公开(公告)号：CN115699245A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180039305.1

申请日：2021-04-29

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  U.比尔 ,  A.阿道夫 ,  N.考夫曼 ,  I.穆勒 ,  M.本克

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/26 ,  H01J37/20

Abstract: 提供了一种多束带电粒子检查系统和一种操作多束带电粒子检查系统的方法，用于具有高通过量和高分辨率以及高可靠性的晶片检查。该方法和多束带电粒子束检查系统配置成从多个传感器数据中提取一组控制信号来控制多束带电粒子束检查系统，从而维持成像规范，包括在晶片检查任务期间晶片台的移动。特别地，该系统操作为使得时间间隔Tr与图像采集的时间间隔Ts1和/或Ts2重叠。

公开(公告)号：CN114762075A

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202080082331.8

申请日：2020-11-24

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： S.舒伯特 ,  D.舒马赫 ,  E.埃塞尔斯 ,  I.穆勒 ,  A.托马 ,  J.雅各比 ,  W.波辛格 ,  D.蔡德勒

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明关于粒子束系统，特别是多束粒子显微镜，其包含多束偏转装置且包含束终止器，且本发明关于用以操作粒子束系统的相关方法及相关的计算机程序产品。在此情况下，多束偏转装置配置在粒子束系统的多束产生器下游和束开关上游的粒子光学束路径中。多束偏转装置用于多个带电的个别粒子束的集体遮蔽。这些撞击在束终止器上，该束终止器配置在粒子光学束路径中、与粒子束直径减小或为最小值的位置齐平。举例来说，这些位置为个别粒子束的交叉平面或中间像平面。