公开(公告)号：CN1934411A

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN200580008820.4

申请日：2005-03-17

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 高伟 ,  清野慧 ,  富田良辛 ,  田野诚

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/26 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G03F7/70716

Abstract: 本发明涉及一种通过平面电机可相对X－Y方向和旋转方向高精度动作的载物台装置，其所要解决的技术问题是要求装置小型化的同时，高精度地进行载物台相对基座的位置测定。本载物台装置设有在基座(231)上的整个表面有刻度部的刻度组件(233)，在驱动载物台部(237)的底面部设有3个2维角度传感器(14A～14C)，由刻度组件(233)和2维角度传感器(14A～14C)构成表面编码器(249)，并通过表面编码器(249)进行驱动载物台(237)的位置测定。

公开(公告)号：CN1977144A

公开(公告)日：2007-06-06

申请号：CN200580021421.1

申请日：2005-04-19

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 高伟 ,  清野慧 ,  富田良幸 ,  平田彻 ,  渡边阳司 ,  牧野健一

IPC: G01B11/00 ,  G01D5/38 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明涉及进行高精度移动的台的状态的检测的检测装置及台装置，目的是提供一种使用容易制造的形状的基准栅格、能够检测台的5个自由度的状态、并且能够提高检测的精度的检测装置及台装置。通过具备朝向基准栅格照射光的光源部、通过多个开口部将光分光为多束光的分光机构、和对多束反射光一齐受光的受光元件的检测机构，根据多束反射光的变化检测相对基准栅格的状态。