公开(公告)号：CN108463345A

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201680077987.4

申请日：2016-11-16

Applicant: 阔斯泰公司

Inventor： M.辛普森 ,  R.迪瓦卡 ,  A.费勒

IPC: B32B18/00 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  C23C14/56 ,  C23C16/44 ,  C23C16/458 ,  C04B35/645

CPC classification number: H01J37/32477 ,  B32B18/00 ,  C04B35/10 ,  C04B35/50 ,  C04B35/505 ,  C04B35/581 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62675 ,  C04B35/645 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3229 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3427 ,  C04B2235/3847 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/3891 ,  C04B2235/3895 ,  C04B2235/442 ,  C04B2235/445 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/721 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/788 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9607 ,  C04B2235/9661 ,  C04B2235/9669 ,  C04B2235/9692 ,  C04B2237/062 ,  C04B2237/064 ,  C04B2237/122 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/341 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/36 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/368 ,  C04B2237/403 ,  C04B2237/567 ,  C04B2237/68 ,  C04B2237/704 ,  C04B2237/708 ,  C23C14/564 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/46 ,  H01J37/32119 ,  H01J37/3244 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/3341 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/6719

Abstract: 一种耐腐蚀组件(100)，其配置成与半导体加工反应器一起使用，所述耐腐蚀组件包括：a)陶瓷绝缘基底(110)；和，b)与所述陶瓷绝缘基底结合的耐腐蚀无孔层(120)，所述耐腐蚀无孔层具有包括基于耐腐蚀无孔层的总重量的至少15重量％的稀土化合物的组成；并且，所述耐腐蚀无孔层的特征在于基本上不含微裂纹和裂隙的显微结构和具有至少约100nm且至多约100μm的平均晶粒尺寸。还公开了包括耐腐蚀组件的组装体和制造方法。

公开(公告)号：CN107636791A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680030066.2

申请日：2016-08-11

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 赵福来 ,  安商丁 ,  薛仁皓

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/16 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/36 ,  G02B21/361 ,  H01J37/165 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2808 ,  H01J2237/2855

Abstract: 本发明涉及一种粒子及光学装置用真空样品室，所述粒子及光学装置用真空样品室在一面设置有粒子束入射的孔径(aperture)，粒子束沿着电子、离子、中性粒子等粒子光轴聚焦，在其相对面设置有光透过的可拆卸式样品支持器，通过粒子束和光可以对样品进行观测或分析，并且实现一种样品室及具备所述样品室的光学-电子融合显微镜，其在样品出入电子显微镜或聚焦离子束观察装置的样品室时，也保持样品室内部真空，从而缩短观察时间，没有将光源或光学镜筒插入于样品室内部，而是可以从外部获得光学影像。

公开(公告)号：CN102341884B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201080010765.3

申请日：2010-03-05

Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司

Inventor： 卢卡·波皮 ,  保罗·贝尔代蒂

IPC: H01J33/04 ,  H01J5/18 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J9/263 ,  B23K20/02 ,  H01J5/18 ,  H01J9/24 ,  H01J33/04 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/166 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/13

Abstract: 本发明涉及用于组装电子束产生装置的电子出射窗的方法，包括步骤：在该电子束产生装置的外壳上布置箔托板(208)，沿着至少一条连续的结合线(218)将窗箔(206)结合到框架(214)上，从而形成出射窗子组件(216)，且连接该出射窗子组件(216)到该外壳上。本发明也涉及电子出射窗组件。

公开(公告)号：CN100585795C

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200610057675.5

申请日：2006-02-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 李可凌 ,  栗田伸一 ,  伊曼纽尔·比尔

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/20 ,  C23C14/00 ,  C23C16/00 ,  C23F4/00 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

CPC classification number: F16K3/0227 ,  F16K51/02 ,  H01J37/32844 ,  H01J2237/166 ,  H01L21/67126 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605 ,  Y10S277/919 ,  Y10S277/92 ,  Y10T137/8242

Abstract: 本发明提供了一种用于接地室隔离阀的方法和装置。一般地，该方法利用(多个)导电性弹性构件，以有效地接地室隔离阀和/或隔离阀门，同时避免处理系统中的移动组件之间的金属-金属接触。在一个实施例中，弹性构件固定地附接到室隔离阀的门并且与该门电导通。当门在关闭位置(即在等离子体处理室中的衬底处理期间)时，弹性构件与等离子体处理系统的被接地组件进行接触。在另一实施例中，导电弹性构件附接到隔离阀上，而当支柱构件在衬底处理期间被布置以保持隔离阀门于合适位置时，其开始与等离子体处理系统的被接地组件接触。还提供了其他构造。

公开(公告)号：CN106252184A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201610394736.0

申请日：2016-06-06

Applicant: 东芝电子管器件株式会社

Inventor： 高桥直树 ,  下野隆 ,  阿武秀郎

IPC: H01J35/06

CPC classification number: H01J35/165 ,  H01J1/18 ,  H01J5/22 ,  H01J5/26 ,  H01J19/48 ,  H01J19/60 ,  H01J19/66 ,  H01J29/90 ,  H01J29/92 ,  H01J35/06 ,  H01J2235/023 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/166 ,  H01J2893/0008 ,  H05G1/10

