公开(公告)号：CN104094376B

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201380008020.7

申请日：2013-01-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 海老塚泰 ,  菅野诚一郎 ,  西原诚 ,  藤田真志

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/026 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0047 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2801 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可有效地实现静电吸盘的除电的带电粒子束装置。为了达成上述目的，在本发明中提出一种带电粒子束装置，其特征在于，具备将包括静电吸盘机构(5)的空间维持在真空状态的样品室，带电粒子束装置具备用于向样品室内照射紫外光的紫外光源(6)、和被该紫外光照射的被照射部件，该被照射部件配置在所述静电吸盘的吸附面的垂线方向上。

公开(公告)号：CN113615327B

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN201980075606.2

申请日：2019-01-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 宫野一郎 ,  小室修 ,  高桥正和 ,  藤田真志

IPC: H05K9/00

Abstract: 本发明提供一种在针对较高频率的电磁场得到高的屏蔽性能的同时，能够减轻重量的电磁场屏蔽板等。电磁场屏蔽板将由坡莫合金的板材或片材构成的坡莫合金层(3)和由Fe‑Si‑B‑Cu‑Nb系非晶的板材或片材构成的非晶层(1)重叠而构成。

公开(公告)号：CN113615327A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN201980075606.2

申请日：2019-01-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 宫野一郎 ,  小室修 ,  高桥正和 ,  藤田真志

IPC: H05K9/00

Abstract: 本发明提供一种在针对较高频率的电磁场得到高的屏蔽性能的同时，能够减轻重量的电磁场屏蔽板等。电磁场屏蔽板将由坡莫合金的板材或片材构成的坡莫合金层(3)和由Fe‑Si‑B‑Cu‑Nb系非晶的板材或片材构成的非晶层(1)重叠而构成。

公开(公告)号：CN104094376A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201380008020.7

申请日：2013-01-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 海老塚泰 ,  菅野诚一郎 ,  西原诚 ,  藤田真志

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/026 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0047 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2801 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可有效地实现静电吸盘的除电的带电粒子束装置。为了达成上述目的，在本发明中提出一种带电粒子束装置，其特征在于，具备将包括静电吸盘机构(5)的空间维持在真空状态的样品室，带电粒子束装置具备用于向样品室内照射紫外光的紫外光源(6)、和被该紫外光照射的被照射部件，该被照射部件配置在所述静电吸盘的吸附面的垂线方向上。