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公开(公告)号:CN106711072A
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201610518176.5
申请日:2016-07-04
Applicant: 株式会社大福
IPC: H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67706
Abstract: 本发明提供一种搬送设备,能够不使尘埃等外部物质流入到基板收纳用的收纳容器内,从而保持高洁净性,并且不需要高柔性的电缆,能够以低成本进行设备构建。在收纳容器(20)在搬送台车(50)与保管架(13)之间进行移交的期间,用于对向收纳容器(20)内送风的FFU(24)进行非接触供电的容器电极盘(28)不管是与搬送台车电极盘(58)分离还是与保管架电极盘(18)分离,都停止送风,但是,在送风停止过程中,到移交开始前为止,利用由FFU(24)提高了的收纳容器(20)内的内压来防止外部尘埃的流入,由此保持收纳容器(20)内的洁净性。
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公开(公告)号:CN114684555A
公开(公告)日:2022-07-01
申请号:CN202111524214.5
申请日:2021-12-14
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G35/00
Abstract: 本发明提供一种物品搬送设备(10),其具备:搬送料盒(90)的第1搬送车(11)、以及供第1搬送车(11)进行往复行驶的第1直线路径(15)。物品搬送设备(10)至少具备:从第1直线路径(15)的规定位置延伸设置的第2直线路径(16)、以及在第2直线路径上进行往复行驶且在第1直线路径(15)的规定位置处与第1搬送车之间进行料盒(90)的交接的第2搬送车(12)。第1搬送车(11)具备:判别第1直线路径上的第1搬送车的位置的第1位置判别装置(30)以及第2位置判别装置(33)。第1搬送车通过在第1直线路径上对第1位置判别装置和第2位置判别装置进行切换来判别第1直线路径上的第1搬送车的位置。
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公开(公告)号:CN106711072B
公开(公告)日:2021-09-14
申请号:CN201610518176.5
申请日:2016-07-04
Applicant: 株式会社大福
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种搬送设备,能够不使尘埃等外部物质流入到基板收纳用的收纳容器内,从而保持高洁净性,并且不需要高柔性的电缆,能够以低成本进行设备构建。在收纳容器(20)在搬送台车(50)与保管架(13)之间进行移交的期间,用于对向收纳容器(20)内送风的FFU(24)进行非接触供电的容器电极盘(28)不管是与搬送台车电极盘(58)分离还是与保管架电极盘(18)分离,都停止送风,但是,在送风停止过程中,到移交开始前为止,利用由FFU(24)提高了的收纳容器(20)内的内压来防止外部尘埃的流入,由此保持收纳容器(20)内的洁净性。
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公开(公告)号:CN106629051A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201610289391.2
申请日:2016-05-04
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种基板收纳用的收纳容器,其提高了盖体的开闭性,并且提高了容器自身的气密性。该收纳容器是在容器主体上具备用于存取基板的出入口并从出入口收纳基板的收纳容器,其包括:设在容器主体的另一端侧的开口部并从所述另一端侧的开口部向出入口通风的风机过滤器单元和开闭出入口的盖体,在盖体上形成有与容器主体卡合的盖体安装臂,在容器主体上形成有与盖体安装臂卡合而卡止盖体的盖体承接体,盖体安装臂具有凸起,该凸起相对于盖体设在容器主体上时的容器主体的高度方向被形成为锐角状,盖体承接体具有盖体承接孔,该盖体承接孔能够与凸起嵌合,且相对于容器主体的高度方向被形成为锐角状。
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公开(公告)号:CN111038986B
公开(公告)日:2023-02-21
申请号:CN201910962157.5
申请日:2019-10-11
IPC: B65G47/74
Abstract: 容纳系统具备:调整机构,其调整保持部对容器的保持位置;控制部,其控制调整机构的驱动;传送机,其使容纳物移动到被保持部保持的状态的容器的容纳空间,将容纳物传送到容器;以及位置检测装置。位置检测装置设置成检测在容纳空间中被保持于传送机的状态的容纳物的、相对于容器的相对位置。控制部在传送机对容纳物的传送动作中,基于位置检测装置的检测信息,在容纳物被支撑于容器之前的状态下,执行将容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置的调整控制。