Abstract: 一种X射线管，包括：具有灯丝的阴极；阳极靶；以及真空管壳。所述阴极具有：金属制的引线支承体，该引线支承体构成所述真空管壳的一部分且向所述真空管壳的外部露出，并且安装成使得向所述灯丝通电的引线贯通所述真空外围器的内部侧与外部侧；以及金属制的灯丝支承体，该灯丝支承体以接触所述引线支承体的方式固定于所述引线支承体，且对所述灯丝进行支承。

公开(公告)号：CN102947916B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201180026469.7

申请日：2011-05-26

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·李 ,  威廉·狄佛吉利欧 ,  史蒂夫·德拉蒙

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/20214

Abstract: 本发明公开一种工件扫描系统，具有围绕第一轴线转动的扫描臂(202)和围绕用于选择性地固定工件的第二轴线可转动地连接到扫描臂的冷冻端部效应器(206)。冷冻端部效应器具有夹板(212)和用以冷却夹板的一个或多个冷却机构。轴承沿着第二轴线设置并且将端部效应器以能够转动地连接至扫描臂，和密封件沿着第二轴线设置，以在外部环境和内部环境之间提供压力屏障。轴承和/或密封可以具有与其相关联的铁磁流体。加热器组件靠近轴承和密封件设置，其中加热器组件配置成选择性地提供预定量的热量到轴承和密封件，从而增加端部效应器围绕第二轴线转动的倾向。

公开(公告)号：CN103858204A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201280048835.3

申请日：2012-09-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南祐介 ,  许斐麻美 ,  伊东祐博 ,  大泷智久 ,  河西晋佐

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/226 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2608

Abstract: 本发明提供能使用便利性良好地利用带电粒子技术及光学技术可靠地对试样进行检查或观察的检查装置、观察装置。检查或观察装置具备：第一框体(7)，其形成第一空间(11)的至少一部分，该第一空间(11)构成从带电粒子照射部放出的一次带电粒子线到达试样期间的至少一部分的区域且能维持成真空状态；第二框体(121)，其设于该第一框体(7)，形成能收纳所述试样的第二空间(12)的至少一部分；隔壁部(10)，其配置于从所述带电粒子照射部照射出的一次带电粒子线向试样上照射时的所述带电粒子照射部的同轴上，将所述第一空间与所述第二空间隔开；光学式观察部，其对所述试样照射光，从与所述带电粒子照射部相同的方向检测来自所述试样的光。

公开(公告)号：CN102804328A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201080028969.X

申请日：2010-06-18

Applicant: 特温克里克技术公司

Inventor： G.里丁 ,  T.H.斯米克 ,  K.珀泽 ,  J.D.吉莱斯皮 ,  H.格拉维什

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  F16J15/00 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/082 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202

Abstract: 一种用于使硅从硅晶片剥落的氢离子植入器使用大的扫描轮(14)，所述扫描轮在其周缘周围承载50+个晶片并且绕着轴线旋转。在一个实施方式中，轮的旋转轴线固定，并且氢离子的带状束(101)在轮的周缘上指向下方。带状束在轮上的晶片的整个径向宽度上方延伸。束是由离子源(16)生成的，离子源提供具有至少100mm主截面直径的提取带状束。离子源可以使用无芯鞍形类型的线圈(112、112a-c)，以便提供约束离子源中的等离子体的均匀场。带状束可以穿过90度弯曲的磁体(17)，所述磁体在带状平面中弯曲所述束。

公开(公告)号：CN102753727A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201180006900.1

申请日：2011-03-30

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 米泽亮太 ,  高桥哲朗 ,  大崎良规 ,  铃木公贵 ,  齐藤智博 ,  山下润 ,  佐藤吉宏 ,  盐泽俊彦 ,  山崎幸一 ,  古木和弘

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/50 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/3222 ,  H01J2237/166

Abstract: 在电介质板（28）和盖部件（13）的支撑部（13a）之间具有环状的O型环（29a），并且在该O型环（29a）的外周侧设置有用于在处理容器（1）的上部配置的盖部件（13）的支撑部（13a）和电介质板（28）之间形成缝隙（d）的垫片（60）。即使处理容器（1）内的等离子体的热导致盖部件（13）和电介质板（28）热膨胀，通过缝隙（d），盖部件（13）和电介质板（28）也不会接触、摩擦，能够防止电介质板（28）的破损和颗粒的产生。

公开(公告)号：CN1892980A

公开(公告)日：2007-01-10

申请号：CN200610057675.5

申请日：2006-02-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 李可凌 ,  栗田伸一 ,  伊曼纽尔·比尔

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/20 ,  C23C14/00 ,  C23C16/00 ,  C23F4/00 ,  H05H1/46 ,  H01J37/32

CPC classification number: F16K3/0227 ,  F16K51/02 ,  H01J37/32844 ,  H01J2237/166 ,  H01L21/67126 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605 ,  Y10S277/919 ,  Y10S277/92 ,  Y10T137/8242

Abstract: 本发明提供了一种用于接地室隔离阀的方法和装置。一般地，该方法利用(多个)导电性弹性构件，以有效地接地室隔离阀和/或隔离阀门，同时避免处理系统中的移动组件之间的金属－金属接触。在一个实施例中，弹性构件固定地附接到室隔离阀的门并且与该门电导通。当门在关闭位置(即在等离子体处理室中的衬底处理期间)时，弹性构件与等离子体处理系统的被接地组件进行接触。在另一实施例中，导电弹性构件附接到隔离阀上，而当支柱构件在衬底处理期间被布置以保持隔离阀门于合适位置时，其开始与等离子体处理系统的被接地组件接触。还提供了其他构造。