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实用新型
一种激光精密修调装置失效

公开(公告)号：CN202229781U

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201120345468.6

申请日：2011-09-15

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 廖兴才 , 郑辛 , 杨军 , 刘迎春 , 王汝弢 , 张兢

IPC: G01D18/00

Abstract: 本实用新型属于石英传感器精密修调技术领域，具体涉及一种激光精密修调装置，目的是提供一种适用于石英传感器敏感结构精密修调、能有效抑制机械耦合的装置。它包括激光器(1)、激光光学传输装置(2)、光束扫描装置(3)、视觉观察对准装置(4)和控制装置(5)；激光器(1)与控制装置(5)连接，激光光学传输装置(2)放置在激光器(1)发出的激光脉冲的光路上；光束扫描装置(3)与控制装置(5)连接，放置在激光脉冲的光路上、激光光学传输装置(2)的后侧；视觉观察对准系统放置在激光光学传输装置(2)的后侧。本实用新型的装置能够实现石英传感器敏感结构的修调，能够将机械耦合降低2～3个数量级，有效抑制机械耦合。

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