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公开(公告)号：CN119038487A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411142677.9
申请日：2024-08-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种高真空封装方法，所述封装方法由于没有镀制保护层，不需要吸气剂高温激活，同时吸气剂在加工完成后没有暴露过大气，未吸附大气中的水汽等杂质气体，提高了器件封装的真空度，减少了器件内部的杂质气体，提高了器件的封装真空度及保持时间，提高了器件的封装可靠性。
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公开(公告)号：CN117961366A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311644662.8
申请日：2023-12-04
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B23K37/00
Abstract: 本发明提供一种用于MEMS器件的快速封焊装置，该装置包括温控模块；石墨工装；压力控制系统，包括配重支撑板，与多个定位槽一一对应设置的多个配重柱，与多个配重柱一一对应设置的多个弹性件和弧形阵列盖板组件，多个配重柱均穿设在所述配重支撑板上，多个配重柱与多个MEMS器件一一对应设置，任意所述配重柱上开设有空腔，所述弹性件放置在对应空腔内，所述弧形阵列盖板组件由弧形阵列盖板和多个施力柱组成，所述弧形阵列盖板凸起的一面朝向所述配重柱设置，多个施力柱设置在所述弧形阵列盖板凸起的一面上，且由中心向外围，所述施力柱的长度呈增大趋势；多个施力柱与多个配重柱一一对应设置，所述施力柱置于对应配重柱空腔内，以对弹性件施加压力。
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公开(公告)号：CN112964242B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202110195663.3
申请日：2021-02-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种石英音叉陀螺表头机械耦合误差测试系统及测试方法，该误差测试系统包括石英音叉陀螺表头、安装支架、至少一个机械振动单元、信号采集单元和控制单元，石英音叉陀螺表头与机械振动单元均设置在安装支架上，机械振动单元用于产生机械振动并通过安装支架将机械振动传递给石英音叉陀螺表头，以使石英音叉陀螺表头产生振动并输出驱动模态响应信号和检测模态响应信号。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中机械耦合误差测试系统的测试设备昂贵、存在电信号干扰、测量精度低的技术问题。
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公开(公告)号：CN111964690A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010678964.7
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种石英音叉陀螺表头筛选测试装置，包括工装外壳结构(2)、表头安装支架(12)、测控电路(4)、减振组件、锁紧组件、圆孔插座、柔性金属带。石英音叉陀螺表头(1)通过锁紧组件安装在表头安装支架(12)上，所述表头安装支架(12)通过金属带(6)与测控电路(4)的电源地信号连接。所述表头安装支架(12)通过减振组件实现同工装外壳结构(2)的固连。在表头安装支架(12)对应表头对外引线位置处进行开孔，孔内布置圆孔插座，表头引线插入圆孔插座，圆孔插座引线端通过柔性金属带与测控电路(4)连接。本发明用于石英音叉陀螺表头筛选，有效抑制了测试的干扰误差，提高了测试效率。
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公开(公告)号：CN111964655A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010679375.0
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5614 , G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种石英音叉陀螺仪数字驱动电路，包括驱动检测电路(2)、驱动信号调理电路(3)、处理器电路(4)、驱动信号调理电路(5)；所述驱动检测电路(2)用于将石英音叉传感器(1)由压电效应产生表征驱动叉指位移量的电荷信号转换为电压信号，输出驱动位移信号(11)；所述驱动信号调理电路(3)用于将驱动位移信号(11)转换为电平与处理器(4)电平相匹配的驱动检测信号(12)；所述处理器电路(4)实现驱动幅值的自动增益控制，产生与驱动位移信号(11)同频率的驱动控制信号(16)；所述驱动信号调理电路(5)生成驱动石英音叉传感器的驱动信号(17)。本发明实现了驱动电路小体积、低功耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110482483A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910724030.X
申请日：2019-08-07
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种用于MEMS器件的敏感结构贴片系统及方法，该系统包括管壳定位装置、撞针式点胶装置、自动贴片装置和配重单元，管壳定位装置用于定位安装MEMS器件的管壳，撞针式点胶装置用于向MEMS器件的管壳施加设定量的贴片胶，自动贴片装置包括敏感结构拾取单元、图像采集单元和控制单元，图像采集单元用于采集敏感结构的图片，控制单元根据敏感结构的图片控制敏感结构拾取单元拾取敏感结构并将敏感结构放置在管壳设定位置，配重单元用于向放置在管壳上的敏感结构施加设定压力以实现敏感结构与管壳的紧密贴合。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中敏感结构贴片精度差、效率低及点胶胶量一致性差的技术问题。
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公开(公告)号：CN119642856A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411777741.0
申请日：2024-12-05
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供一种石英传感器测试装置，石英传感器通过紧固件和簧片固定安装在支架上，支架通过内嵌尾部焊针与测控电路实现信号连接，测控电路通过紧固件和减振器组件同底板固连，实现整体减振，隔离信号干扰，支架对应传感器管脚位置孔内采用平顶、柔性导电材料和焊针结构，传感器管脚插入支架对应引线孔内，压缩平顶和柔性导电材料实现稳定连接，焊针与测控电路信号相连，支架中屏蔽板与电源信号地连接，实现信号屏蔽。本发明用于石英传感器测试筛选，减少干扰、提高了测试稳定性和准确性，拆卸方便，易于更换。
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公开(公告)号：CN117990315A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311718751.2
申请日：2023-12-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明提供一种双自由度旋转叠加振动工装，该振动工装包括基座；主体结构，所述主体结构设置在所述基座上，所述主体结构包括外圈轴承组件、内圈轴承组件、惯测安装平台、惯测组合以及压环，本发明能够真实还原惯测组合在旋转状态和振动应力共同作用下的实际载荷工况。同时该振动工装还可以同时满足三个方向的随机振动试验，提高试验效率。
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公开(公告)号：CN115728517B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202211423060.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括：转接底座；平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板，均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接，并且在需要进行平面轴向测试时，所述平面轴向测试安装板与转接底座连接；在需要进行Z轴测试时，所述Z轴测试安装板与转接底座连接；测试电路安装板；所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上，所述测试电路安装板具有镂空通孔c，沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔，测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性，使得测试流程得以简化，极大的提高了测试效率，且精度得以提高。
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公开(公告)号：CN117589140A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311219341.3
申请日：2023-09-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种陀螺敏感结构模态配置方法，包括一、获取敏感结构的模态分布，将驱动和检测模态固有频率均提高至大于设定倍数的环境干扰振动的频率；二、设计同步耦合杠杆以提高同向运动模态，以使同向运动模态频率均高于驱动和检测模态固有频率的设定大小；三、调整驱动模态与检测模态分别是第一阶模态与第二阶模态；四、调整驱动和检测关键弹簧梁参数，在模态匹配状态下，使驱动模态的固有频率等于检测模态的固有频率；在非模态匹配状态下，使检测模态的固有频率要高于驱动模态固有频率的设定大小。本发明能够快速、全面且有效的完成陀螺敏感结构模态配置，使得陀螺工作能够在理想的频率上，提高微机械陀螺结构的环境适应性。
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