公开(公告)号：CN117396998A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202280038238.6

申请日：2022-05-09

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： M·本克 ,  U·比尔 ,  C·里德塞尔 ,  A·托马 ,  D·蔡德勒

IPC: H01J37/28

Abstract: 本发明揭示一种多束带电粒子系统及设定多束带电粒子系统的工作距离WD的方法。运用该方法，通过从预定校准参数值计算部件的参数值来调整工作距离，同时维持晶圆检查任务的成像性能。即使用具有与多束带电粒子系统光轴平行的固定z位置的晶圆台，该方法允许进行快速晶圆检查任务。

公开(公告)号：CN118103941A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202280068474.2

申请日：2022-08-26

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： C·里德塞尔

IPC: H01J37/153

Abstract: 提供了一种配置用于对波前像差进行决定与补偿的改良方法的多束带电粒子显微镜。采用变化元件，所述波前像差幅度被间接决定并以正规化灵敏度单位转换。采用本发明，可采用与该变化元件不同的补偿元件以补偿所述波前像差。例如，所述正规化灵敏度单位可由改良校正方法来决定。