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公开(公告)号:CN117848480B
公开(公告)日:2024-07-26
申请号:CN202410034910.5
申请日:2024-01-09
Applicant: 北京控制工程研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及超精密测量技术领域,特别涉及一种隔振平台的残余振动检测装置及方法。该装置包括:控制器以及沿光路行进方向依次设置的一个激光器、一个准直镜、一个分光镜、两个光学滤波器和两个光学探测器,其中:分光镜用于对经过准直镜准直处理的平行激光进行分束,得到两个分束激光;光学滤波器用于对分束激光进行降噪处理,以使分束激光在光学探测器上形成清晰光斑;光学探测器与控制器电连接,光学探测器用于对清晰光斑进行光电转换,得到清晰光斑的位置信息,并将位置信息发送给控制器;控制器用于对位置信息进行计算,得到隔振平台的残余振动情况。本发明可以提供高精度的残余振动测量结果,同时有效降低对隔振平台残余振动的测量难度。
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公开(公告)号:CN117825008B
公开(公告)日:2024-09-13
申请号:CN202410034906.9
申请日:2024-01-09
Applicant: 北京控制工程研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及光照设备技术领域,特别涉及一种多光路光束指向测试系统及方法。该系统包括:控制器以及沿光路行进方向依次设置的多个光源、多个呈扇形排列的平行光管、一个匀光板、一个光学单元、一个光学探测器;每个光源均位于一个平行光管的入光侧;匀光板设置于平行光束的交汇处,用于接收平行光管发出的平行光束并形成照明光斑;光学单元将照明光斑成像在光学探测器上;控制器与光学探测器电连接,光学探测器对照明光斑进行光电转换,得到照明光斑的图像信息,并将图像信息发送给控制器;控制器对图像信息进行计算,得到照明光斑的位置偏差。装调人员根据位置偏差调整平行光管。本发明可以提供高精度的测量结果,同时有效提高光管装调效率。
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公开(公告)号:CN117825008A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202410034906.9
申请日:2024-01-09
Applicant: 北京控制工程研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及光照设备技术领域,特别涉及一种多光路光束指向测试系统及方法。该系统包括:控制器以及沿光路行进方向依次设置的多个光源、多个呈扇形排列的平行光管、一个匀光板、一个光学单元、一个光学探测器;每个光源均位于一个平行光管的入光侧;匀光板设置于平行光束的交汇处,用于接收平行光管发出的平行光束并形成照明光斑;光学单元将照明光斑成像在光学探测器上;控制器与光学探测器电连接,光学探测器对照明光斑进行光电转换,得到照明光斑的图像信息,并将图像信息发送给控制器;控制器对图像信息进行计算,得到照明光斑的位置偏差。装调人员根据位置偏差调整平行光管。本发明可以提供高精度的测量结果,同时有效提高光管装调效率。
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公开(公告)号:CN117848480A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202410034910.5
申请日:2024-01-09
Applicant: 北京控制工程研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及超精密测量技术领域,特别涉及一种隔振平台的残余振动检测装置及方法。该装置包括:控制器以及沿光路行进方向依次设置的一个激光器、一个准直镜、一个分光镜、两个光学滤波器和两个光学探测器,其中:分光镜用于对经过准直镜准直处理的平行激光进行分束,得到两个分束激光;光学滤波器用于对分束激光进行降噪处理,以使分束激光在光学探测器上形成清晰光斑;光学探测器与控制器电连接,光学探测器用于对清晰光斑进行光电转换,得到清晰光斑的位置信息,并将位置信息发送给控制器;控制器用于对位置信息进行计算,得到隔振平台的残余振动情况。本发明可以提供高精度的残余振动测量结果,同时有效降低对隔振平台残余振动的测量难度。
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