公开(公告)号：CN103560067B

公开(公告)日：2018-05-15

申请号：CN201310194422.2

申请日：2013-05-23

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： B.布伊塞

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及供电子显微镜中使用的相位板，更具体来说涉及泽尔尼克类型相位板。这种相位板包括中心孔以及引起经过所述膜的电子的相移的薄膜。这个相移使CTF从正弦状函数改变成余弦状函数。这个现有技术类型相位板的一个缺点在于，许多电子通过相位板从射束散射。这个现有技术相位板的另一个缺点在于，对于其中余弦状函数呈现最小数的频率范围，相位板的使用实际上使CTF降级，因为正弦状函数呈现最大数。因此，按照本发明的相位板配备有采取由薄得多的膜(30)所承载的环带(32)形式的膜。因此，仅在小空间频率范围(对于低频率)，改变相位(并且因此改变CTF)，以及对于其它空间频率，相移是可忽略的，并且因而CTF 300保持不变。由于承载膜30的小得多的厚度，散射也是可忽略的。

公开(公告)号：CN104267426B

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201410449770.4

申请日：2014-09-04

Applicant: 北京大学软件与微电子学院无锡产学研合作教育基地 ,  北京大学

Inventor： 刘鹏 ,  张大成 ,  王玮 ,  田大宇 ,  杨芳 ,  罗葵 ,  戴小涛 ,  李婷 ,  王颖 ,  李静 ,  时广轶

IPC: G01T1/29 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/24521

Abstract: 本发明提出了一种电子束斑的测量方法和设备。所述测量方法包括：准备第一基片，在所述第一基片上形成悬置的光刻胶层，并且在第一基片与光刻胶层相对的另一侧上形成检测窗口；准备第二基片，在所述第二基片上形成背腔结构；将第二基片的背腔结构入口一侧与第一基片的光刻胶一侧固定，并且将检测窗口与背腔结构入口对准；将待测电子束以一定的路径角θ单次扫过检测窗口，对光刻胶层进行背向曝光，其中所述路径角是电子束扫描方向与检测窗口长度方向的夹角；以及对光刻胶进行显影，并且测量光刻胶沿扫描方向的图形长度L，利用下式计算电子束束斑直径d：d＝L·tanθ‑W/cosθ。

公开(公告)号：CN104285272B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280070267.7

申请日：2012-12-19

Applicant: 安特卫普大学

Inventor： J·费尔贝克 ,  G·范腾德罗

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/04 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/101 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/1504 ,  H01J2237/24557 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/2614

Abstract: 一种用于向沿带电粒子束发生装置中的轴(105)传播的带电粒子波施加轨道角动量的设备(100)，所述设备包括：包括绕所述轴(105)安排的多个在角度上间隔开的多个电导体(112)的第一导电元件(110)；第二导电元件(120)，其中所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)沿所述轴(105)的方向间隔开，并且其中所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)适于透射沿所述轴(105)传播的带电粒子波；以及用于在所述第一导电元件(110)和所述第二导电元件(120)上提供电势差的连接装置(130)。所述连接装置(130)适于向所述多个在角度上间隔开的电导体(112)提供电势，以在所述带电粒子波沿所述轴(105)传送时感应出所述带电粒子波的相位的角梯度，其中所述电势沿所述轴(105)的投影根据相对于所述轴(105)的角位置而变化。

公开(公告)号：CN105529235A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201510677465.5

申请日：2015-10-16

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  F.M.H.M.范拉亚霍文 ,  F.博霍贝 ,  R.肖恩马克斯 ,  P.C.蒂伊梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜。一种带电粒子显微镜，包括：-样本保持器，用于保持样本；-源，用于产生带电粒子射束；-照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；-检测器，用于检测响应于所述辐照而从样本发出的辐射通量；该照射器包括：-孔隙板，其包括在所述射束的路径中的孔隙区域，用于在射束撞击所述样本之前限定射束的几何形状，其中所述孔隙区域包括多个孔的分布，每个孔小于入射在所述孔隙板上的射束的直径。

