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公开(公告)号：CN117396998A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202280038238.6
申请日：2022-05-09
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/28
Abstract: 本发明揭示一种多束带电粒子系统及设定多束带电粒子系统的工作距离WD的方法。运用该方法，通过从预定校准参数值计算部件的参数值来调整工作距离，同时维持晶圆检查任务的成像性能。即使用具有与多束带电粒子系统光轴平行的固定z位置的晶圆台，该方法允许进行快速晶圆检查任务。
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