公开(公告)号：CN107192730A

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201610390032.6

申请日：2016-06-03

Applicant: 台湾电镜仪器股份有限公司

Inventor： 陈福荣 ,  黄祖纬 ,  刘铈谊 ,  陈宜君 ,  陈志玮 ,  曾英硕 ,  黄钰珊 ,  林信余 ,  方建闵 ,  徐金良 ,  杨丽巧

IPC: G01N23/225

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/202 ,  G01N23/225

Abstract: 一种电子显微镜，包含：带电粒子束产生器、检测器、薄膜以及承载单元。带电粒子束产生器是用以产生第一带电粒子束以轰击待测物。检测器是用以检测来自待测物的第二带电粒子以形成影像。薄膜是设置于带电粒子束产生器的下游侧，且具有第一表面以及第二表面，其中带电粒子束产生器及薄膜的第一表面之间为真空环境。承载单元是设置于薄膜的第二表面侧，且具有承载表面以及背面，其中待测物设置于承载单元的承载表面，使待测物的待测表面与薄膜的距离小于预定间距，且待测表面与薄膜之间具有液体空间，以充填液体。