公开(公告)号：CN106057619B

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201610215069.5

申请日：2016-04-08

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： R.M.特罗姆普

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2809 ,  H01J2237/2826

Abstract: 实施例针对一种用于生成样品的校正图像的信息处理系统。该系统包括：探测器；存储器，该存储器可通信地耦合到探测器；以及后探测图像处理器，该后探测图像处理器可通信地耦合到存储器和探测器。配置该探测器，以探测多个运动粒子的数据，其中多个运动粒子的数据对应于样品的未校正图像，并且其中未校正图像包括散焦、像散和球面像差。配置后探测图像处理器，以至少部分地根据对多个运动粒子的探测数据的处理，生成样品的校正图像。

公开(公告)号：CN106057619A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201610215069.5

申请日：2016-04-08

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： R.M.特罗姆普

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2809 ,  H01J2237/2826 ,  H01J37/24 ,  H01J2237/221

Abstract: 实施例针对一种用于生成样品的校正图像的信息处理系统。该系统包括：探测器；存储器，该存储器可通信地耦合到探测器；以及后探测图像处理器，该后探测图像处理器可通信地耦合到存储器和探测器。配置该探测器，以探测多个运动粒子的数据，其中多个运动粒子的数据对应于样品的未校正图像，并且其中未校正图像包括散焦、像散和球面像差。配置后探测图像处理器，以至少部分地根据对多个运动粒子的探测数据的处理，生成样品的校正图像。