公开(公告)号：CN114008406A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN201980097689.5

申请日：2019-06-27

Applicant: 大塚电子株式会社

Inventor： 佐佐木勇贵 ,  中村贤司 ,  水野航

IPC: G01B11/25

Abstract: 一种测量装置(100)，用于测量测量对象物的形状，该测量装置(100)具有：光源部(20)；受光部(30)；以及主体部(10)，包括：透光部(70)，射出线状光；投光光路(51)，其为从光源部(20)到透光部(70)的光路；以及受光光路(52)，其为从透光部(70)到受光部(30)的光路。

公开(公告)号：CN108204788A

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201711363844.2

申请日：2017-12-18

Applicant: 大塚电子株式会社

Inventor： 冈本宗大 ,  佐佐木勇贵 ,  罗先钦

IPC: G01B11/06 ,  G01M11/02

CPC classification number: G01B11/0625 ,  G01J3/0248 ,  G01J3/0278 ,  G01J3/28 ,  G01J3/2803 ,  G01N21/255 ,  G01N21/8422 ,  G01N2021/6417 ,  G01B11/06 ,  G01M11/00

Abstract: 本发明使基于来自样本的光的样本的光学特性的测定容易进行。光学特性测定装置(1、1A)具备光学系统(12)、检测部(13)以及解析部(14)。光学系统对从样本(2)射入的检测光进行聚光。检测部对在样本与光学系统之间的光学距离相互不同的状态下经由光学系统射入的样本的检测光进行多次分光，生成表示各检测光的光谱的多个检测数据(D1)。解析部解析检测数据所示的光谱，测定样本的规定的光学特性。解析部基于多个检测数据中的检测光的大小，确定用于光学特性的测定的检测数据，基于所确定的检测数据，测定光学特性(S6、S6A)。

公开(公告)号：CN108204788B

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN201711363844.2

申请日：2017-12-18

Applicant: 大塚电子株式会社

Inventor： 冈本宗大 ,  佐佐木勇贵 ,  罗先钦

IPC: G01B11/06 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明使基于来自样本的光的样本的光学特性的测定容易进行。光学特性测定装置(1、1A)具备光学系统(12)、检测部(13)以及解析部(14)。光学系统对从样本(2)射入的检测光进行聚光。检测部对在样本与光学系统之间的光学距离相互不同的状态下经由光学系统射入的样本的检测光进行多次分光，生成表示各检测光的光谱的多个检测数据(D1)。解析部解析检测数据所示的光谱，测定样本的规定的光学特性。解析部基于多个检测数据中的检测光的大小，确定用于光学特性的测定的检测数据，基于所确定的检测数据，测定光学特性(S6、S6A)。

公开(公告)号：CN110500964A

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201910414006.6

申请日：2019-05-17

Applicant: 大塚电子株式会社

Inventor： 森本晃一 ,  佐佐木勇贵 ,  秋山薰

IPC: G01B11/06

Abstract: 一种厚度测定装置及方法，谋求提高测定配置于一对探头间的基板厚度的厚度测定装置的测定精度。该装置包括：第一探头，输出与到测定对象的表面的距离相关的第一测定信号；第二探头，输出与到测定对象的背面的距离相关的第二测定信号；运算部，计算出配置于第一探头与第二探头之间的测定试样的厚度。运算部在第一探头与第二探头间配置有基准试样的状态下，基于第一测定信号算出第一距离，基于第二测定信号算出第二距离，在第一探头与第二探头间配置有测定试样的状态下，基于第一测定信号算出第三距离，基于第二测定信号算出第四距离，将基准试样的厚度、第一距离和第二距离设为加法要素，将第三距离和第四距离设为减法要素，算出测定试样的厚度。

公开(公告)号：CN304915310S

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201830255463.1

申请日：2018-05-28

Applicant: 大塚电子株式会社

Designer： 尾鼻纱耶香 ,  秋山薰 ,  佐佐木勇贵 ,  龟川和义 ,  本杰明·达武

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：厚度测定器。
2．本外观设计产品的用途：用于测定试样的厚度。
3．本外观设计的设计要点：在于本产品的整体形状。
4．最能表明设计要点的图片或照片：立体图。