公开(公告)号：CN1065656C

公开(公告)日：2001-05-09

申请号：CN95104078.2

申请日：1995-03-25

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 北岛洋 ,  青木秀充 ,  滨野春人 ,  森田信 ,  白水好美 ,  中森雅治 ,  濑尾祐史 ,  清水裕司 ,  井内真 ,  佐佐木康 ,  N·太田 ,  K·渡边

IPC: H01L21/302 ,  C23F3/00

CPC classification number: H01L21/67086 ,  C02F1/4618 ,  C02F2201/46115 ,  C02F2201/4612 ,  C02F2201/4618 ,  C02F2201/46185 ,  C02F2201/4619 ,  C02F2209/04 ,  C02F2209/06 ,  C02F2209/42 ,  C02F2301/066

Abstract: 在湿法处理设备中设置了：电解槽(1′)；第一存储槽(11-1)存储电解槽的阳极活化水；第一处理槽(3′-1，3″-1)用第一存储槽的阳极活化水处理工件(303，331)；第二存储槽(11-2)存储电解槽的阴极活化水；第二处理槽(3′-2，3″-2)采用第二存储槽的阴极活化水处理工件(303，331)。且在第一处理槽与电解槽的阳极区之间设置第一再生反馈通道(12-1～16-1)，在第二处理槽与电解槽的阴极区之间设置第二再生反馈通道(12-2～16-2)。

公开(公告)号：CN1113034A

公开(公告)日：1995-12-06

申请号：CN95104078.2

申请日：1995-03-25

Applicant: 日本电气株式会社

Inventor： 北岛洋 ,  青木秀充 ,  滨野春人 ,  森田信 ,  白水好美 ,  中森雅治 ,  濑尾祐史 ,  清水裕司 ,  井内真 ,  佐佐木康 ,  N·太田 ,  K·渡边

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/67086 ,  C02F1/4618 ,  C02F2201/46115 ,  C02F2201/4612 ,  C02F2201/4618 ,  C02F2201/46185 ,  C02F2201/4619 ,  C02F2209/04 ,  C02F2209/06 ,  C02F2209/42 ,  C02F2301/066

Abstract: 在湿法处理设备中设置了：电解槽(1′)；第一存储槽(11-1)存储电解槽的阳极活化水；第一处理槽(3′-1，3″-1)用第一存储槽的阳极活化水处理工件(303，331)；第二存储槽(11-2)存储电解槽的阴极活化水；第二处理槽(3′-2，3″-2)采用第二存储槽的阴极活化水处理工件(303，331)。且在第一处理槽与电解槽的阳极区之间设置第一再生反馈通道(12-1～16-1)，在第二处理槽与电解槽的阴极区之间设置第二再生反馈通道(12-2～16-2)。