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公开(公告)号：CN104703381B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201410737841.0
申请日：2014-12-05
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 长内昭宏
CPC classification number: A61N5/1077 , A61N2005/1087 , A61N2005/1095 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J2237/04732 , H01J2237/152 , H01J2237/30472 , H05H7/08 , H05H7/10 , H05H13/04 , H05H2007/005 , H05H2007/087
Abstract: 本发明提供一种不损害线束的稳定性、维持紧凑性、可利用范围广的能量的线束的圆形加速器。根据实施方式，圆形加速器具备：使线束入射的入射用偏转器；使从入射用偏转器入射的线束回旋而形成回旋轨道的偏转电磁铁；每当线束入射则改变线束相对于回旋轨道中心的位置的入射轨道调整用电磁铁；四极电磁铁和六极电磁铁，其是当线束出射时调整励磁量并将从线束的稳定区域偏离的共振区域的线束取出的取出用电磁铁；以及将从共振区域取出的线束取出到外部的出射用偏转器；使线束从回旋轨道的内侧入射，并且使线束向回旋轨道的外侧出射。
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公开(公告)号：CN103069534A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180039711.4
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/24 , H01J2237/022 , H01J2237/08 , H01J2237/186 , H01J2237/31701
Abstract: 激光/离子源通过激光的照射而产生离子，其中，具备：容器（110），被真空排气；照射箱（120），配置在容器（110）内，收容有通过激光的照射而产生离子的靶（121）；离子束引出部（112），从照射箱（120）静电地引出离子，并作为离子束向容器110的外部引导；阀（140），设置在容器（110）的离子束的取出部，在离子束射出时打开，射出时以外关闭；以及闸门（150），设置在阀（140）和照射箱（120）之间，离子束射出时间歇地打开，射出时以外关闭。由此，将激光照射时产生的微粒子关闭在容器（110）内，抑制微粒子向真空排气系统或与离子源连接的后级装置的流出。
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公开(公告)号：CN105070624B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201510393832.9
申请日：2013-03-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01J27/24
CPC classification number: H01J27/24
Abstract: 提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材(13)配置在被排气成真空的真空容器(10)内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管(17)、小孔(18)、中间电极(19)以及加速电极(20)的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。在更换配置于真空容器(10)内的靶材时，真空密封用盘(24)对输送部进行密封，以将真空容器(10)侧与下游侧的设备侧的真空分离。
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公开(公告)号：CN103295861B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201310063330.0
申请日：2013-02-28
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J27/24 , H01J49/161 , H01J49/162 , H01J49/164
Abstract: 本发明提供能不破坏真空条件地进行靶的补给的激光离子源。离子生成真空容器（110）被真空排气，被输送并配置通过激光的照射发生离子的靶（112）。阀（130）设置在离子生成真空容器（110）的侧面，在向离子生成真空容器110内输送靶（112）时打开，在输送时以外关闭。靶补给容器（120）通过阀（130）安装于离子生成真空容器（110），将靶（112）能移动地保持，能与离子生成真空容器（110）独立地真空排气。保持在靶补给容器（120）内的靶（112），在关闭了阀（130）的状态下将靶补给容器内真空排气之后，在打开了阀（130）的状态下被输送到离子生成真空容器（110）内。
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公开(公告)号：CN104703381A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410737841.0
申请日：2014-12-05
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 长内昭宏
CPC classification number: A61N5/1077 , A61N2005/1087 , A61N2005/1095 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J2237/04732 , H01J2237/152 , H01J2237/30472 , H05H7/08 , H05H7/10 , H05H13/04 , H05H2007/005 , H05H2007/087
Abstract: 本发明提供一种不损害线束的稳定性、维持紧凑性、可利用范围广的能量的线束的圆形加速器。根据实施方式，圆形加速器具备：使线束入射的入射用偏转器；使从入射用偏转器入射的线束回旋而形成回旋轨道的偏转电磁铁；每当线束入射则改变线束相对于回旋轨道中心的位置的入射轨道调整用电磁铁；四极电磁铁和六极电磁铁，其是当线束出射时调整励磁量并将从线束的稳定区域偏离的共振区域的线束取出的取出用电磁铁；以及将从共振区域取出的线束取出到外部的出射用偏转器；使线束从回旋轨道的内侧入射，并且使线束向回旋轨道的外侧出射。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103313501A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310068783.2
申请日：2013-03-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J27/24
Abstract: 提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材（13）配置在被排气成真空的真空容器（10）内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管（17）、小孔（18）、中间电极（19）以及加速电极（20）的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。在更换配置于真空容器（10）内的靶材时，真空密封用盘（24）对输送部进行密封，以将真空容器（10）侧与下游侧的设备侧的真空分离。
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公开(公告)号：CN103298232A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310064976.0
申请日：2013-03-01
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J27/24 , A61N2005/1085 , H01J27/024 , H01J37/08
Abstract: 提供能够除去不需要的离子的离子源。靶材（2）配置在被排气成真空的真空容器（1）内，且通过激光的照射而产生多个价数的离子。加速电极（4）被施加电压，以使由靶材（2）产生的离子加速。中间电极（5）设置在靶材（2）与加速电极（4）之间，且被施加与施加于加速电极（4）的电压反向的电压。
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公开(公告)号：CN103295861A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310063330.0
申请日：2013-02-28
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01J27/24 , H01J49/161 , H01J49/162 , H01J49/164
Abstract: 本发明提供能不破坏真空条件地进行靶的补给的激光离子源。离子生成真空容器（110）被真空排气，被输送并配置通过激光的照射发生离子的靶（112）。阀（130）设置在离子生成真空容器（110）的侧面，在向离子生成真空容器110内输送靶（112）时打开，在输送时以外关闭。靶补给容器（120）通过阀（130）安装于离子生成真空容器（110），将靶（112）能移动地保持，能与离子生成真空容器（110）独立地真空排气。保持在靶补给容器（120）内的靶（112），在关闭了阀（130）的状态下将靶补给容器内真空排气之后，在打开了阀（130）的状态下被输送到离子生成真空容器（110）内。
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公开(公告)号：CN103298232B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310064976.0
申请日：2013-03-01
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J27/24 , A61N2005/1085 , H01J27/024 , H01J37/08
Abstract: 提供能够除去不需要的离子的离子源。靶材（2）配置在被排气成真空的真空容器（1）内，且通过激光的照射而产生多个价数的离子。加速电极（4）被施加电压，以使由靶材（2）产生的离子加速。中间电极（5）设置在靶材（2）与加速电极（4）之间，且被施加与施加于加速电极（4）的电压反向的电压。
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公开(公告)号：CN103313501B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310068783.2
申请日：2013-03-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H05H1/24
CPC classification number: H01J27/24
Abstract: 提供无需解除下游侧设备的真空就能够更换靶材的离子源。靶材（13）配置在被排气成真空的真空容器（10）内，且通过激光的照射产生离子。具有输送管（17）、小孔（18）、中间电极（19）以及加速电极（20）的输送部将由靶材产生的离子朝与离子源连接的下游侧的设备输送。在更换配置于真空容器（10）内的靶材时，真空密封用盘（24）对输送部进行密封，以将真空容器（10）侧与下游侧的设备侧的真空分离。
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