多路分配装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103029439B

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201210376803.8

    申请日:2012-09-29

    Abstract: 本发明提供一种多路分配装置,其能够向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液而实现高产能化,并且能够实现分辨率高且自由度大的涂敷,装置结构简单,成本低廉。具备:扫描构件2),能够相对于涂敷涂敷液的涂敷对象物(基板K)在水平面内沿着Y轴方向相对移动,通过Y轴扫描移动装置而沿着Y轴方向相对移动(空心箭头M);多个分配装置(31~35),架设于扫描构件(2),分别具有滴下涂敷液的分配嘴;分配嘴移动装置,使各分配嘴的滴下涂敷液的下端部在水平面内移动;及控制装置,对Y轴扫描移动装置和分配嘴移动装置进行同步控制。

    多路分配装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103029439A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210376803.8

    申请日:2012-09-29

    Abstract: 本发明提供一种多路分配装置,其能够向涂敷对象物的多个部位同时涂敷涂敷液而实现高产能化,并且能够实现分辨率高且自由度大的涂敷,装置结构简单,成本低廉。具备:扫描构件(2),能够相对于涂敷涂敷液的涂敷对象物(基板K)在水平面内沿着Y轴方向相对移动,通过Y轴扫描移动装置而沿着Y轴方向相对移动(空心箭头M);多个分配装置(31~35),架设于扫描构件(2),分别具有滴下涂敷液的分配嘴;分配嘴移动装置,使各分配嘴的滴下涂敷液的下端部在水平面内移动;及控制装置,对Y轴扫描移动装置和分配嘴移动装置进行同步控制。

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