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公开(公告)号:CN111038986A
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201910962157.5
申请日:2019-10-11
IPC: B65G47/74
Abstract: 容纳系统具备:调整机构,其调整保持部对容器的保持位置;控制部,其控制调整机构的驱动;传送机,其使容纳物移动到被保持部保持的状态的容器的容纳空间,将容纳物传送到容器;以及位置检测装置。位置检测装置设置成检测在容纳空间中被保持于传送机的状态的容纳物的、相对于容器的相对位置。控制部在传送机对容纳物的传送动作中,基于位置检测装置的检测信息,在容纳物被支撑于容器之前的状态下,执行将容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置的调整控制。
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公开(公告)号:CN102633211A
公开(公告)日:2012-08-15
申请号:CN201210031163.7
申请日:2012-02-13
Applicant: 株式会社大福
Abstract: 提供一种塔式起重机,能够有效利用本来的构成而正确地检测载置于物品载置体的物品的重量。沿车体横宽方向进退的屈伸连杆机构(30)的基端部与被从行进台车立设的立柱(13)引导的状态下被升降驱动的升降台(14)连结,并且物品载置体(29)的基端部与该屈伸连杆机构的顶端部连结,利用屈伸连杆机构的进退动作,物品载置体在退回到升降台侧的退回位置与突出到外方的突出位置之间被进退操作,设置有检测位于退回位置的物品载置体的向下方侧的弯曲量的弯曲量检测机构(Q),设置有在物品载置体在物品载置状态下位于退回位置时作为载置于该物品载置体的物品的重量信息而获取弯曲量检测机构所检测的弯曲量的弯曲量取得机构。
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公开(公告)号:CN108016953B
公开(公告)日:2021-08-17
申请号:CN201710413501.6
申请日:2017-06-05
Applicant: 株式会社大福
Abstract: 本发明所涉及的移载机(10)具备:行进部(20),其沿着设置于顶棚(90)侧的轨道(91)而行进;以及升降部(30),其以升降自如的方式对收纳箱(80)进行支承,升降部(30)具备:升降部主体(31);升降厢(34),其对收纳箱(80)进行支承;供电装置(50),其设置于升降部主体(31),且对升降厢(34)供给电力;以及受电装置(60),其设置于升降厢(34),且以无接触的方式从供电装置(50)接受电力,供电装置(50)的供电面(52)和受电装置(60)的受电面(62)配置为:当升降厢(34)相对于升降部主体(31)上升时,供电装置的供电面和受电装置的受电面朝向相对于升降厢(34)的升降方向交叉的方向、且彼此对置。
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公开(公告)号:CN106629051B
公开(公告)日:2020-01-07
申请号:CN201610289391.2
申请日:2016-05-04
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种基板收纳用的收纳容器,其提高了盖体的开闭性,并且提高了容器自身的气密性。该收纳容器是在容器主体上具备用于存取基板的出入口并从出入口收纳基板的收纳容器,其包括:设在容器主体的另一端侧的开口部并从所述另一端侧的开口部向出入口通风的风机过滤器单元和开闭出入口的盖体,在盖体上形成有与容器主体卡合的盖体安装臂,在容器主体上形成有与盖体安装臂卡合而卡止盖体的盖体承接体,盖体安装臂具有凸起,该凸起相对于盖体设在容器主体上时的容器主体的高度方向被形成为锐角状,盖体承接体具有盖体承接孔,该盖体承接孔能够与凸起嵌合,且相对于容器主体的高度方向被形成为锐角状。
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公开(公告)号:CN108016953A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201710413501.6
申请日:2017-06-05
Applicant: 株式会社大福
Abstract: 本发明所涉及的移载机(10)具备:行进部(20),其沿着设置于顶棚(90)侧的轨道(91)而行进;以及升降部(30),其以升降自如的方式对收纳箱(80)进行支承,升降部(30)具备:升降部主体(31);升降厢(34),其对收纳箱(80)进行支承;供电装置(50),其设置于升降部主体(31),且对升降厢(34)供给电力;以及受电装置(60),其设置于升降厢(34),且以无接触的方式从供电装置(50)接受电力,供电装置(50)的供电面(52)和受电装置(60)的受电面(62)配置为:当升降厢(34)相对于升降部主体(31)上升时,供电装置的供电面和受电装置的受电面朝向相对于升降厢(34)的升降方向交叉的方向、且彼此对置。
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