公开(公告)号：CN104862660B

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201410061908.3

申请日：2014-02-24

Applicant: 北京北方华创微电子装备有限公司

Inventor： 郭浩 ,  陈鹏 ,  侯珏

IPC: C23C14/50

CPC classification number: H01J37/32715 ,  C23C14/22 ,  C23C14/50 ,  C23C16/50 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32633 ,  H01J37/32733 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/332 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68742

Abstract: 本发明提供的承载装置及等离子体加工设备，其包括基座、基座驱动机构、压环和挡环，基座用于承载被加工工件；基座驱动机构用于驱动基座上升至工艺位置或下降至卸载位置；压环用于在基座位于工艺位置时压紧置于基座上的被加工工件的边缘区域；挡环环绕在基座的外周壁上，且位于压环的下方；压环与挡环彼此相对的表面包括一对导向环面，其相对于基座竖直方向上的中心线向外倾斜相同角度；并且，在基座驱动机构驱动基座上升的过程中，该对导向环面彼此接触且交错移动，以实现压环与基座的定位。本发明提供的承载装置，其可以直接实现压环与基座的定位，从而不仅可以提高定位的准确度、简化工作流程，而且还可以简化设备结构、降低制造成本。

公开(公告)号：CN106298411A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610471962.4

申请日：2016-06-24

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 许临 ,  纳什·W·安德森 ,  约翰·多尔蒂 ,  托马斯·R·史蒂文森 ,  约翰·迈克尔·克恩斯

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/32 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455

CPC classification number: H01J37/32495 ,  B32B37/18 ,  B32B2311/24 ,  B32B2315/02 ,  C23C16/403 ,  C23C16/405 ,  C23C16/45525 ,  H01J37/32513 ,  H01J37/32642 ,  H01J37/32715 ,  H01L21/6833 ,  H02N13/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32 ,  H01J2237/2007

Abstract: 本发明涉及延长聚合物元件寿命的抗等离子体的原子层沉积的涂层。根据本公开内容，提供了几个发明，其包括用于在等离子体处理室中使用的聚合物材料上沉积抗等离子的涂层的设备和方法。在具体的示例中，这样的涂层可在静电卡盘的局部上制成，其中聚合物材料是围绕粘合剂的垫圈，所述粘合剂位于卡盘基座和陶瓷顶板之间。

公开(公告)号：CN103890559B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280052945.7

申请日：2012-10-25

Applicant: FEI公司

Inventor： M.巴雷特 ,  M.D.史密斯 ,  M.格里克 ,  P.斯卡内蒂 ,  R.托维

IPC: G01N1/36 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N2223/307 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2826

Abstract: 一种样品支座总成包括样品托盘、基板、样品台底座、以及安装到样品台底座上的校准用基准。基板的底部上的三个配合结构与附接到SEM的样品台上的样品台底座上的相应结构紧密配合。任选的接触导体在样品台底座与基板之间提供电接触从而使得电子束在样品上生成的电荷可以离开样品通过样品导电层到达样品托盘、基板、样品台底座、以及通过接地样品台。

公开(公告)号：CN105719982A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201610082472.5

申请日：2016-02-05

Applicant: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

Inventor： 马卫民 ,  孙伟强

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01J37/20 ,  G03F1/86 ,  G03F7/7065 ,  H01J37/18 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/24571 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明公开一种检测系统。根据本发明一方面，检测系统包括：感测机构的多个镜筒；移动机构，用以在感测机构的多个镜筒下定位样品；和控制器，执行配置用以将所述镜筒配置成根据功能、权重和性能中的至少一种执行一种类型检测使得所述多个镜筒以适应的方式用于感测被检测的样品的模块。检测系统的感测机构的多个镜筒配置由不同的功能、权重和性能以检测样品，从而显著地减少如果相同地应用全部镜筒时所需的时间。

公开(公告)号：CN104364877B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201380029956.8

申请日：2013-06-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 安藤彻 ,  重藤训志 ,  玉山尚太朗 ,  成田祐介

IPC: H01J37/20 ,  G09G5/00 ,  G09G5/36 ,  G09G5/377 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/2801 ,  H01J2237/2809

Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。

公开(公告)号：CN104798172A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060806.3

申请日：2013-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大岛卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。

公开(公告)号：CN104335321A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201380029172.5

申请日：2013-05-30

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 幸山和弘 ,  赤津昌弘

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供一种能够进行基于减速法的截面样品的良好的观察的样品保持件。该样品保持件具有：样品装载部(17)，其将第1固定部件(121)、作为观察用样品的截面样品(7)和第2固定部件(122)以各自紧贴的状态进行装载，并且被插入电子显微镜的电子光学镜筒的内部；和电压导入单元，其对样品装载部导入电压，样品装载部具有：定位部，其将第1固定部件、截面样品和第2固定部件定位在装载位置上，定位部(201)将与截面样品的观察面(401)分别相邻配置的第1固定部件的第1平面(402A)以及第2固定部件的第2平面(402B)定位在相对于观察面平行且距观察面等距离的位置上。

公开(公告)号：CN104094376A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：CN201380008020.7

申请日：2013-01-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 海老塚泰 ,  菅野诚一郎 ,  西原诚 ,  藤田真志

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/026 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0047 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2801 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种可有效地实现静电吸盘的除电的带电粒子束装置。为了达成上述目的，在本发明中提出一种带电粒子束装置，其特征在于，具备将包括静电吸盘机构(5)的空间维持在真空状态的样品室，带电粒子束装置具备用于向样品室内照射紫外光的紫外光源(6)、和被该紫外光照射的被照射部件，该被照射部件配置在所述静电吸盘的吸附面的垂线方向上。

公开(公告)号：CN102119439B

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN200980131177.2

申请日：2009-06-19

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 大卫·苏若恩 ,  岱尔·K·史东 ,  茂雄·S·大城 ,  亚瑟·P·瑞福 ,  爱德华·D·梅克英特许

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01L21/67109 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2007 ,  H01L21/6875

Abstract: 本发明揭示减少基材上粒子污染的技术。在一特殊实施例中，此技术可以一具有多个不同区域的平台来实施，其中这些区域中的压力值可实质上相同。举例来说，平台可包括一平台主体，其包括第一与第二凹陷，第一凹陷定义出一流体区域用以保持流体以维持基材的温度于一预定温度，第二凹陷定义出一第一凹槽用以保持一接地电路；一第一通孔定义于平台主体中，第一通孔具有第一与第二开口，第一开口邻近于流体区域，而第二开口邻近于第一凹槽，其中流体区域的压力值可维持在一准位，且此准位实质上相等于第一凹槽的压力值。

公开(公告)号：CN103477415A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201280017689.8

申请日：2012-03-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博 ,  大泷智久

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2608

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。