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公开(公告)号：CN112577985A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202010931769.0
申请日：2020-09-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01N23/20091
Abstract: 本发明包括一种用于减少显微试样的EDS分析中的拓扑伪影的方法、以及一种电子显微镜系统和一种计算机程序产品。该方法是用电子显微镜系统执行的，其包括：生成电子束的电子柱；扫描系统；检测X射线信号的EDS检测器；固持该试样的可移动台，该台被配置为至少沿轴线x和y移动和绕旋转轴线旋转，该台被配置为执行计算中心旋转和/或同心旋转。该方法包括以下步骤：a)选择试样上的相关区域(ROI)，同时将该ROI相对于EDS检测器保持在第一取向；b)执行第一EDS分析，获得结果A；c)使该试样台绕该旋转轴旋转角度α，使得将该ROI相对于该EDS检测器保持在第二取向；d)补偿试样台旋转；e)执行第二EDS分析，获得结果B；f)合并结果A和结果B。
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公开(公告)号：CN112577986B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202011036541.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号：CN115931940A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211210551.1
申请日：2022-09-30
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/22
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统，该粒子束系统包括粒子束柱、检测系统40和控制器30。该粒子束柱被配置用于产生粒子束并将其引导到样品上，由此该样品发射带电粒子41。该检测系统40用于检测这些带电粒子41并且包括可以使带电粒子41加速的电极E、向电极E施加可调电势的电势源42、闪烁体43、和输出检测信号的光检测器44。该控制器30控制该电势源42并且被配置为基于该检测信号来改变电势，使得该闪烁体43在其饱和之外操作并且使得该光检测器44在其饱和之外操作。
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公开(公告)号：CN109256312B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201810762251.1
申请日：2018-07-12
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Abstract: 本发明涉及原位制备用于电子显微镜研究的显微镜样本的方法。所述方法借助粒子束设备实施，所述粒子束设备包括用于产生聚焦的带电粒子束的粒子束柱；用于承接样本块的样本支座和用于探测粒子束与样本材料之间相互作用的相互作用产物的探测器。所述方法包括步骤：a)提供具有裸露结构的样本块，所述裸露结构包括感兴趣的样本区域(ROI)；b)通过粒子束的作用在裸露结构中产生弯折棱边，从而使裸露结构的至少一部分朝向入射的粒子束变形；c)移动承接样本块的样本支座，使得包括在变形结构中的样本区域能够在粒子束设备中被观察和/或被加工。
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公开(公告)号：CN112577986A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011036541.1
申请日：2020-09-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: G01N23/2252
Abstract: 一种EDX方法，包括：基于x射线辐射检测器的输出，生成具有多个图像元素的图像；向每个图像元素分配至少一组化学元素和这些化学元素的相对比例；确定两个图像元素子集；确定两个过滤器，这些过滤器从该图像元素的该组化学元素中选择预定子集；利用该第一过滤器和该第二过滤器分别过滤该图像元素的这些化学元素；基于过滤后的化学元素子集确定这些图像元素的代表性特征；以及使用这些代表性特征在显示设备上表示该图像元素。
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公开(公告)号：CN109256312A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201810762251.1
申请日：2018-07-12
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: H01J37/20 , G01N1/286 , H01J37/28 , H01J37/3053 , H01J37/3056 , H01J37/31 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , G01N1/28
Abstract: 本发明涉及原位制备用于电子显微镜研究的显微镜样本的方法。所述方法借助粒子束设备实施，所述粒子束设备包括用于产生聚焦的带电粒子束的粒子束柱；用于承接样本块的样本支座和用于探测粒子束与样本材料之间相互作用的相互作用产物的探测器。所述方法包括步骤：a)提供具有裸露结构的样本块，所述裸露结构包括感兴趣的样本区域(ROI)；b)通过粒子束的作用在裸露结构中产生弯折棱边，从而使裸露结构的至少一部分朝向入射的粒子束变型；c)移动承接样本块的样本支座，使得包括在变型结构中的样本区域能够在粒子束设备中被观察和/或被加工。
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