隔热层(40)，所以能够抑制成形材料所具有的热能向一个金属模侧散逸。因此，能够抑制成形材料的温度急剧地变低而形成表皮层的情况，能够提高转印精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101553349A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200780045149.X
申请日：2007-12-05
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 平田彻
CPC classification number: B29C45/37 , B29C45/263 , B29C2045/2636 , B29L2017/005
Abstract: 一种绝热模具、模具部件、成形机和绝热模具的制造方法，能缩短成形周期、使提高绝热层(25)的耐久性成为可能。具有模板和转印部件，所述转印部件安装在该模板上，在与型腔空间(C1、C2)相对的面上形成了具有细微的凹凸图案的转印面。在上述模板的与转印部件抵接的面上形成有表面致密化了的绝热层(25)。由于在模板的与转印部件抵接的面上形成了绝热层(25)，因此用绝热层(25)临时保持填充到型腔空间(C1、C2)的成形材料的温度。结果能够迟滞表面固化层的成长和发展，能够在其间完成转印面图案的转印。由于绝热层(25)的表面被致密化，因此能够使绝热层(25)的表面极其平滑。能够提高绝热层(25)的耐久性。
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公开(公告)号：CN1977144A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021421.1
申请日：2005-04-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
IPC: G01B11/00 , G01D5/38 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/68
Abstract: 本发明涉及进行高精度移动的台的状态的检测的检测装置及台装置，目的是提供一种使用容易制造的形状的基准栅格、能够检测台的5个自由度的状态、并且能够提高检测的精度的检测装置及台装置。通过具备朝向基准栅格照射光的光源部、通过多个开口部将光分光为多束光的分光机构、和对多束反射光一齐受光的受光元件的检测机构，根据多束反射光的变化检测相对基准栅格的状态。
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公开(公告)号：CN101426630B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN200780014069.8
申请日：2007-04-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 平田彻
CPC classification number: B29C45/263 , B29C33/3828 , B29C33/424 , B29C45/2632 , B29C2033/023 , B29C2045/2636 , Y10S425/81
Abstract: 本发明的树脂成形装置能够提高转印精度、能够降低金属模装置的成本、能够缩短成形周期。其具有第1金属模、对置于第1金属模而配设的第2金属模、将由凹凸的图案构成的转印面朝向型腔空间(C1、C2)并被安装在第1、第2金属模中的一个金属模上的转印板(34)、和配设在一个金属模与转印板(34)之间、从一个金属模及转印板(34)中的一个一侧生长而形成的隔热层(40)。由于在一个金属模与转印板(34)之间配设有隔热层(40)，所以能够抑制成形材料所具有的热能向一个金属模侧散逸。因此，能够抑制成形材料的温度急剧地变低而形成表皮层的情况，能够提高转印精度。
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公开(公告)号：CN101223018A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200680025480.0
申请日：2006-07-12
Applicant: 住友重机械工业株式会社
CPC classification number: B29C45/7312
Abstract: 一种成型装置，具备：第1部件；第2部件，配置在上述第1部件表面的一部分区域上，由具有比该第1部件的导热率高的导热率的材料形成，并且在朝向与该第1部件侧相反侧的表面上具有形成有成型用图形的图案面；加热器，从上述第2部件的内部侧对该第2部件的上述图案面侧的表层进行加热；以及流路，配置在上述第1部件与上述图案面之间，并流过与该第2部件之间进行热交换的热介质。
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公开(公告)号：CN101618578A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200910164640.5
申请日：2007-04-20
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 平田彻
CPC classification number: B29C45/263 , B29C33/3828 , B29C33/424 , B29C45/2632 , B29C2033/023 , B29C2045/2636 , Y10S425/81
Abstract: 本发明的树脂成形装置能够提高转印精度、能够降低金属模装置的成本、能够缩短成形周期。其具有第1金属模、对置于第1金属模而配设的第2金属模、将由凹凸的图案构成的转印面朝向型腔空间(C1、C2)并被安装在第1、第2金属模中的一个金属模上的转印板(34)、和配设在一个金属模与转印板(34)之间、从一个金属模及转印板(34)中的一个一侧生长而形成的隔热层(40)。由于在一个金属模与转印板(34)之间配设有隔热层(40)，所以能够抑制成形材料所具有的热能向一个金属模侧散逸。因此，能够抑制成形材料的温度急剧地变低而形成表皮层的情况，能够提高转印精度。
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