公开(公告)号：CN104217910A

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201410170093.2

申请日：2014-04-25

Applicant: FEI公司 ,  马克斯·普朗克索赔科学公司

Inventor： B.布伊吉塞 ,  R.S.达内韦

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明涉及在透射电子显微镜（100）中使用相位片（118）的方法，所述相位片包括薄膜，所述方法包括：在所述透射电子显微镜中引入所述相位片；通过用聚焦的电子束照射所述薄膜来准备所述相位片；在所述透射电子显微镜中引入样品（108）；以及通过使用所准备的相位片来形成所述样品的图像，其特征在于：准备所述相位片涉及通过用聚焦的电子束照射所述相位片来局部地构建由所述薄膜的所述电子结构中的改变引起的真空势，所述真空势导致具有比在所述未照射的薄膜处更小的值的绝对相移。优选地加热所述相位片以避免污染。用该相位片实现的所述相移可以通过使所述照射的斑点的所述直径变化来调谐。

公开(公告)号：CN101510492B

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN200910006670.3

申请日：2009-02-13

Applicant: FEI公司

Inventor： P·C·蒂梅杰 ,  A·F·德琼

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明涉及具有像差校正器和相位板的透射电子显微镜(TEM)。本发明涉及一种具有用于改善图像质量的校正器(330)和用于改善对比度的相位板(340)的TEM。经改善的TEM包括被完全置于物镜与相位板之间的校正系统，并且使用校正器的透镜在相位板上形成衍射平面的放大图像。

公开(公告)号：CN102376516A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN201110222290.0

申请日：2011-08-04

Applicant: FEI公司

Inventor： G.C.范霍夫滕 ,  J.洛夫 ,  F.J.P.舒尔曼斯 ,  M.A.W.斯特克伦堡 ,  R.亨德森 ,  A.R.法鲁奇 ,  G.J.麦克穆兰 ,  R.A.D.图尔切塔 ,  N.C.古里尼

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01L27/146

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。

公开(公告)号：CN101499398A

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200810181897.7

申请日：2008-11-21

Applicant: FEI公司

Inventor： A·亚库谢夫斯卡 ,  E·索尔蒂 ,  U·鲁肯 ,  B·弗赖塔格

IPC: H01J37/00 ,  G01N23/04

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2809

Abstract: 本发明揭示了用于扫描透射电子显微镜(STEM)的方法。在STEM中，用电子聚焦束(2)扫描样本(1)。跨接直径(3)能低到0.1nm。本领域普通技术人员了解，跨接直径取决于射束的孔径半角α。因此，为了获得最佳分辨率，选取跨接直径R(α)最小处的孔径半角。然而，对于厚样本而言，在样本远离跨接平面那些部分的分辨率被射束的会聚限制，从而产生了在样本表面的射束直径D。根据本发明，孔径角被选取，用以通过选择小于最佳孔径半角的孔径半角来平衡会聚和跨接直径的作用。然后射束有效地扫描样本，该射束具有在与透射粒子必须穿过的样本材料的长度L相等的长度范围内基本恒定的直径。

公开(公告)号：CN100524601C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN02822953.3

申请日：2002-10-04

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： 德洛·希米什

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/263 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221

Abstract: 本发明提供了用于在第一方向中自动对准带电颗粒束与孔的方法。从而，束被偏转向孔的两个边缘。从获得消光所需的信号计算一校正偏转场。进而，提供了用于自动对准带电颗粒束与光轴的方法。从而引入散焦，且基于引入的图象移动计算的一信号施加到偏转单元。进而，提供了散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于测量的帧的一个顺序估计清晰度。

公开(公告)号：CN100397549C

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN02824633.0

申请日：2002-10-09

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： 卓尔·舍密施 ,  杜彼·沙卡尔

IPC: H01J37/147

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/263 ,  H01J37/265 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221

Abstract: 一种快速改变带电粒子束焦距的设备和方法，该方法包括步骤：随着控制信号电压值与带电粒子束焦距之间的关系，改变控制信号，其中控制信号是加速电压。