-
公开(公告)号：CN111316400B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN201880068015.8
申请日：2018-10-10
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及的基板处理装置具备：贮存处理液、浸渍基板的处理槽；向所述处理槽供给所述处理液的处理液供给机构；成为所述处理液从所述处理槽向装置外被排液时的流路的排液配管；具备对所述处理液进行过滤的过滤器，且至少一端与所述处理槽连通的循环配管；将所述循环配管与所述排液配管连通，并且成为经所述过滤器过滤的所述处理液在不返回至所述处理槽的情况下被排液时的流路的旁通配管；对从所述处理槽排出的所述处理液的流路进行切换的开闭阀；和对所述开闭阀进行控制的控制机构。
-
公开(公告)号：CN108475628A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680077170.7
申请日：2016-10-21
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/304
Abstract: 本发明的基板处理装置中，从喷出管(7)向供给位置(SP)供给的处理液的液流，通过液流分散构件(8)被大致分散为朝向处理槽(1)中央的底面侧液流、以及朝向处理槽(1)中央的斜上方的液流这两个部分。因此，由于能够使较强的液流分散为在处理槽(1)的中央部上升的处理液的液流，以及从斜下方与该液流合流的液流，因此该液流在基板(W)表面的中央部以相对较宽的宽度上升。其结果是，由于能缓和在基板(W)表面附近的处理液流动的差异，因此能够提高处理的面内均匀性。
-
公开(公告)号：CN110383429A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015617.7
申请日：2018-02-22
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/308 , C23F1/46 , H01L21/304 , H01L21/306
Abstract: 本发明提供一种基板处理方法，包括：混合酸加热工序，对作为含有磷酸、硝酸及水的混合液的混合酸进行加热；摩尔比调节工序，为了使P/W摩尔比(混合酸中所含的磷酸的摩尔数/混合酸中所含的水的摩尔数)维持在摩尔比上限值与摩尔比下限值之间，通过将水加入至混合酸而使P/W摩尔比下降；以及蚀刻工序，通过将加入有水的混合酸供给至基板而对基板上的金属膜进行蚀刻。
-
公开(公告)号：CN110383429B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201880015617.7
申请日：2018-02-22
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/308 , C23F1/46 , H01L21/304 , H01L21/306
Abstract: 本发明提供一种基板处理方法，包括：混合酸加热工序，对作为含有磷酸、硝酸及水的混合液的混合酸进行加热；摩尔比调节工序，为了使P/W摩尔比(混合酸中所含的磷酸的摩尔数/混合酸中所含的水的摩尔数)维持在摩尔比上限值与摩尔比下限值之间，通过将水加入至混合酸而使P/W摩尔比下降；以及蚀刻工序，通过将加入有水的混合酸供给至基板而对基板上的金属膜进行蚀刻。
-
公开(公告)号：CN108475628B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN201680077170.7
申请日：2016-10-21
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明的基板处理装置中，从喷出管(7)向供给位置(SP)供给的处理液的液流，通过液流分散构件(8)被大致分散为朝向处理槽(1)中央的底面侧液流、以及朝向处理槽(1)中央的斜上方的液流这两个部分。因此，由于能够使较强的液流分散为在处理槽(1)的中央部上升的处理液的液流，以及从斜下方与该液流合流的液流，因此该液流在基板(W)表面的中央部以相对较宽的宽度上升。其结果是，由于能缓和在基板(W)表面附近的处理液流动的差异，因此能够提高处理的面内均匀性。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114902380A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202080089352.2
申请日：2020-12-24
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/306 , H01L21/304
Abstract: 本发明具备处理液喷出部和气泡供给部，处理液喷出部设于基板保持部所保持的基板的下方侧，从处理液喷出口朝向贮存空间的内底面喷出处理液，气泡供给部设于基板保持部所保持的基板的下方侧而且设于处理液喷出口的上方侧，将气泡供给至贮存空间所贮存的处理液，在铅垂方向上的气泡供给部与处理液喷出口之间，将经过贮存空间的内底面而流向上方的处理液的至少一部分作为分流对象液，将分流对象液的流动分流为多个上升流并将其引导至基板保持部所保持的基板。
-
公开(公告)号：CN114078726A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110948078.6
申请日：2021-08-18
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明能够抑制不均匀地向在贮存于处理槽中的处理液中浸渍的基板供给处理液以提高处理品质。具有：抑制部，在由基板保持部保持的基板与处理液喷出部之间，遮挡从处理液喷出部喷出并且朝向基板的处理液的液流的至少一部分，来抑制从处理液喷出部向基板直接供给处理液；处理液喷出部，设置于由基板保持部保持的基板的下方侧，从处理液喷出口朝向贮存空间的内底面喷出处理液；以及气泡供给部，设置于由基板保持部保持的基板的下方侧且处理液喷出口的上方侧，向贮存于贮存空间的处理液供给气泡。在铅垂方向上的气泡供给部与处理液喷出口之间，将经由贮存空间的内底面向上方流动的处理液的至少一部即分流对象液的液流分流成多个上升流，向基板引导。
-
公开(公告)号：CN111316400A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201880068015.8
申请日：2018-10-10
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/304 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及的基板处理装置具备：贮存处理液、浸渍基板的处理槽；向所述处理槽供给所述处理液的处理液供给机构；成为所述处理液从所述处理槽向装置外被排液时的流路的排液配管；具备对所述处理液进行过滤的过滤器，且至少一端与所述处理槽连通的循环配管；将所述循环配管与所述排液配管连通，并且成为经所述过滤器过滤的所述处理液在不返回至所述处理槽的情况下被排液时的流路的旁通配管；对从所述处理槽排出的所述处理液的流路进行切换的开闭阀；和对所述开闭阀进行控制的控制机构。
-
公开(公告)号：CN113169065B
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN201980079317.X
申请日：2019-12-06
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/306
Abstract: 具备：内槽(341)；设于内槽(341)的外周部的外槽(343)；将内槽(341)和外槽(343)连接的第1配管(50)；对从第1配管(50)通过的磷酸水溶液进行加热的加热器(52)；设在第1配管(50)中的加热器(52)与内槽(341)之间的开闭阀(513)；将第1配管(50)中的加热器(52)和内槽(341)之间的配管部与外槽(343)连接的第2配管(60)；以及设在第2配管(60)的开闭阀(61)。
-
公开(公告)号：CN115841965A
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202211150585.6
申请日：2022-09-21
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种衬底处理装置。在作为第1循环配管(35)的一部分的浓缩用配管(39)，设有具有石英管(47)的石英加热器(41)。第1迂回配管(36)的两端(36A)、(36B)连接在浓缩用配管(39)的上游端及下游端。在第1迂回配管(36)，设有具有非石英管(51)的非石英加热器(45)。控制部(93)在将第1槽(T1)内的磷酸溶液浓缩时，一边将磷酸溶液输送到浓缩用配管(39)，一边使用石英加热器(41)将通过浓缩用配管(39)的磷酸溶液加热。控制部(93)在第1槽(T1)内的磷酸溶液的浓缩完成时，一边将磷酸溶液输送到第1迂回配管(36)，一边使用非石英加热器(45)将通过第1迂回配管(36)的磷酸溶液加热。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
11
records
(took 0.045 seconds)
