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公开(公告)号：CN105830194A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201380081666.8
申请日：2013-12-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J37/32 , H01J37/34 , C23C14/34 , H01G5/04 , H01G5/06 , H01G5/16 , H01R24/38 , H01R24/40 , H03H7/38
Abstract: 提供一种用于将AC电源(20)与装置(30)连接的AC电力连接器。AC电力连接器包括可与AC电源连接的至少一个第一元件(11)以及可与装置连接的至少一个第二元件(12)，所述第一元件与所述第二元件相对于彼此以第一距离(13)布置以限定电容，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件相对于彼此是可旋转的，其中所述第一元件与所述第二元件配置成用于所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件之间的AC电力的传送。
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公开(公告)号：CN110942971A
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201911292689.9
申请日：2013-12-18
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本公开涉及AC电力连接器、溅射设备及其方法。提供一种用于将AC电源(20)与装置(30)连接的AC电力连接器。AC电力连接器包括可与AC电源连接的至少一个第一元件(11)以及可与装置连接的至少一个第二元件(12)，所述第一元件与所述第二元件相对于彼此以第一距离(13)布置以限定电容，其中所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件相对于彼此是可旋转的，其中所述第一元件与所述第二元件配置成用于所述至少一个第一元件与所述至少一个第二元件之间的AC电力的传送。
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公开(公告)号：CN106165058B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201480077982.2
申请日：2014-04-17
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了一种用于材料在基板上的沉积的设备。所述设备包括沉积阵列(222)，所述沉积阵列具有三个或更多个阴极(122)，其中所述沉积阵列包括：第一外侧沉积组件(301)，所述第一外侧沉积组件至少包括所述三个或更多个阴极中的第一阴极；第二外侧沉积组件(302)，所述第二外侧沉积组件与所述第一外侧沉积组件相对，所述第二外侧沉积组件(302)至少包括所述三个或更多个阴极中的第二阴极；内侧沉积组件(303)，所述内侧沉积组件包括位于所述第一外侧沉积组件与所述第二外侧沉积组件之间的至少一个内侧阴极。所述第一外侧沉积组件(301)和所述第二外侧沉积组件(302)中的至少一者被配置成用于在相同时间中、在相同基板上、以比所述内侧沉积组件(303)高的速率来沉积材料。
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公开(公告)号：CN106165058A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201480077982.2
申请日：2014-04-17
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01J37/347 , C23C14/352 , C23C14/542 , C23C14/568 , H01J37/32385 , H01J37/32449 , H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/3464
Abstract: 描述了一种用于材料在基板上的沉积的设备。所述设备包括沉积阵列(222)，所述沉积阵列具有三个或更多个阴极(122)，其中所述沉积阵列包括：第一外侧沉积组件(301)，所述第一外侧沉积组件至少包括所述三个或更多个阴极中的第一阴极；第二外侧沉积组件(302)，所述第二外侧沉积组件与所述第一外侧沉积组件相对，所述第二外侧沉积组件(302)至少包括所述三个或更多个阴极中的第二阴极；内侧沉积组件(303)，所述内侧沉积组件包括位于所述第一外侧沉积组件与所述第二外侧沉积组件之间的至少一个内侧阴极。所述第一外侧沉积组件(301)和所述第二外侧沉积组件(302)中的至少一者被配置成用于在相同时间中、在相同基板上、以比所述内侧沉积组件(303)高的速率来沉积材料。
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