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发明公开
具有动态控制的高通过量多束带电粒子检查系统审中-实审

公开(公告)号：CN115699245A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180039305.1

申请日：2021-04-29

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 , U.比尔 , A.阿道夫 , N.考夫曼 , I.穆勒 , M.本克

IPC: H01J37/28 , H01J37/26 , H01J37/20

Abstract: 提供了一种多束带电粒子检查系统和一种操作多束带电粒子检查系统的方法，用于具有高通过量和高分辨率以及高可靠性的晶片检查。该方法和多束带电粒子束检查系统配置成从多个传感器数据中提取一组控制信号来控制多束带电粒子束检查系统，从而维持成像规范，包括在晶片检查任务期间晶片台的移动。特别地，该系统操作为使得时间间隔Tr与图像采集的时间间隔Ts1和/或Ts2重叠。

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