半导体测试装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1215545C

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN03108392.7

    申请日:2003-03-28

    CPC classification number: G01R31/2886 G01R31/2863

    Abstract: 提供能够保持良好的电接触来进行具有微细电极构造的被测试电子部件的测试的半导体测试装置、半导体器件测试用接触基板、半导体器件的测试方法及半导体器件的制造方法。该半导体测试装置包括:测试电路(13),将测试信号输入输出到被测试电子部件;测试信号布线(12),与该测试电路电连接;接触基板(5),与被测试电子部件的电极电连接,配有传送测试信号的导电通路(6),设置有用绝缘性材料形成的、有上表面和下表面的至少一个以上的通孔;多层布线基板(7),与导电通路和测试信号布线电连接,配置有在接触基板的下表面上的至少一个以上的通孔(9);以及吸附机构(11),吸附并保持被测试电子部件、接触基板、以及多层布线基板。

    半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN102593012A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201110007830.3

    申请日:2011-01-14

    CPC classification number: H01L24/75 H01L24/81

    Abstract: 根据本发明的一实施方式的半导体装置的制造方法,在使第1焊料凸块和第2焊料凸块对位并接触后,加热至焊料凸块的熔点以上的温度而使它们熔化,从而形成第1焊料凸块和第2焊料凸块的临时连接体。将冷却后的临时连接体在还原性气氛中加热至焊料凸块的熔点以上的温度,将存在于临时连接体表面上的氧化膜除去,同时使临时连接体熔化,从而形成正式连接体。

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